具有加热功能的工件传输装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具有加热功能的工件传输装置，涉及半导体加工制造技术领域。该工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置。其中，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行加热处理的加热组件。本发明专利技术的技术方案对工件采用传送的方式，另外在传送过程中还可以对工件进行加热处理，能够减少工件传递和加热处理的时间消耗，提高工件处理效率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种具有加热功能的工件传输装置，涉及半导体加工制造
。该工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置。其中，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行加热处理的加热组件。本专利技术的技术方案对工件采用传送的方式，另外在传送过程中还可以对工件进行加热处理，能够减少工件传递和加热处理的时间消耗，提高工件处理效率。【专利说明】具有加热功能的工件传输装置
本专利技术涉及半导体加工制造
，特别是指一种具有加热功能的工件传输装置。
技术介绍
半导体器件(如集成电路、LED等)处理加工过程中，在一个加工工位对工件完成相应处理后，往往需要从当前加工工位转移到另外一个加工工位进行下一步处理，现有技术中一般是由工件处理装置在加工工位之间搬运工件，由于加工工位之间存在一定距离，而工件处理装置的运动速度有限，因此工件的传输和处理效率比较低，进而导致工件的生产成本比较高。 另外，在工件进入工件处理装置之前，还需要对工件进行各种预处理，进一步增加了时间消耗。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种具有加热功能的工件传输装置，对工件采用传送的方式，并在传送过程中对工件进行加热处理，能够减少工件传递和加热处理的时间消耗，提高工件处理效率。 为解决上述技术问题，本专利技术的实施例提供技术方案如下: 一方面，提供一种工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置，所述工件传输装置包括: 设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件； 设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件； 设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件； 设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行加热处理的加热组件。 具体地,所述传动组件包括: 设置在所述支撑组件上的导轨； 设置在所述导轨上、能够沿所述导轨滑动的滑块； 固定在所述滑块上、用于承载所述工件的工件支具； 设置在所述导轨内侧、用于带动所述工件支具旋转从而带动所述滑块沿所述导轨滑动的同步带。 进一步地，所述导轨为圆形导轨、椭圆形导轨或直曲导轨。 进一步地，所述传动组件由动力组件驱动，实现自动和准确的工件传输。 进一步地,所述动力组件包括: 电机； 与所述电机连接的第一轮轴、以及与所述第一轮轴对应连接的第一带轮； 与所述第一轮轴相对设置的第二轮轴、以及与所述第二轮轴对应连接的第二带轮； 其中，所述第一带轮和第二带轮与所述同步带啮合，所述第一带轮能够在所述电机的作用下旋转，通过与所述同步带的啮合带动所述同步带转动，进而传动所述第二带轮旋转。 进一步地，所述第一轮轴通过联轴器与所述电机连接。 进一步地，所述支撑组件包括: 支撑基板； 设置在所述支撑基板上的上支板立柱； 设置在所述上支板立柱上的上支板； 其中，所述电机固定在所述上支板上，所述第一轮轴和第二轮轴设置在所述上支板和支撑基板之间。 具体地,所述传动组件包括: 设置在所述支撑组件上的导轨，所述导轨为圆形导轨、椭圆形导轨或直曲导轨； 位于所述导轨上、能够沿所述导轨滑动的滑块； 固定在所述滑块上，用于承载所述工件的工件支具； 所述动力组件包括: 设置在所述支撑组件上，以所述导轨为定子，以所述滑块为动子的电机。进一步地，所述滑块作为电机动子能够带动工件支具实现自动和准确的工件传输。 进一步地，所述支撑组件包括: 支撑基板； 其中，所述电机固定在所述支撑基板上。 其中，所述加热组件包括: 设置在所述导轨上方的至少一个加热器。 进一步地，当所述加热组件包括有至少两个加热器时，在所述传动组件的传动方向上，所述至少两个加热器的设定温度逐渐升高。 本专利技术的实施例具有以下有益效果: 上述方案中，对工件采用传送的方式，能够减少工件的传递时间，提高工件处理效率。另外在传送过程中还可以对工件进行加热预处理，进一步节省工件的生产时间，提高工件的生产效率，从而最终能够降低工件的生产成本。 【专利附图】【附图说明】 图1为本专利技术实施例一的工件传输装置的结构示意图； 图2为图1所示工件传输装置的爆炸示意图； 图3为本专利技术实施例一的工件传输装置的另一结构示意图； 图4为本专利技术实施例二的工件传输装置的结构示意图。 【具体实施方式】 为使本专利技术的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。 本专利技术的实施例针对现有技术中工件的传输方式导致工件处理效率比较低的问题，提供一种具有加热功能的工件传输装置，对工件采用传送的方式，并在传送过程中对工件进行加热处理，能够减少工件传递和预处理的时间消耗，提高工件处理效率。 本专利技术实施例的工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置，所述工件传输装置包括: 设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件； 设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件； 设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件； 设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行加热处理的加热组件。 具体地,所述传动组件包括: 设置在所述支撑组件上的导轨； 设置在所述导轨上、能够沿所述导轨滑动的滑块； 固定在所述滑块上、用于承载所述工件的工件支具； 设置在所述导轨内侧、用于带动所述工件支具旋转从而带动所述滑块沿所述导轨滑动的同步带。 进一步地，所述导轨为圆形导轨、椭圆形导轨或直曲导轨。 进一步地,所述动力组件包括: 电机； 与所述电机连接的第一轮轴、以及与所述第一轮轴对应连接的第一带轮； 与所述第一轮轴相对设置的第二轮轴、以及与所述第二轮轴对应连接的第二带轮； 其中，所述第一带轮和第二带轮与所述同步带啮合，所述第一带轮能够在所述电机的作用下旋转，通过与所述同步带的啮合带动所述同步带转动，进而传动所述第二带轮旋转。 进一步地，所述第一轮轴通过联轴器与所述电机连接。 进一步地，所述支撑组件包括: 支撑基板； 设置在所述支撑基板上的上支板立柱； 设置在所述上支板立柱上的上支板； 其中，所述电机固定在所述上支板上，所述第一轮轴和第二轮轴设置在所述上支板和支撑基板之间。 具体地,所述传动组件包括: 设置在所述支撑组件上的导轨，所述导轨为圆形导轨、椭圆形导轨或直曲导轨； 位于所述导轨上、能够沿所述导轨滑动的滑块； 固定在所述滑块上，用于承载所述工件的工件支具； 所述动力组件包括: 设置在所述支撑组件上，以所述导轨为定子，以所述滑块为动子的电机。 进一步地，所述滑块作为电机动子能够带动工件支具实现自动和准确的工件传输。 进一步地，所述支撑组件包括: 支撑基板； 其中，所述电机固定在所述支撑基板上。 具体地，所述加热组件包括: 设置在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有加热功能的工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置，其特征在于，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行加热处理的加热组件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐亮，朱伟，叶乐志，郎平，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11