【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术属于化工
，涉及。该方法的步骤为：以35℃的加热带对三氯化硼原料钢瓶进行加热，温度控制在25℃~35℃之间，将氯气含量大于1ppm的三氯化硼原料加热充分汽化，控制三氯化硼气体流速10L/min，通过直径为5cm，高度50cm，温度为850℃的碳化硼反应层，使三氯化硼气体中含有的微量氯气与碳化硼氯气在高温下和碳化硼发生反应，反应后的气体经由-20℃低温箱冷却，收集到产品瓶中。专利技术的有益效果在于：该工艺采用高温碳化硼反应层，原料经过与碳化硼的深度接触反应，使三氯化硼中氯气杂质含量降低到1ppm以下。【专利说明】
本专利技术属于化工
，具体地说是。
技术介绍
由于三氯化硼生产工艺中使用氯气进行反应，所以三氯化硼产品中常含有微量氯气。 而在电子级高纯三氯化硼的实际应用中，氯气是一种有害杂质，对氯气含量的要求一般要 小于lppm。为了达到指标要求，也有选择使用精馏塔进行精馏提纯的，但由于氯气在三氯化 硼中有一定溶解度，简单使用精馏提纯很难达到提纯要求。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的缺陷，本专利技术的目的是提供一种去除三氯化硼中微量氯气的 工艺，能使三氯化硼中含有的过量氯气降低至lppm -下，使其指标达到电子及高纯三氯化 硼的要求。 本专利技术的技术方案为：，该方法的步骤为：以35°C的加 热带对三氯化硼原料钢瓶进行加热，温度控制在25°C ~35°C之间，将氯气含量大于lppm的 三氯化硼原料加热充分汽化，控制三氯化硼气体流速l〇L/min，通过直径为5cm，高度50cm， 温...
【技术保护点】
一种三氯化硼的纯化方法，其特征在于，该纯化方法的步骤为：以35℃的加热带（1）对三氯化硼原料钢瓶（2）进行加热，温度控制在25℃~35℃之间，将氯气含量大于1ppm的三氯化硼原料加热充分汽化，控制三氯化硼气体流速10L/min，通过直径为5cm，高度50cm，温度为850℃的碳化硼反应层（3），使三氯化硼气体中含有的微量氯气与碳化硼氯气在高温下和碳化硼发生反应，反应后的气体经由温度为‑20℃的低温箱（5）冷却，收集到产品瓶（4）中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵毅，计燕秋，裴凯，刘颖，毕聪智，
申请(专利权)人：大连保税区科利德化工科技开发有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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