一种盒装置，具有：第一单元部，进行基板的供给及回收中的一方；和第二单元部，进行上述基板的供给及回收中的另一方，上述第一单元部及上述第二单元部可彼此接近或分离。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种盒装置，具有：第一单元部，进行基板的供给及回收中的一方；和第二单元部，进行上述基板的供给及回收中的另一方，上述第一单元部及上述第二单元部可彼此接近或分离。【专利说明】
本专利技术涉及盒(cassette)装置、基板搬送装置、基板处理装置和基板处理方法。 本申请根据2012年4月13日申请的日本特愿2012-092132号主张优先权，并将其内容援引于此。
技术介绍
作为构成显示器装置等显示装置(显示面板)的显示元件，例如已知液晶显示元件、有机电致发光(有机EL)元件。目前，在这些显示元件中，与各像素对应地在基板表面上形成薄膜晶体管(Thin Film Transistor:TFT)的有源元件(active device)逐渐成为主流。 近年来，提出了一种在具有挠性的片状基板(例如薄膜构件等)上形成显示元件的技术。作为这种技术，例如已知一种被称为卷对卷(roll to roll)方式(以下简记为“卷方式”)的手法(例如参照专利文献I)。卷方式是将卷绕在基板供给侧的供给用滚筒上的一张片状基板(例如带状的薄膜构件)送出，并一边将送出的基板以基板回收侧的回收用滚筒加以卷绕，一边通过设置在供给用滚筒与回收用滚筒之间的处理装置施加用于在基板上形成显示面板或太阳能电池板等电子元件的所期望的加工处理。 而且，在基板从被送出直到被卷绕为止的期间，例如使用多个搬送滚筒等搬送基板，在生产显示面板的情况下，使用多个处理装置(单元)来形成构成TFT的栅电极、栅极绝缘膜、半导体膜、源极/漏极等，并在基板的被处理面上依次形成显示元件的构成要件。例如，在形成有机EL元件的情况下，在基板上依次形成发光层、阳极、阴极、电路等。 现有技术文献 专利文献1:国际公布第2006/100868号
技术实现思路
然而，在上述结构中，在从被送出直到被卷绕为止的期间，由于基板搭在多个处理装置上，所以基板的全长变长，会有基板的管理不易的情况。 本专利技术方式的目的在于提供一种能减轻搬送时基板的管理负担的盒装置、基板搬送装置和基板处理装置。 根据本专利技术的第一方式，提供一种盒装置，具有:第一单元部，进行基板的供给及回收的一方；以及第二单元部，进行基板的供给及回收的另一方，第一单元部及第二单元部能够彼此接近或分离。 根据本专利技术的第二方式，提供一种基板搬送装置，具有:第一单元部，能够移动地设在第一移动路径上，并进行基板的供给及回收的一方；第二单元部，能够移动地设在第二移动路径上，并进行基板的供给及回收的另一方；以及控制部，对配置在第一移动路径与第二移动路径之间的第一基板处理部，控制第一单元部使其进行基板的供给及回收的一方，且控制第二单元部使其进行基板的供给及回收的另一方，控制部对配置在第一移动路径与第二移动路径之间且与第一基板处理部不同的第二基板处理部，使第一单元部及第二单元部移动，控制第一单元部使其进行基板的供给及回收的另一方，且控制第二单元部使其进行上述基板的供给及回收的一方。 根据本专利技术的第三方式，提供一种基板处理装置，具有:多个处理部，配置在第一移动路径与第二移动路径之间，对具有挠性的基板进行处理；以及本专利技术第二方式的基板搬送装置。 