一种简易型CCD调整座结构制造技术

技术编号:10770970 阅读:114 留言:0更新日期:2014-12-12 02:41
本实用新型专利技术公开了一种简易型CCD调整座结构,其Z轴调整座组活动设于纵向固定板的第一侧面,其CCD安装在Z轴调整座组上,其升降气缸固定在纵向固定板的第一侧面,用以驱动Z轴调整座组上下升降,其X轴调整座和Y轴调整座位于纵向固定板的第二侧面,X轴调整座上开设有沿X轴方向设置的长孔,Y轴调整座的上表面设有沿Y轴方向设置的长槽,还包括连接杆,连接杆的上端伸入长孔内并可沿长孔移动,连接杆的下端伸入长槽内并可沿长槽移动,连接杆的上、下两端还分别设有可将该连接杆的上、下两端对应固定在X轴调整座和Y轴调整座上的固定件。本实用新型专利技术的简易型CCD调整座结构的结构简单,成本低,调整更加方便。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种简易型CCD调整座结构,其Z轴调整座组活动设于纵向固定板的第一侧面,其CCD安装在Z轴调整座组上,其升降气缸固定在纵向固定板的第一侧面,用以驱动Z轴调整座组上下升降,其X轴调整座和Y轴调整座位于纵向固定板的第二侧面,X轴调整座上开设有沿X轴方向设置的长孔,Y轴调整座的上表面设有沿Y轴方向设置的长槽,还包括连接杆,连接杆的上端伸入长孔内并可沿长孔移动,连接杆的下端伸入长槽内并可沿长槽移动,连接杆的上、下两端还分别设有可将该连接杆的上、下两端对应固定在X轴调整座和Y轴调整座上的固定件。本技术的简易型CCD调整座结构的结构简单,成本低,调整更加方便。【专利说明】—种简易型CCD调整座结构
本技术涉及一种简易型CCD调整座结构,尤其涉及一种应用于具有对位系统的曝光机上的简易型CCD调整座结构。
技术介绍
目前的CXD调整座结构由纵向固定板、Z轴调整座组、(XD、升降气缸、X轴调整座组和Y轴调整座组构成,升降气缸固定在纵向固定板的一侧面,Z轴调整座组通过升降气缸的驱动实现Z轴方向升降,CXD固定在Z轴调整座组上,X轴调整座组和Y轴调整座组位于纵向固定板的另一相对侧面,且X轴调整座组由X轴调整座、两个X轴固定块和两个X轴调整螺母构成,Y轴调整座组由Y轴调整座、两个Y轴固定块和两个Y轴调整螺母构成。不仅结构复杂,成本高,而且每次调整均需要分别调节两个X轴调整螺母和两个Y轴调整螺母,从而使得调整不方便。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种简易型CCD调整座结构,结构简单,成本低,调整更加方便。 为实现上述目的,本技术提供一种简易型CXD调整座结构,包括纵向固定板、Z轴调整座组、(XD、升降气缸、X轴调整座和Y轴调整座,所述Z轴调整座组活动设于所述纵向固定板的第一侧面,所述CCD安装在所述Z轴调整座组上,所述升降气缸固定在所述纵向固定板的第一侧面,用以驱动所述Z轴调整座组上下升降,所述的X轴调整座和Y轴调整座位于所述纵向固定板的第二侧面,所述第二侧面与第一侧面相对,所述X轴调整座呈平板状,所述X轴调整座的一侧固定在所述纵向固定板上,所述X轴调整座上开设有沿X轴方向设置的长孔,所述Y轴调整座呈方条状,所述Y轴调整座位于所述X轴调整座的下方并且与X轴调整座垂直,所述Y轴调整座的上表面设有沿Y轴方向设置的长槽,还包括连接杆,所述连接杆的上端伸入所述长孔内并可沿长孔移动,所述连接杆的下端伸入所述长槽内并可沿长槽移动,所述连接杆的上、下两端还分别设有可将该连接杆的上、下两端对应固定在所述X轴调整座和Y轴调整座上的固定件。 通过采用平板状的X轴调整座和方条状的Y轴调整座,并在X轴调整座上开设长孔,在Y轴调整座所设置长槽,以及采用连接杆连接长孔和长槽,并在连接杆的上、下两端设置固定件以将连接杆的上、下两端分别固定在X轴调整座和Y轴调整座,这样,通过下端的固定件固定连接杆的下端至Y轴调整座上,便可以使连接杆的上端沿长孔移动,便可以调节CXD在X轴上的位置,通过上端的固定件固定连接杆的上端至X轴调整座上,便可以使连接杆的下端沿长槽移动,便可以调节CCD在Y轴上的位置,代替了现有技术中的X轴固定块、X轴调整螺母、Y轴固定块和Y轴调整螺母调节的方式,从而使得CXD调整座结构的结构简单,成本低廉,且调整更加方便;且呈方条状的Y轴调整座和呈平板状的X轴调整座也结构简单,制造方便,成本低廉。 作为本技术的进一步改进,所述连接杆为双头螺栓,所述固定件为螺母。采用双头螺栓和螺母可进一步简化结构,降低成本,且可进一步使得调整更加方便。 通过以下的描述并结合附图,本技术将变得更加清晰,这些附图用于解释本技术的实施例。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术中的简易型CXD调整座结构的示意图。 