转塔式检测机台及其使用方法技术

一种转塔式检测机台及其使用方法，转塔式检测机台包括：转塔模块、进料模块、第一外观检测模块、180度转向模块、电性测试模块、第二外观检测模块及出料模块。转塔模块包括一可旋转式机构及多个可升降式吸嘴机构。进料模块上具有多个电子元件，且电子元件通过进料模块以传送至可升降式吸嘴机构的下方，以供可升降式吸嘴机构来进行吸取。第一外观检测模块用于检查每一个电子元件的第一预定外观。180度转向模块用于将电子元件水平地旋转180度。电性测试模块用于检测每一个电子元件的电气性能。第二外观检测模块用于检查每一个电子元件的第二预定外观。出料模块用于将每一个电子元件传送至一收纳料带内。

【技术实现步骤摘要】
转塔式检测机台及其使用方法
本专利技术有关于一种转塔式检测机台及其使用方法，尤指一种以全自动化的方式来检测多个电子元件的转塔式检测机台及其使用方法。
技术介绍
在半导体工艺中，往往会因为一些无法避免的原因而生成细小的微粒或缺陷，而随着半导体工艺中元件尺寸的不断缩小与电路密极度的不断提高，这些极微小的缺陷或微粒对积体电路品质的影响也日趋严重，因此为维持产品品质的稳定，通常在进行各项半导体工艺的同时，亦须针对所生产的半导体元件进行缺陷检测，以根据检测的结果来分析造成这些缺陷的根本原因，的后才能进一步借由工艺参数的调整来避免或减少缺陷的产生，以达到提升半导体工艺良率以及可靠度的目的。现有技术中已揭露一种缺陷检测方法，其包括下列步骤：首先，进行取样，选定一半导体晶粒为样本来进行后续缺陷检测与分析工作，接着进行一缺陷检测，一般而言，大多是利用适当的缺陷检测机台以大范围扫描的方式，来检测该半导体晶粒上的所有缺陷，由于一半导体晶粒上的缺陷个数多半相当大，因此在实务上不可能一一以人工的方式进行扫描式电子显微镜再检测，因此为了方便起见，多半会先进行一人工缺陷分类，由所检测到的所有缺陷中，抽样取出一些较具有代表性的缺陷类型，再让工程师以人工的方式对所选出的样本来进行缺陷再检测，以一步对该等缺陷进行缺陷原因分析，以找出抑制或减少这些缺陷的方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种转塔式检测机台及其使用方法，其可以全自动化的方式来检测多个电子元件，以有效解决现有“采用人工方式来进行检测”的缺失。本专利技术其中一实施例所提供的一种转塔式检测机台，其包括：一转塔模块、一进料模块、一第一外观检测模块、一180度转向模块、一电性测试模块、一第二外观检测模块及一出料模块。所述转塔模块包括一可旋转式机构及多个沿着所述可旋转式机构的周围依序排列的可升降式吸嘴机构。所述进料模块邻近所述转塔模块，且所述进料模块上具有多个电子元件，其中每一个所述电子元件具有一封装壳体及多个外露于所述封装壳体的导电引脚，且每一个所述电子元件通过所述进料模块以传送至相对应的所述可升降式吸嘴机构的下方，以供相对应的所述可升降式吸嘴机构来进行吸取。所述第一外观检测模块邻近所述转塔模块及所述进料模块，以用于检查每一个所述电子元件的第一预定外观。所述180度转向模块邻近所述转塔模块与所述第一外观检测模块，以用于将所述电子元件水平地旋转180度。所述电性测试模块邻近所述转塔模块与所述180度转向模块，以用于检测每一个所述电子元件的电气性能。所述第二外观检测模块邻近所述转塔模块与所述电性测试模块，以用于检查每一个所述电子元件的第二预定外观。所述出料模块邻近所述转塔模块与所述第二外观检测模块，以用于将每一个所述电子元件传送至一收纳料带内。本专利技术另提供一种上述的转塔式检测机台的使用方法，包括下列步骤：通过所述转塔模块，以依序将多个所述电子元件传送至所述第一外观检测模块，以检查每一个所述电子元件的所述第一预定外观；通过所述转塔模块，以将经过所述第一外观检测模块的检查后的多个所述电子元件依序传送至所述出料模块；以及通过所述出料模块，以将每一个所述电子元件传送至所述收纳料带内。本专利技术另提供一种上述的转塔式检测机台的使用方法，包括下列步骤：通过所述转塔模块，以依序将多个所述电子元件传送至所述电性测试模块，以检测每一个所述电子元件的所述电气性能；通过所述转塔模块，以将经过所述电性测试模块的检测后的多个所述电子元件依序传送至所述出料模块；以及通过所述出料模块，以将每一个所述电子元件传送至所述收纳料带内。