一种投影式曝光设备及使用方法技术

本发明专利技术公开了一种投影式曝光设备及使用方法，包括光源、空间光调制器和曝光板材；在此基础上，还包括吹气管，吹气管安装在曝光板材表面的前方，吹气管上开有多个出风口，所述的出风口的出风位置对应曝光板材表面易堆积赃物的区域。本发明专利技术通过在曝光板材表面的前方增加了吹气管，在光束二到达待曝光板材表面的同时，吹气管出风，经由出风口对曝光板材表面易堆积赃物区域进行吹扫，待赃物全清除后停止出风，从而避免了因赃物污染，导致光束无法直接照射到板材表面，从而赃物覆盖处无法发生化学感光聚合反应，出现图形的缺失而引起一系列的品质缺陷的情况的发生，降低了报废率的同时，提升了PCB良率，具有广泛的市场前景和使用价值。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，包括光源、空间光调制器和曝光板材；在此基础上，还包括吹气管，吹气管安装在曝光板材表面的前方，吹气管上开有多个出风口，所述的出风口的出风位置对应曝光板材表面易堆积赃物的区域。本专利技术通过在曝光板材表面的前方增加了吹气管，在光束二到达待曝光板材表面的同时，吹气管出风，经由出风口对曝光板材表面易堆积赃物区域进行吹扫，待赃物全清除后停止出风，从而避免了因赃物污染，导致光束无法直接照射到板材表面，从而赃物覆盖处无法发生化学感光聚合反应，出现图形的缺失而引起一系列的品质缺陷的情况的发生，降低了报废率的同时，提升了PCB良率，具有广泛的市场前景和使用价值。【专利说明】
本专利技术涉及一种利用气流清洁板材提升良率的方法，具体是一种投影式曝光设 备，其特及使用方法，属于印刷电路板中曝光
。
技术介绍
目前印刷电路板（PCB)图像转移设备有两大类：传统的投影式曝光设备和激光直 接成像设备（LDI)。传统的投影式曝光设备将图形印制在菲林底片上，通过投影菲林底片将 图形转移到感光干膜上；另外一类是激光直写式曝光设备，激光束将曝光图形通过空间光 调制器直接扫描成像在感光干膜上。 激光直写式曝光设备使用空间光调制器（SLM，Special Light Modulator)来代替 菲林底片图形，光束通过空间光调制器反射，经过光路到达待曝光基底表面，利用化学聚合 反应将图形转移到待曝光板材表面，所述的待曝光板材采用压有感光干膜的PCB板，空间 光调制器上的图形与待曝光基底之间做相对运动；曝光基底在随着平台运动过程中，由于 操作人员、环境等影响，板材上会发生赃物污染，如毛发、干膜碎屑、灰尘等覆盖，此时会使 光束无法直接照射到板材表面，从而赃物覆盖处无法发生化学感光聚合反应，导致图形的 缺失而引起一系列的品质缺陷（开路、缺口、短路、多铜)，据PCB生产统计：赃物的影响会导 致报废率上升1%以上。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本专利技术提供及装 置，提升PCB良率，降低报废率。 为了实现上述目的，本专利技术包括光源、空间光调制器和曝光板材；在此基础上，还 包括吹气管，吹气管安装在曝光板材表面的前方，吹气管上开有多个出风口，所述的出风口 的出风位置对应曝光板材表面易堆积赃物的区域。 进一步，曝光板材为PCB板，表面压有一层感光干膜。 根据本专利技术中投影式曝光设备的机构，其具体的使用方法如下： (1) 光源发出光束一，光束一经过光路到空间光调制器； (2) 空间光调制器将光束一反射形成光束二； (3) 吹气管出风，经由出风口对曝光板材表面易堆积赃物的区域进行吹扫，待赃物完全 清除后停止出风； (4) 与步骤三同步，光束二到达待曝光板材表面，利用化学感光聚合反应将图形转移到 待曝光基底的表面，空间光调制器上的图形与待曝光基底之间做相对运动，完成整体操作。 作为另外一种使用方式，具体的使用方法如下： (1) 吹气管出风，经由出风口对曝光板材表面易堆积赃物的区域进行吹扫，待赃物（7) 完全清除后停止出风； (2) 光源发出光束一，光束一经过光路到空间光调制器； (3) 空间光调制器将光束一反射形成光束二； (4) 光束二到达待曝光板材表面，利用化学感光聚合反应将图形转移到待曝光基底的 表面，空间光调制器上的图形与待曝光基底之间做相对运动，完成整体操作。 对比现有技术，同时结合本专利技术的结构和具体的是方法，本专利技术在曝光板材表面 的前方增加了吹气管，在光束二到达待曝光板材表面的同时，吹气管出风，经由出风口对曝 光板材表面易堆积赃物区域进行吹扫，待赃物全清除后停止出风，从而避免了因赃物污染， 导致光束无法直接照射到板材表面，从而赃物覆盖处无法发生化学感光聚合反应，出现图 形的缺失而引起一系列的品质缺陷(如开路、缺口、短路、多铜等）的情况的发生，降低了报 废率的同时，提升了 PCB良率，具有广泛的市场前景和使用价值。 【专利附图】【附图说明】 图1为现有投影式曝光设备的工作流程示意图； 图2为本专利技术的工作流程示意图。 图中：1、光源；2、光束一 ；3、空间光调制器；4、光束二；5、曝光板材；6、曝光基底； 7、赃物；8、吹气管。 【具体实施方式】 下面结合附图对本专利技术做进一步说明。 如图2所示，一种投影式曝光设备，包括光源1、空间光调制器3和曝光板材5 ;还 包括吹气管8,所述的吹气管8安装在曝光板材5表面的前方，吹气管8上开有多个出风口， 所述的出风口的出风位置对应曝光板材5表面易堆积赃物7的区域。 作为本专利技术优选的方式，所述的曝光板材5为PCB板，表面压有一层感光干膜。 结合图2所示，投影式曝光设备的使用方法如下： (1) 光源1发出光束一 2,光束一经过光路到空间光调制器3 ; (2) 空间光调制器将光束一 2反射形成光束二4 ; (3) 吹气管8出风，经由出风口对曝光板材5表面易堆积赃物7的区域进行吹扫，待赃 物7完全清除后停止出风； (4) 与步骤三同步，光束二4到达待曝光板材表面5,利用化学感光聚合反应将图形转 移到待曝光基底6的表面，空间光调制器3上的图形与待曝光基底6之间做相对运动，完成 整体操作。 作为另一种方式，其具体的使用方法如下： (1) 吹气管8出风，经由出风口对曝光板材5表面易堆积赃物7的区域进行吹扫，待赃 物7完全清除后停止出风； (2) 光源1发出光束一 2,光束一经过光路到空间光调制器3 ; (3) 空间光调制器将光束一 2反射形成光束二4 ; (4) 光束二4到达待曝光板材表面5,利用化学感光聚合反应将图形转移到待曝光基底 6的表面，空间光调制器3上的图形与待曝光基底6之间做相对运动，完成整体操作。 对比图1的现有技术，结合本专利技术的结构和具体的是方法，本专利技术在曝光板材表 面的前方增加了吹气管8,在光束二4到达待曝光板材表面的同时，吹气管8出风，经由出风 口对曝光板材5表面易堆积赃物7区域进行吹扫，待赃物7全清除后停止出风，从而避免了 因赃物7污染，导致光束无法直接照射到板材表面，从而赃物覆盖处无法发生化学感光聚 合反应，出现图形的缺失而引起一系列的品质缺陷（如开路、缺口、短路、多铜等）的情况的 发生，降低了报废率的同时，提升了 PCB良率，具有广泛的市场前景和使用价值。【权利要求】1. 一种投影式曝光设备，包括光源（1)、空间光调制器（3)和曝光板材（5); 其特征在于，还包括吹气管（8)，所述的吹气管（8)安装在曝光板材（5)表面的前方，吹 气管（8)上开有多个出风口，所述的出风口的出风位置对应曝光板材（5)表面易堆积赃物 (7)的区域。2. 根据权利要求1所述的一种投影式曝光设备，其特征在于，所述的曝光板材（5)为 PCB板，表面压有一层感光干膜。3. 根据权利要求1所述的一种投影式曝光设备，其特征在于，具体的使用方法如下： (1) 光源（1)发出光束一（2)，光束一经过光路到空间光调制器（3); (2) 空间光调制器将光束一（2)反射形成光束二（4); (3) 吹气管（8)出风，经由出风口对曝光板材（5)表面易堆积赃物（7)的区域进行吹扫， 待赃物（7)完全清除后停本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种投影式曝光设备，包括光源（1）、空间光调制器（3）和曝光板材（5）；其特征在于，还包括吹气管（8），所述的吹气管（8）安装在曝光板材（5）表面的前方，吹气管（8）上开有多个出风口，所述的出风口的出风位置对应曝光板材（5）表面易堆积赃物（7）的区域。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王宇航，曹旸，
申请(专利权)人：江苏影速光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32