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一种宽量程石墨烯高温压力传感器制造技术
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文档序号:10666502
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本发明涉及高温压力测试领域,具体而言,涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器,传感器具体包括:键合基板、复合金属电极及传感器阵列,所述传感器阵列固定在键合基板上,所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间;本发明通过传感器的阵列结构拓宽传感...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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