本专利技术另提供一种上述的转塔式检测机台的使用方法，包括下列步骤：通过所述转塔模块，以依序将多个所述电子元件传送至所述第二外观检测模块，以检查每一个所述电子元件的所述第二预定外观；通过所述转塔模块，以将经过所述第二外观检测模块的检查后的多个所述电子元件依序传送至所述出料模块；以及通过所述出料模块，以将每一个所述电子元件传送至所述收纳料带内。本专利技术的有益效果可以在于，本专利技术实施例所提供的转塔式检测机台，其可通过“所述转塔模块、所述进料模块、所述第一外观检测模块、所述180度转向模块、所述电性测试模块、所述第二外观检测模块及所述出料模块”的设计，以使得本专利技术可通过全自动化的方式来检测多个电子元件。为使能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。附图说明图1为本专利技术转塔式检测机台的俯视示意图。图2为本专利技术转塔式检测机台的转塔模块的主视示意图。图3为图2中A部分的放大示意图。图4为本专利技术转塔式检测机台的第一、二、三位置校正模块将电子元件进行定位前和定位后的俯视示意图。图5为本专利技术转塔式检测机台的第一外观检测模块的俯视示意图。图6为本专利技术转塔式检测机台的第一外观检测模块的侧视示意图。图7为本专利技术转塔式检测机台的180度转向模块将电子元件水平地旋转180前和旋转180后的俯视示意图。图8为本专利技术转塔式检测机台的第二外观检测模块的侧视示意图。图9为本专利技术转塔式检测机台的90度转向模块将电子元件水平地旋转90前和旋转90后的俯视示意图。其中，附图标记说明如下：转塔模块1可旋转式机构10弹性元件100下压件101可升降式吸嘴机构11吸嘴110进料模块2进料输送机构20第一位置校正模块3A第一承载座30A第一缓冲垫300A第一顶抵块31A第一外观检测模块4旋转式转盘40容置槽400第一影像提取装置41180度转向模块5180度旋转台50第一容纳槽51第二位置校正模块3B第二承载座30B第二缓冲垫300B第二顶抵块31B电性测试模块6电性测试单元60第二外观检测模块7反射镜70第二影像提取装置7190度转向模块890度旋转台80第二容纳槽81第三位置校正模块3C第三承载座30C第三缓冲垫300C第三顶抵块31C出料模块9管状式收纳料带90A第二出料输送机构91A卷盘式收纳料带90B第一出料输送机构91BNG收纳料带90C第三出料输送机构91C电子元件E侧边E10产品标记E11封装壳体C导电引脚P正常的电子元件E’不正常的电子元件E’’具体实施方式请参阅图1至图9所示，图1为本专利技术的俯视示意图，图2为转塔模块的主视示意图，图3为图2中A部分的放大示意图，图4为第一、二、三位置校正模块将电子元件进行定位前和定位后的俯视示意图，图5为第一外观检测模块的俯视示意图，图6为第一外观检测模块的侧视示意图，图7为180度转向模块将电子元件水平地旋转180前和旋转180后的俯视示意图，图8为第二外观检测模块的侧视示意图，并且图9为90度转向模块将电子元件水平地旋转90前和旋转90后的俯视示意图。由上述图中可知，本专利技术提供一种转塔式检测机台，其包括：一转塔模块1、一进料模块2、一第一位置校正模块3A、一第一外观检测模块4、一180度转向模块5、一第二位置校正模块3B、一电性测试模块6、一第二外观检测模块7、一90度转向模块8、一第三位置校正模块3C、及一出料模块9。首先，配合图1至图3所示，转塔模块1包括一可旋转式机构10及多个沿着可旋转式机构10的周围依序排列成环状的可升降式吸嘴机构11。更进一步来说，可升降式吸嘴机构11包括一通过一下压件10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种转塔式检测机台，其特征在于，包括：一转塔模块，所述转塔模块包括一可旋转式机构及多个沿着所述可旋转式机构的周围依序排列的可升降式吸嘴机构；一进料模块，所述进料模块邻近所述转塔模块，且所述进料模块上具有多个电子元件，其中每一个所述电子元件具有一封装壳体及多个外露于所述封装壳体的导电引脚，且每一个所述电子元件通过所述进料模块以传送至相对应的所述可升降式吸嘴机构的下方，以供相对应的所述可升降式吸嘴机构来进行吸取；一第一外观检测模块，所述第一外观检测模块邻近所述转塔模块及所述进料模块，以用于检查每一个所述电子元件的第一预定外观；一180度转向模块，所述180度转向模块邻近所述转塔模块与所述第一外观检测模块，以用于将所述电子元件水平地旋转180度；一电性测试模块，所述电性测试模块邻近所述转塔模块与所述180度转向模块，以用于检测每一个所述电子元件的电气性能；一第二外观检测模块，所述第二外观检测模块邻近所述转塔模块与所述电性测试模块，以用于检查每一个所述电子元件的第二预定外观；以及一出料模块，所述出料模块邻近所述转塔模块与所述第二外观检测模块，以用于将每一个所述电子元件传送至一收纳料带内。

【技术特征摘要】
1.一种转塔式检测机台，其特征在于，包括：一转塔模块，所述转塔模块包括一可旋转式机构及多个沿着所述可旋转式机构的周围依序排列的可升降式吸嘴机构；一进料模块，所述进料模块邻近所述转塔模块，且所述进料模块上具有多个电子元件，其中每一个所述电子元件具有一封装壳体及多个外露于所述封装壳体的导电引脚，且每一个所述电子元件通过所述进料模块以传送至相对应的所述可升降式吸嘴机构的下方，以供相对应的所述可升降式吸嘴机构来进行吸取；一第一外观检测模块，所述第一外观检测模块邻近所述转塔模块及所述进料模块，以用于检查每一个所述电子元件的第一预定外观；一180度转向模块，所述180度转向模块邻近所述转塔模块与所述第一外观检测模块，以用于将所述电子元件水平地旋转180度；一电性测试模块，所述电性测试模块邻近所述转塔模块与所述180度转向模块，以用于检测每一个所述电子元件的电气性能；一第二外观检测模块，所述第二外观检测模块邻近所述转塔模块与所述电性测试模块，以用于检查每一个所述电子元件的第二预定外观，所述第二外观检测模块包括一位于相对应的所述可升降式吸嘴机构下方的反射镜及一邻近所述反射镜以用于提取所述第二预定外观的第二影像提取装置，且所述电子元件的所述第二预定外观为所述第二影像提取装置通过所述反射镜以从所述电子元件上所提取到的多个所述导电引脚；以及一出料模块，所述出料模块邻近所述转塔模块与所述第二外观检测模块，以用于将每一个所述电子元件传送至一收纳料带内。2.如权利要求1所述的转塔式检测机台，其特征在于，所述可升降式吸嘴机构包括一通过一下压件的推动以向下移动来接触所述电子元件的吸嘴，且所述可旋转式机构包括一套设在所述吸嘴上以用于推动所述吸嘴进行复位的弹性元件。3.如权利要求1所述的转塔式检测机台，其特征在于，还包括：一第一位置校正模块，所述第一位置校正模块邻近所述转塔模块且设置于所述进料模块与所述第一外观检测模块之间，其中所述第一位置校正模块包括一用于承载所述电子元件的第一承载座及至少两个可活动地设置在所述第一承载座上以分别顶抵所述电子元件的两个相反侧边的第一顶抵块，且所述第一承载座上具有一接触所述电子元件以提供所述电子元件缓冲作用的第一缓冲垫。4.如权利要求1所述的转塔式检测机台，其特征在于，所述第一外观检测模块包括一旋转式转盘及一位于所述旋转式转盘上方以用于提取所述第一预定外观的第一影像提取装置，所述旋转式转盘的顶端具有多个呈现放射状排列且用于收容所述电子元件的容置槽，且所述电子元件的所述第一预定外观为所述第一影像提取装置从所述电子元件的所述封装壳体的顶端上所提取到的产品标记。5.如权利要求1所述的转塔式检测机台，其特征在于，所述180度转向模块设置于相对应的所述可升降式吸嘴机构的下方，且所述180度转向模块包括一用于将所述电子元件水平地旋转180度的180度旋转台及一形成于所述180度旋转台上以用于容纳所述电子元件的第一容纳槽。6.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪秉龙，陈桂标，陈信呈，杨政伟，黄劔麒，
申请(专利权)人：久元电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71