【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种声学设备，所述设备包括：基板，所述基板包括贯穿的永久开口；微机电系统MEMS管芯，所述MEMS管芯布置在所述永久开口上方，所述MEMS管芯包括由声音能量移动的无穿孔隔膜；集成电路，所述集成电路布置在所述基板上，并与所述MEMS管芯电耦接；第一临时开口以及第二开口，所述第一临时开口贯穿所述基板，所述第二开口贯穿所述集成电路；所述第一临时开口与所述第二开口大致对齐；盖体，所述盖体与所述基板耦接，并封闭所述MEMS管芯和所述集成电路，从而所述盖体和所述基板构成后腔，所述隔膜将所述后腔与前腔分离；从而，在第一时间点不限制所述第一临时开口和所述第二开口以允许所述后腔中存在的气体通过所述第一临时开口和所述第二开口排出至外部，所述无穿孔隔膜阻止所述气体从其通过；以及随后在第二时间点，所述第一临时开口被基本上填充并封闭，在所述第二时间点之后，所述声学装置变为可操作。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：K·B·弗里尔，J·B·斯切赫，
申请(专利权)人：美商楼氏电子有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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