流体压力缸制造技术

一种流体压力缸(10)，包括位移构件(20)，该位移构件(20)能够在本体(12)的一端侧位移，并且连接本体(70)经由弹簧(108)被插入位移构件(20)的块体(92)中，该连接本体(70)被连接到缸单元(16)的活塞杆(26)。吸杆(18)被连接成与连接本体(70)和连接到连接本体(70)的缓冲杆(112)基本平行。此外，在块体(92)向下的位移被限制的状态下，当额外荷载被施加时，缓冲杆(112)对抗弹簧(108)的弹力相对于块体(92)相对地位移，从而在衬套(110)和缓冲杆(112)之间径向方向的间距被扩大。

【技术实现步骤摘要】
流体压力缸
本专利技术涉及一种流体压力缸，在该流体压力缸中，活塞在压力流体的供给下沿轴线方向位移。
技术介绍
迄今为止，例如一种流体压力缸已经被用于作为运输工件的装置，该流体压力缸具有在压力流体的供给下位移的活塞。对于这样的流体压力缸，例如，板被配置在活塞杆的端部上，该活塞杆被连接到活塞，并且吸垫被安装在板上，该吸垫能够吸住工件。此外，活塞通过供给到流体压力缸的压力流体位移，从而板朝向工件侧移动，并且通过抵接工件，工件被吸力吸到吸垫上。此时，因为缓冲机构被配置在板上，该缓冲机构能够缓冲沿轴线方向施加的震动(负载)，当板抵接工件时，相对于工件施加的荷载被缓冲机构抑制。
技术实现思路
例如，对于韩国专利No.10-0840271公开的流体压力缸，被平行配置的活塞杆和吸管分别被连接到相同的板。所以，例如，在流体压力缸中，在由于装配条件或制造差异，活塞杆和吸管不平行的情况下，或在活塞杆等相对于板上的孔偏心的情况下，活塞杆等等易于咬入配置在孔中的衬套，并且导致缓冲机构不能适当地操作的锁紧条件。因此，当板朝向工件移动并且抵接工件时，负载被施加于工件而缓冲机构没有起适当的作用。例如，如果是易碎工件，诸如半导体芯片等，易于导致工件的损坏。为了解决上述问题，虽然可以考虑增加活塞杆和吸管之间的平行度，或者除了确保平行外，增大活塞杆、吸管和衬套之间的间隙的尺寸从而吸收其间的偏差，如果间隙的尺寸被增大，伴随着被吸垫保持的工件转动，板由于活塞杆和吸管偏离它们的预定位置而转动。因此，在运输工件期间工件的转动要被调节的情况下，工件不能被放置在期望的位置上。本专利技术的主要目的是提供一种流体压力缸，其中位移块的旋转能够被抑制，同时使位移块能够沿轴线方向平滑地移动。根据本专利技术的流体压力缸包括：本体，在其中具有缸腔，驱动流体被供给到该缸腔；缸单元，该缸单元被配置在本体中，并且具有活塞和活塞杆，该活塞被可位移地配置在缸腔中，该活塞杆被连接到活塞；供给杆，供给杆被可位移地并且与活塞杆实质上平行地配置在本体中，并且具有流体通道，工件保持流体被供给进该流体通道，用于保持工件的保持构件被安装在供给杆的端部上，保持构件与流体通道连通；位移块，该位移块被连接到供给杆和活塞杆的端部，并且在活塞的位移动作下位移；和缓冲机构，该缓冲机构缓冲施加于位移块的负载，并且被配置在位移块和活塞杆之间；其中，缓冲机构包括缓冲杆，该缓冲杆被配置成与活塞杆同轴，并且被插入位移块的孔，缓冲杆的外周表面被形成为锥形形状，其直径朝向本体逐渐地缩小。根据本专利技术，缸单元的活塞杆和供给杆被配置成基本平行，并且位移块被连接到供给杆和活塞杆的端部，该活塞杆被可位移地配置在本体的内部，该供给杆被可位移地配置在本体内并且保持构件能够将工件保持在其一端上。同时，被配置在位移块和活塞杆之间的缓冲机构，被配置成与活塞杆同轴，并且包括缓冲杆，该缓冲杆被插入位移块的孔中。进一步，由于缓冲杆的外周表面被形成为锥形形状并且其直径朝向本体逐渐地缩小，所以施加于位移块的负载可以被缓冲。