一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜制造技术

技术编号:10691010 阅读:281 留言:0更新日期:2014-11-26 18:50
本专利公开了一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜,该增透膜镀制在以Ge为基体材料的光学透镜上,光线垂直入射。膜系设计采用前截止滤光片为基本结构,采用非对称等效层获得与基底折射率的匹配。以ZnS和YF3作为主膜系的高低折射率材料,ZnS和Ge作为等效层材料。在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该增透膜能将可见光及近红外波段的太阳辐照尽可能反射掉,而将长波红外辐射尽可能透射。本专利具有太阳光反射功能的长波红外增透膜性能稳定,适合于中高轨道应用的小型长寿命光学敏感器的太阳防护窗使用,也可用作多光谱红外相机的分色片。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利公开了一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜,该增透膜镀制在以Ge为基体材料的光学透镜上,光线垂直入射。膜系设计采用前截止滤光片为基本结构,采用非对称等效层获得与基底折射率的匹配。以ZnS和YF3作为主膜系的高低折射率材料,ZnS和Ge作为等效层材料。在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该增透膜能将可见光及近红外波段的太阳辐照尽可能反射掉,而将长波红外辐射尽可能透射。本专利具有太阳光反射功能的长波红外增透膜性能稳定,适合于中高轨道应用的小型长寿命光学敏感器的太阳防护窗使用,也可用作多光谱红外相机的分色片。【专利说明】 一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜
本专利涉及光学薄膜技术,具体指一种以Ge晶体为基底的对0.4-1.4μ m的太阳辐射进行反射;对14-16 μ m范围内的红外辐射进行透射的长波红外增透膜。
技术介绍
对于工作于中高轨道应用的小型长寿命光学姿态敏感器,由于受太阳直射的时间较长,太阳辐射将导致器件温度升高而严重影响光学敏感器的工作状态,甚至可能因此而致盲。因此该类光学敏感器的光学系本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜,它在Ge基底(2)的一面上制备具有太阳光反射功能的长波红外增透膜层(1),在另一面制备背面长波减反射膜(3),其特征在于:所述的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜层(1)的膜系结构为:ns/3.027N3.122H3.302N(0.65N1.3L0.65N)5(0.55N1.1L0.55N)5(0.45N0.9L0.45N)6(0.35N0.7L0.35N)64.035N3.144L9.275N/n0式中:ns为基底;n0为空气;L表示光学厚度为λ0/4的YF3膜层;H表示光学厚度为λ0/4的Ge膜层;N表示光学厚度为λ0/4的ZnS膜层;λ...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:于天燕刘定权崔维鑫秦杨成效春孙浩韩开亮
申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
类型:新型
国别省市:上海;31

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