【具体实施方式】 现在参考附图描述本技术的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。 请参考图1,所述的简易型CXD调整座结构包括纵向固定板1、Z轴调整座组2、(XD3、升降气缸4、X轴调整座5和Y轴调整座6以及连接杆(图中未示出)。所述Z轴调整座组2活动设于所述纵向固定板I的第一侧面,所述(XD3安装在所述Z轴调整座组2上,所述升降气缸4固定在所述纵向固定板I的第一侧面,用以驱动所述Z轴调整座组2上下升降,所述的X轴调整座4和Y轴调整座5位于所述纵向固定板I的第二侧面,所述第二侧面与第一侧面相对。 进一步说明的是,所述Z轴调整座组2包括安装座21和Z轴升降座22,所述安装座21固定在所述Z轴升降座22的下端,所述CCD3安装在安装座21上,所述Z轴升降座22的上端固定有顶块23,所述顶块23与所述纵向固定板I平行,所述顶块23位于所述升降气缸4的推杆的正上方。所述顶块23上固定有触动块24,所述触动块24位于所述升降气缸4的推杆的正上方。 所述X轴调整座4呈平板状,所述X轴调整座4的一侧固定在所述纵向固定板I上,所述X轴调整座4上开设有沿X轴方向设置的长孔41。所述Y轴调整座5呈方条状,所述Y轴调整座5位于所述X轴调整座4的下方并且与X轴调整座4垂直,所述Y轴调整座5的上表面设有沿Y轴方向设置的长槽51。 所述连接杆的上端伸入所述长孔41内并可沿长孔41移动,所述连接杆的下端伸入所述长槽51内并可沿长槽51移动,所述连接杆的上、下两端还分别设有对应固定在所述X轴调整座4和Y轴调整座5上的固定件。更进一步说明的是,所述连接杆7为双头螺栓,所述固定件为螺母。 使用时,通过所述升降气缸4的推杆的上下运动,使得所述触动块24带动所述的顶块23、Z轴升降座22、安装座21以及(XD3上下运动;通过拧紧下端的固定件使得连接杆的下端固定至Y轴调整座5上,拧松上端的固定件,便可以使连接杆的上端沿长孔41移动,从而可使得所述的纵向固定板1、Z轴调整座组2、X轴调整座5和(XD3 —起沿X轴方向移动,便可以调节(XD3在X轴上的位置;通过拧紧上端的固定件使得连接杆的上端固定至X轴调整座上,拧松下端的固定件,便可以使连接杆的下端沿长槽51移动,从而可使得所述的纵向固定板1、Z轴调整座组2、X轴调整座5和(XD3 —起沿Y轴方向移动,便可以调节(XD3在Y轴上的位置,代替了现有技术中的X轴固定块、X轴调整螺母、Y轴固定块和Y轴调整螺母调节的方式,从而使得CCD调整座结构的结构简单,成本低廉,且调整更加方便。 以上结合最佳实施例对本技术进行了描述,但本技术并不局限于以上揭示的实施例,而应当涵盖各种根据本技术的本质进行的修改、等效组合。【权利要求】1.一种简易型CXD调整座结构,包括纵向固定板、Z轴调整座组、CXD、升降气缸、X轴调整座和Y轴调整座,所述Z轴调整座组活动设于所述纵向固定板的第一侧面,所述CXD安装在所述Z轴调整座组上,所述升降气缸固定在所述纵向固定板的第一侧面,用以驱动所述Z轴调整座组上下升降,所述的X轴调整座和Y轴调整座位于所述纵向固定板的第二侧面,所述第二侧面与第一侧面相对,其特征在于:所述X轴调整座呈平板状,所述X轴调整座的一侧固定在所述纵向固定板上,所述X轴调整座上开设有沿X轴方向设置的长孔,所述Y轴调整座呈方条本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种简易型CCD调整座结构,包括纵向固定板、Z轴调整座组、CCD、升降气缸、X轴调整座和Y轴调整座,所述Z轴调整座组活动设于所述纵向固定板的第一侧面,所述CCD安装在所述Z轴调整座组上,所述升降气缸固定在所述纵向固定板的第一侧面,用以驱动所述Z轴调整座组上下升降,所述的X轴调整座和Y轴调整座位于所述纵向固定板的第二侧面,所述第二侧面与第一侧面相对,其特征在于:所述X轴调整座呈平板状,所述X轴调整座的一侧固定在所述纵向固定板上,所述X轴调整座上开设有沿X轴方向设置的长孔,所述Y轴调整座呈方条状,所述Y轴调整座位于所述X轴调整座的下方并且与X轴调整座垂直,所述Y轴调整座的上表面设有沿Y轴方向设置的长槽,还包括连接杆,所述连接杆的上端伸入所述长孔内并可沿长孔移动,所述连接杆的下端伸入所述长槽内并可沿长槽移动,所述连接杆的上、下两端还分别设有可将该连接杆的上、下两端对应固定在所述X轴调整座和Y轴调整座上的固定件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:危银长
申请(专利权)人:志圣科技广州有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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