旋流形成体及非接触式运送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供可减少非接触式运送装置的制造成本且防止被运送物的浮起高度的精度下降的旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置。该旋流形成体1具备：碗状的主体1a，其具有在表面侧开口的俯视呈圆形的孔部1b；流体喷出口1k，其在形成该主体的孔部的内表面开口；和流体取入口1l，其在主体的外表面开口且与流体喷出口连通，通过从流体喷出口喷出流体，在主体的表面侧产生朝向从该表面离开的方向的上升旋流。能够将该旋流形成体1和产生俯视呈相反方向的旋流的旋流形成体4在基体2的运送面2a配置两个以上而构成非接触式运送装置，能够将旋流形成体设置于在基体的运送面形成的凹部（收置部2b）中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置，特别涉及在大型的液晶显示器(IXD)和/或等离子显示器(PDP)等FPD (平板显示器)和/或太阳能电池板(太阳能板)等的生产中使用的轨道状的非接触式运送装置及构成该非接触式运送装置的旋流形成体。
技术介绍
以往，在FPD和/或太阳能电池板等的生产时，采用了通过使一个面板大型化来提高生产效率的方法。例如，在液晶玻璃的情况下，第十代可成为2850X3050X0. 7mm的大小。因此，当如以往那样在排列多个的辊上装载液晶玻璃来滚动运送时，会因支撑辊的轴的弯曲和/或辊高度的波动而在液晶玻璃上局部地作用较强的力，有可能损伤液晶玻璃。 上述由辊形成的滚动运送装置，在要求该装置与面板之间是非接触的、例如FPD的处理工序中不能采用，近年来，正在开始采用空气浮起的运送装置。作为非接触式运送装置，有在板状的轨道的一部分使用多孔质材料并通过使其与供气路径连通来供气、从而通过喷出空气将FPD浮起运送的装置。但是，当使用该装置时，FPD成为一边在上下方向上运动一边浮游的状态，因此虽然可在运送工序中使用，但是却无法在例如要求3(Γ50 μ m的高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小泽秀夫，角田耕一，安田贵裕，松本浩司，
申请(专利权)人：翁令司工业股份有限公司，
类型：
国别省市：