因而，当在缸单元的驱动动作下保持构件抵接并且保持工件时，因为在位移块和缓冲杆之间沿径向方向的间距保持较小直到抵接工件，缓冲杆被保持以高精度沿轴线方向，并且位移块绕着供给杆的旋转位移能够被抑制。另一方面，在保持构件已经抵接工件后，在额外荷载被朝向工件侧施加的情况下，缓冲杆相对于位移块沿轴线方向相对地位移，从而在缓冲杆和位移块的孔之间沿径向方向的间距能够被扩大。所以，例如，即使在位移块的孔相对于缓冲杆偏心或偏移的情况下，因为依据位移块的位移该偏心度能够被间距的扩大而吸收，无论如何，缓冲杆也能够相对于位移块沿轴线方向平滑地位移。更具体地，位移块绕着供给杆的旋转位移被缓冲机构抑制，此外，缓冲杆能够平滑地相对于位移块沿轴线方向相对地位移，并且抵接工件时发生的负载能够适当地被吸收。通过下面的说明，并结合以示意性实例的方式显示的本专利技术的优选实施例的附图时，本专利技术的上述和其他的目的、特点和优点变得更加地清楚。附图说明图1是根据本专利技术的实施方式的流体压力缸的整体截面图；图2显示图1的流体压力缸中的缸单元附近的放大截面图；图3显示图1的流体压力缸中的位移构件附近的放大截面图；图4显示图3所示缓冲杆附近的放大截面图；图5是图1的流体压力缸中的位移构件的前视图；图6显示图2所示流体压力缸的位移构件抵接工件并且被压向本体的状态的放大截面图；图7显示图6所示缓冲杆附近的放大截面图；并且图8A至8D是图解当工件通过图1的流体压力缸在吸力作用下被吸住时的操作的示意图。具体实施方式如图1所示，根据本专利技术的流体压力缸10包括：本体12；缸单元16，该缸单元16具有活塞14，该活塞14沿本体12的轴线方向(箭头A和B的方向)被可移动地配置；吸杆(供给杆)18，该吸杆18被配置成与活塞14大致平行；和位移构件20，该位移构件20被连接到缸单元16和吸杆18，并且该位移构件20被配置成能够移动以靠近和远离本体12。以下将描述位移构件20采用在流体压力缸10上位于向下方向的情况。如图1和2所示，本体12由例如金属材料形成，截面为大致矩形形状。第一缸孔(缸室)22和第一杆孔24被形成在本体12的内部并且沿轴线方向(箭头A和B的方向)穿透本体12。第一缸孔22和第一杆孔24分隔预定距离并且被形成为大致相平行。此外，第一杆孔24从本体12的一端贯穿到另一端，而第一缸孔22在本体12的另一端上开口。此外，构成缸单元16的活塞14和活塞杆26被可移动地配置在第一缸孔22中。另一方面，吸杆18被插入第一杆孔24，从而吸杆18由一对支承28a、28b沿轴线方向(箭头A和B的方向)被可位移地支撑，该对支承被配置在第一杆孔24的一端和另一端中。支承28a、28b为圆柱形，并且吸杆18被插入其内部。向第一缸孔22供给压力流体(驱动流体)的第一和第二端口32、34，被形成在本体12的一端中。第一端口32经由第一连通通道36与第一缸孔22的一端连通。第二端口34经由连接通道38和第二连通通道40被连接到在第一缸孔22的另一端附近的部分并且与该部分连通，连接通道38被形成在第一缸孔22和第一杆孔24之间，第二连通通道40被形成在连接通道38的端部上。换句话说，经由第一和第二连通通道36、40，第一端口32和第二端口34分别被连接到在第一缸孔22中的活塞14的一端侧(沿箭头A的方向)和另一端侧(沿箭头B的方向)。另外，未示意的压力流体供给源经由管被连接到第一和第二端口32、34，并且在转换装置的转换作用下，压力流体被选择性地供给到第一和第二端口32、34中的一个。由此，被供给到第一端口32或第二端口34的压力流体，经由第一和第二连通通道36、40被引入第一缸孔22。