【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术属于清洗设备
,涉及一种清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置。它包括电机驱动机构,所述的电机驱动机构的输出端连接涡轮组件,所述的涡轮组件啮合蜗杆组件,所述的蜗杆组件包括中空的蜗杆,蜗杆的一端密封连接具有进水口的旋转轴组件,另一端可拆卸的连接喷杆,所述的喷杆的端部密封且喷杆的侧壁设有若干喷嘴。本技术结构简单,能进行360°旋转清洗,清洗效率高、速度快。【专利说明】
本技术属于清洗设备
,涉及一种清洗用的高压水喷杆装置,尤其涉 及一种清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置。 清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置
技术介绍
多晶娃(polycrystalline silicon)有灰色金属光泽,密度 2. 32-2. 34g/cm3。烙 点14KTC。沸点2355°C。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于 锗和石英之间,室温下质脆,切割时易碎裂。加热至800°C以上即有延性,1300°C时显出明 显变形。常温下不活泼,高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下,具有较大的化学活泼 性,能与几乎任 ...
【技术保护点】
一种清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置,包括电机驱动机构(1),所述的电机驱动机构(1)的输出端连接涡轮组件(2),所述的涡轮组件(2)啮合蜗杆组件(3),其特征在于,所述的蜗杆组件(3)包括中空的蜗杆(31),蜗杆(31)的一端密封连接具有进水口(41)的旋转轴组件(4),另一端可拆卸的连接喷杆(5),所述的喷杆(5)的端部密封且喷杆(5)的侧壁设有若干喷嘴(51)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:绳钦国,
申请(专利权)人:浙江德清宝丰射流系统工程有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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