上浮用空气板制造技术

一种上浮用空气板(1)，其具备：顶板(2)，其以俯视时交替的方式配设有多个从上表面(2a)贯通至下表面(2b)的空气喷出孔(2c)及吸引孔(2d)，并且在多个空气喷出孔的各自的下表面侧具有锪孔部(2e)；节流孔片(3)，其在对应于顶板的锪孔部的位置，具有多个从上表面(3a)贯通至下表面(3b)的节流孔(3c)，并且具有以一对一的方式与顶板的吸引孔连通的、从上表面贯通至下表面的连通孔(3d)；以及底侧板(4)、(5)，其具有用于对贯穿设置于节流孔片的所有节流孔供给空气的空气供给路径(4c)和供气孔(5c)、以及从连通于上述吸引孔的所有连通孔吸引空气的空气吸引路径(4d)和吸引孔(5d)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种上浮用空气板(1)，其具备：顶板(2)，其以俯视时交替的方式配设有多个从上表面(2a)贯通至下表面(2b)的空气喷出孔(2c)及吸引孔(2d)，并且在多个空气喷出孔的各自的下表面侧具有锪孔部(2e)；节流孔片(3)，其在对应于顶板的锪孔部的位置，具有多个从上表面(3a)贯通至下表面(3b)的节流孔(3c)，并且具有以一对一的方式与顶板的吸引孔连通的、从上表面贯通至下表面的连通孔(3d)；以及底侧板(4)、(5)，其具有用于对贯穿设置于节流孔片的所有节流孔供给空气的空气供给路径(4c)和供气孔(5c)、以及从连通于上述吸引孔的所有连通孔吸引空气的空气吸引路径(4d)和吸引孔(5d)。【专利说明】上浮用空气板
本专利技术涉及一种上浮用空气板，尤其涉及用于生产大型的液晶显示器(IXD)、等离子显示器(rop)等平板显示器(FPD)和/或太阳能电池板(Solar Panel)等的非接触搬运装置的上浮用空气板。
技术介绍
在生产FPD和/或太阳电池板等时，采用将I片面板大型化来提高生产效率的方法。然而，在使用以往的算盘式滚筒等作为Fro的搬运方法的接触型搬运装置中，在玻璃的薄型化、大型化、高速化、无应力化且高精度地维持其上浮量的状态下的搬运等存有不利的情形，因此要求非接触空气上浮搬运。 在该非接触空气上浮搬运中，当使玻璃等搬运物上浮时，通常由板(plate)形状的板喷出空气。作为喷出的方式，有以下方法:从碳等多孔质材料经微细气孔喷出空气的方法，以及在具有高刚性的厚板材上加工许多小径孔、从这些孔喷出空气的方法。 在对描绘于被搬运的玻璃上的电路图案进行检查和/或涂层的工序中，需要高精度地维持玻璃的上浮精度。所以，需要实施以高刚性使玻璃上浮来矫正玻璃的弯曲的方法。
技术实现思路
专利技术要解决的问题 以往，为了以高刚性使玻璃等上浮并进行保持，提倡将多孔质节流件的静压力气体轴承和吸引孔组合。但是，很难以高精度来制作大型的多孔质节流结构，未能实现2mX2m等级的大型产品。另外，在具有高刚性的厚板材上加工许多小径孔的形式的空气轴承的制作过程中，存在耗费庞大的时间和费用的问题。 因此，本专利技术是鉴于上述以往的上浮用空气板的问题点而完成的，其目的在于提供一种上浮用空气板，该上浮用空气板能够容易地制造，并且能够以高刚性使玻璃等被搬运物上浮，高精度地控制上浮量。 用于解决问题的手段 为了达到上述目的，本专利技术是一种上浮用空气板，其特征在于，具备:顶板，其以俯视时交替的方式配设有多个从上表面贯通至下表面的空气喷出孔及吸引孔，并且在上述多个空气喷出孔的各自的下表面侧具有锪孔部；节流孔片，其在与该顶板的上述锪孔部对应的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第I节流孔，并且具有以一对一的方式与上述顶板的上述吸引孔连通的、从上表面贯通至下表面的连通孔；以及底侧板，其具有用于对贯穿设置于该节流孔片的所有第I节流孔供给空气的空气供给路径和供气孔，以及从连通于上述吸引孔的所有连通孔吸引空气的空气吸引路径和吸引孔。 并且，根据本专利技术，从贯穿设置于节流孔片的第I节流孔喷出的空气碰撞于顶板的锪孔部，在速度降低了的状态下从空气喷出孔朝向上方喷出，能够以非接触的方式、高刚性地使位于上方的玻璃等上浮。另外，通过交替地配设多个空气喷出孔及吸引孔，能够致密地调整喷出的空气的压力与被吸引的空气的压力的平衡，能够高精度地控制被搬运物的上浮量。 在上述上浮用空气板中，可以构成为，上述底侧板包括空气路径板和底板，在该空气路径板的上表面，形成有与贯穿设置于上述节流孔片的所有第I节流孔连通的空气喷出用槽部、以及以一对一的方式与上述节流孔片的上述贯通孔连通的吸引用开口，在该空气路径板的下表面，形成有与连通于上述吸引用开口的所有连通孔连通的吸引用槽部、以及开口于该下表面且与上述空气喷出用槽部连通的连通孔，形成从上述底板的上表面贯通至下表面的供气孔和吸引孔，该供气孔的上表面侧开口部连通于与上述空气路径板的上述空气喷出用槽部连通的连通孔，上述吸引孔的上表面侧开口部连通于上述空气路径板的上述吸引用槽部。