进一步，在本体12的另一端中，形成第一杆孔24的区域相对于形成第一缸孔22的区域沿轴线方向(箭头B的方向)突出预定长度，从而本体12的另一端包括第一突出部42。更具体地，本体12的另一端被形成为阶梯形。当制造第二连通通道40时使用的加工孔44，在本体12的与第一缸孔22相邻的一侧面上开口。加工孔44被形成为垂直于第一缸孔22。此外，例如，未示意的钻头被从本体12的外部插入加工孔44，从而第二连通通道40被切割成垂直于第一缸孔22，并且被本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体压力缸，其特征在于，包含：本体(12)，所述本体(12)中具有缸腔(22)，驱动流体被供给到所述缸腔(22)；缸单元(16)，所述缸单元(16)配置在所述本体(12)中，并且具有活塞(14)和活塞杆(26)，所述活塞(14)可位移地配置在所述缸腔(22)中，所述活塞杆(26)被连接到所述活塞(14)；供给杆(18)，所述供给杆(18)可位移地并且与所述活塞杆(26)实质上平行地配置在所述本体(12)中，并且具有流体通道(88)，工件保持流体被供给到所述流体通道(88)，用于保持工件的保持构件(84)安装在所述供给杆(18)的端部上，所述保持构件(84)与所述流体通道(88)连通；位移块(92)，所述位移块(92)连接到所述供给杆(18)和所述活塞杆(26)的端部，并且在所述活塞(14)的位移动作下位移；和缓冲机构(94)，所述缓冲机构(94)缓冲施加于所述位移块(92)的负载，并且被配置在所述位移块(92)和所述活塞杆(26)之间；其中，所述缓冲机构(94)包括缓冲杆(112)，所述缓冲杆(112)配置成与所述活塞杆(26)同轴，并且被插入通过所述位移块(92)的孔(100)，所述缓冲杆(112)的外周表面形成为锥形形状，其直径朝向所述本体(12)逐渐地减小。...

【技术特征摘要】
2013.05.28 JP 2013-1114811.一种流体压力缸，其特征在于，包含：本体(12)，所述本体(12)中具有缸腔(22)，驱动流体被供给到所述缸腔(22)；缸单元(16)，所述缸单元(16)配置在所述本体(12)中，并且具有活塞(14)和活塞杆(26)，所述活塞(14)可位移地配置在所述缸腔(22)中，所述活塞杆(26)被连接到所述活塞(14)；供给杆(18)，所述供给杆(18)可位移地并且与所述活塞杆(26)实质上平行地配置在所述本体(12)中，并且具有流体通道(88)，工件保持流体被供给到所述流体通道(88)，用于保持工件的保持构件(84)安装在所述供给杆(18)的端部上，所述保持构件(84)与所述流体通道(88)连通；位移块(92)，所述位移块(92)连接到所述供给杆(18)和所述活塞杆(26)的端部，并且在所述活塞(14)的位移动作下位移；和缓冲机构(94)，所述缓冲机构(94)缓冲施加于所述位移块(92)的负载，并且被配置在所述位移块(92)和所述活塞杆(26)之间；其中，所述缓冲机构(94)包括缓冲杆(112)，所述缓冲杆(112)配置成与所述活塞杆(26)同轴，并且被插入通过所述位移块(92)的孔(100)，所述缓冲杆(112)的外周表面形成为锥形形状，其直径朝向所述本体(12)逐渐地减小。2.如权利要求1所述的流体压力缸，其特征在于，所述供给杆(18)与所述位移块(92)螺纹接合，用于在轴线方向上前进和退回。3.如权利要求1所述的流体压力缸，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：日下浩志，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP