【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供可进行无机显影的负型感光性硅氧烷化合物、以及使用了其的固化膜的形成方法。一种负型感光性硅氧烷组合物,其包含聚硅氧烷、具有脲基键的含硅的化合物、聚合引发剂、以及溶剂。可通过将该组合物涂布于基材上,进行曝光,无需进行曝光后加热而进行显影,从而获得固化膜。【专利说明】负型感光性硅氧烷组合物
本专利技术涉及负型感光性硅氧烷组合物。另外,本专利技术也涉及使用了该负型感光性 硅氧烷组合物的固化膜的制造方法、由该负型感光性硅氧烷组合物形成的固化膜、以及具 有该固化膜的元件。
技术介绍
近年来,在显示器、发光二极管、太阳能电池等的光学元件方面,以提高光利用效 率和/或节能为目的而提出了各种各样的提案。例如,在液晶显示器方面已知有如下方法: 将透明的平整化膜覆盖形成于薄膜晶体管(以下有时会称为TFT)元件上,在该平整化膜上 形成像素电极,从而提高显示装置的开口率(参照专利文献1)。在有机电场发光元件(以 下有时会称为有机EL元件)的构成方面,也提出了如下的方法:通过由在形成于基板上的 透明像素电极上蒸镀形成发光层并且从基板侧将发 ...
【技术保护点】
一种负型感光性硅氧烷组合物,其特征在于包含:聚硅氧烷、具有脲基键的含硅的化合物、聚合引发剂、以及溶剂。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:横山大志,能谷敦子,田代裕治,吉田尚史,田中泰明,福家崇司,高桥惠,谷口克人,野中敏章,
申请(专利权)人:AZ电子材料卢森堡有限公司,
类型:发明
国别省市:卢森堡;LU
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