【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种内置平衡腔室的薄膜隔离型表压传感器，包括与大气参考压端连通的力敏元件壳体，分别与力敏元件壳体相互封接在一起的外连电路板连接座和力敏元件转接座，以及连接力敏元件的穿过引线孔，并引出外连电路板连接座端的传感引线，其特征在于：所述力敏元件壳体的上部与外连电路板连接座之间连通大气参考压端的空腔中，内置带有薄膜型隔离膜的大气压自动补偿平衡腔室；力敏元件的传感引线位于力敏元件壳体的引线孔的引出端采用封口密封胶进行胶接密封，同时采用封口密封胶密封传感引线的引出外连电路板连接座端，并使大气压自动补偿平衡腔室被薄膜型隔离膜分隔的腔体下部，与力敏元件壳体的下部装有力敏元件的导压腔体相互连通，形成封闭的导压腔，大气压自动补偿平衡腔室被薄膜型隔离膜分隔的腔体上部，连通相互封接在一起的外连电路板连接座和力敏元件壳体的与大气参考压端连通的腔体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：段祥照，贾文娟，刘爽，
申请(专利权)人：沈阳市传感技术研究所，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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