【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器，传感器具体包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；本专利技术通过传感器的阵列结构拓宽传感器的测试量程，通过传感器阵列上的敏感单元的阵列结构来提高传感器的可靠性。同时，敏感单元采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的异质结构，使传感器有较好抗腐蚀性、耐高温性和瞬时响应。可见，宽量程石墨烯高温压力传感器实现了压力传感器的耐高温、高可靠性、高精度、瞬时响应、大量程等要求。【专利说明】一种宽量程石墨烯高温压力传感器
本专利技术涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感 器。
技术介绍
压力传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一。随着极端环境应用需 求的扩展，压力传感器广泛应用于航天航空发动机测试、爆炸冲击波威力场测试、空气动力 学实验等领域。这些领域要求压力传感器耐高温，（发动机内压最高达l〇〇〇°C以上）、瞬时 响应（冲击波响应时间在ns级）、宽量程（低至...
【技术保护点】
一种宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；所述传感器阵列由M个单元传感器组成，所述M个单元传感器采用1×M的排列方式固定在键合基板上，每个单元传感器的结构相同，厚度不相同，所述传感器单元包括N个敏感单元；复合金属电极包括主电极及接触点，所述接触点溅射于主电极一侧的中心区域；键合基板刻蚀有接触孔，接触孔的位置和接触点的位置对应。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李孟委，郑伦贵，靳书云，刘双红，王莉，李新娥，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：山西;14
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