根据本专利技术的第四方式，提供一种基板处理方法，其是用于将具有挠性的长条基板依次送至多个处理装置，并在上述基板上形成电子元件的处理方法，其中，包括:第一处理工序，隔着上述第一基板处理部地配置第一单元部和第二单元部，其中，该第一单元部包括在长度方向上卷绕有应供给至第一基板处理部的上述基板的供给滚筒，该第二单元部包括在长度方向上卷绕应从上述第一基板处理部回收的上述基板的回收滚筒，通过上述第一基板处理部处理从上述供给滚筒供给的上述基板后以上述回收滚筒回收；第一移动工序，使上述第一单元部和上述第二单元部一起沿着上述供给滚筒与上述回收滚筒之间的上述基板从上述第一基板处理部离开的第一方向移动；第二移动工序，为了缩小上述供给滚筒与上述回收滚筒在上述长度方向上的间隔，使上述第一单元部与上述第二单元部的至少一方沿着与上述第一方向交叉的第二方向移动；和第三移动工序，使以规定间隔相对的上述第一单元部与上述第二单元部随着上述第一方向的平移运动、上述第二方向的平移运动、在包括上述第一方向和第二方向的平面内的旋转运动中的至少两种运动，而一起朝向与上述第一基板处理部不同的第二基板处理部移动。 专利技术效果 根据本专利技术的方式，能够减轻搬送时基板的管理负担。 【专利附图】【附图说明】 图1是表示第一实施方式的基板处理装置的整体结构的立体图。 图2是表示本实施方式的第一单元部侧的结构的分解立体图。 图3是表示本实施方式的盒装置的一部分结构的图。 图4是表示本实施方式的第二单元部侧的结构的分解立体图。 图5是表示本实施方式的盒装置的结构的图。 图6是表示本实施方式的处理部的结构的图。 图7是表示本实施方式的基板处理装置的动作的一个方式的图。 图8是表示本实施方式的基板处理装置的动作的一个方式的图。 图9是表示本实施方式的基板处理装置的动作的一个方式的图。 图10是表示本实施方式的基板处理装置的动作的一个方式的图。 图11是表示本实施方式的基板处理装置的动作的一个方式的图。 图12是表示本实施方式的基板处理装置的动作的一个方式的图。 图13是表示第二实施方式的基板处理装置的整体结构的立体图。 图14是表示本实施方式的基板处理装置的一部分结构的剖视图。 图15是表示本实施方式的抬升部的结构的立体图。 图16是表示基板处理装置的另一结构的图。 图17是表示基板处理装置的另一结构的图。 图18是表示基板处理装置的另一结构的图。 图19是表示基板处理装置的另一结构的图。 图20是表示基板处理装置的另一结构的图。 图21是表示基板的另一结构的图。 图22是表示基板处理装置的另一结构和动作状态的图。 图23是表示图22的基板处理装置的下一个动作状态的图。 图24是表示图23的基板处理装置的下一个动作状态的图。 图25是表示图24的基板处理装置的下一个动作状态的图。 图26是表示图25的基板处理装置的下一个动作状态的图。 图27是表示图26的基板处理装置的下一个动作状态的图。 【具体实施方式】 以下，参照【专利附图】【附图说明】本专利技术的第一实施方式。 图1是表示本实施方式的基板处理装置(基板搬送装置)100的整体结构的立体图。如图1所示，基板处理装置100具有对具有挠性的片状基板(例如带状的薄膜构件)S进行规定处理的处理部(第一基板处理部、第二基板处理部)10、搬送基板S的搬送部(盒装置)20、和统筹控制处理部10及盒装置20的控制部CONT。基板处理装置100设置在例如制造工厂的地面FL上。 基板处理装置100是对基板S的处理面(表面)执行各种处理的卷对卷(roll toroll)方式(以下简记为“卷方式”)的装置。基板处理装置100用于在基板S上形成例如有机EL元件、液晶显示元件等显示元件(电子元件)的情况。当然，还可以在形成这些元件以外的元件(例如，太阳能电池、彩色滤光片、触摸面板等)的系统中使用基板处理装置100。 以下，在说明本实本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种盒装置，其特征在于，具有：第一单元部，其进行基板的供给及回收中的一方；和第二单元部，其进行所述基板的供给及回收中的另一方，所述第一单元部及所述第二单元部可彼此接近或分离。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：浜田智秀，铃木智也，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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