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本发明提供可进行无机显影的负型感光性硅氧烷化合物、以及使用了其的固化膜的形成方法。一种负型感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷、具有脲基键的含硅的化合物、聚合引发剂、以及溶剂。可通过将该组合物涂布于基材上，进行曝光，无需进行曝光后加热而进行显...
该专利属于AZ电子材料（卢森堡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料（卢森堡）有限公司授权不得商用。

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