由此，空气喷出路径与空气吸引路径的制作变得容易，能够进一步降低制造成本。 在上述上浮用空气板中，可以代替上述节流孔片的上述连通孔，而在与上述顶板的上述吸引孔对应的位置形成多个从上表面贯通至下表面的第2节流孔。由此，对于被吸引的空气也能够发挥节流作用，能够抑制吸引力的变化。 另外，本专利技术是一种上浮用空气板，其特征在于，具备:顶板，其以俯视时交替的方式配设有从上表面贯通至下表面的空气喷出孔及吸引孔；接触面片，其具有如下的连通孔，该连通孔以一对一的方式与该顶板的上述空气喷出孔及吸引孔连通，从该接触面片的上表面贯通至下表面，直径大于上述空气喷出孔及吸引孔的直径；节流孔片，其在对应于与上述顶板的上述空气喷出孔连通的上述底面片的连通孔的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第I节流孔，并且，在对应于与上述顶板的上述吸引孔连通的上述接触面片的连通孔的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第2节流孔；以及底侧板，其具有用于对贯穿设置于该节流孔片的所有第I节流孔供给空气的空气供给路径和供气孔，以及用于从贯穿设置于该节流孔片的所有第2节流孔吸引空气的空气吸引路径和吸引孔。根据本专利技术，与上述专利技术同样，能够以非接触的方式高刚性地使位于上方的玻璃等上浮，并且能够高精度地控制被搬运物的上浮量。 另外，由于通过设置在接触面片的连通孔形成锪孔部、将该锪孔部设置在作为不同于顶板的片的接触面片，因此能够提高锪孔加工的精度，能够得到均匀的锪孔深度，并且能够容易地进行锪孔加工。 在上述上浮用空气板中，可以构成为，上述底侧板包括空气路径板和底板，在该空气路径板的上表面，形成有与贯穿设置于上述节流孔片的所有第I节流孔连通的空气喷出用槽部、和与贯穿设置于上述节流孔片的所有第2节流孔连通的吸引用开口，并且，在该空气路径板的下表面，形成有与连通于上述吸引用开口的所有连通孔连通的吸引用槽部、和开口于该下表面且与上述空气喷出用槽部连通的连通孔，形成从上述底板的上表面贯通至下表面的供气孔和吸引孔，该供气孔的上表面侧开口部连通于与上述空气路径板的上述空气喷出用槽部连通的连通孔，上述吸引孔的上表面侧开口部连通于上述空气路径板的上述吸引用槽部。由此，空气喷出路径与空气吸引路径的制作变得容易，能够进一步降低制造成本。 在上述上浮用空气板中，上述顶板的上述空气喷出孔及吸引孔能够被配置成在俯视该顶板时交替地配置于互相平行的多条直线上，并且该多条直线与用该上浮用空气板进行搬运的搬运方向所成的角为0°、45°和90°以外的角度。由此，能够与垂直于搬运方向的方向上的位置无关地，将空气喷出孔及吸引孔均匀地排列于搬运方向，因此能够在稳定的状态下以非接触的方式搬运被搬运物。进而，当玻璃等被搬运物由于涂层等而在高温状态下被搬运时，被搬运物移动时无喷出口的死区减少，所以能够较理想地进行被搬运物的均匀冷却。 在上述上浮用空气板中，能够通过使用激光的微细孔加工贯穿设置上述节流孔片的上述多个节流孔的每一个。由此，能够在短时间内有效地贯穿设置节流孔，能够进一步降低制造成本。 专利技术的效果 如上所述，根本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种上浮用空气板，其特征在于，具备：顶板，其以俯视时交替的方式配设有多个从上表面贯通至下表面的空气喷出孔及吸引孔，并且在上述多个空气喷出孔的各自的下表面侧具有锪孔部；节流孔片，其在对应于该顶板的上述锪孔部的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第1节流孔，并且具有以一对一的方式与上述顶板的上述吸引孔连通的、从上表面贯通至下表面的连通孔；以及底侧板，其具有用于对贯穿设置于该节流孔片的所有第1节流孔供给空气的空气供给路径和供气孔，以及从连通于上述吸引孔的所有连通孔吸引空气的空气吸引路径和吸引孔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：角田耕一，伊藤彰彦，安田贵裕，小泽秀夫，
申请(专利权)人：翁令司工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP