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本发明提供了一种具有出气口的MEMS麦克风及其制造方法。声学设备包括：基板、微机电系统MEMS管芯和集成电路。基板包括贯穿的永久开口。微机电系统MEMS管芯布置在永久开口上方并且MEMS管芯包括由声音能量移动的无穿孔隔膜。第一临时开口贯穿基...
该专利属于美商楼氏电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美商楼氏电子有限公司授权不得商用。

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