麦克风防水薄片的制造方法技术

技术编号:9337668 阅读:104 留言:0更新日期:2013-11-13 18:13
本发明专利技术提供一种麦克风防水薄片的制造方法,该方法包括:a)使薄型硅片固定在蚀刻载具上;b)在所述薄型硅片上通过蚀刻形成多个水不浸通孔。由该方法制造的麦克风防水薄片结构完整性好、防水性能好、声效好、厚度薄而精确、耐高温回流且批量生产性好。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种麦克风防水薄片的制造方法,包括:a)使薄型硅片固定在蚀刻载具上;b)在所述薄型硅片上通过蚀刻形成多个水不浸通孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡孟锦
申请(专利权)人:歌尔声学股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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