一种基片传输方法和系统技术方案

本发明专利技术实施例提供了一种基片传输方法和系统，以解决目前的技术在载板上未摆满电池片时工作效率低下的问题。方法包括：当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，载板为M行×N列的载板；根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为M行×1列的龙门架；从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置；判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤。本发明专利技术实施例提高了基片从上料台传输到载板以及从载板传输到下料台时的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种基片传输方法和系统
本专利技术实施例涉及设备工艺控制
，特别是涉及一种基片传输方法和系统。
技术介绍
在设备工艺控制过程中，涉及到基片的传输。例如，在太阳能电池片的制作过程中，上料时需要将电池片(即基片)从上料台向载板传输，下料时需要将电池片从载板向下料台传输，等等。以等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)为例，PECVD是指借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。在太阳能电池片的制作过程中，多采用PECVD工艺。参照图1，为PECVD系统的基本架构图，该系统可以包括：1、装载台；2、装载腔；3、工艺腔；4、卸载腔；5、卸载台；6、回收系统。在PECVD系统中，电池片(基片)在装载台区域被装载到载板上，进入装载腔室进行预热处理，当基片达到工艺温度要求后被传送至工艺腔进行PECVD工艺，然后由卸载腔传出到达卸载台(卸载台和装载台都是可以升降的)，在卸载台将载板降到下层后传到回收系统，然后传输到装载台下方，升到装载台上层。其中，装载台可以包括上料台和下料台，装载台的主要结构为龙门架，电池片从上料台向载板传输和从载板向下料台传输时均使用龙门架完成。目前，电池片从上料台向载板传输时，通过机械手从上料台取电池片，放置到传输皮带上，从载板的第一列开始，龙门架首先判断载板上第n列需要放置电池片的位置，然后按照该位置从传输皮带上取电池片，再将电池片放置到载板的第n列上；然后按照上述方法返回传输皮带取第n+1列的电池片，将第n+1列电池片放置到载板上。电池片从载板向下料台传输时，从载板的最后一列开始，龙门架取下第n列的电池片，将第n列的电池片放置到下料台；然后返回载板取第n-1列的电池片，将第n-1列的电池片放置到下料台。上述方法适用于载板上摆满基片的情况。但是，当进行系统实验或者判断基片工艺不均性等需求时，载板上是不需要摆满基片的。在这种情况下，采用上述方法载板上的每一列都需要龙门架往返运行一次，因此将会极大地降低工作效率。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种基片传输方法和系统，以解决目前的技术在载板上未摆满电池片时工作效率低下的问题。为了解决上述问题，本专利技术公开了一种基片传输方法，其特征在于，包括：当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，所述载板为M行×N列的载板，M、N为正整数；根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为M行×1列的龙门架；从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置；判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤。可选地，所述根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，包括：从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否存在需要放置基片的位置；若存在，则控制龙门架从上料台获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架上与所述载板的当前行相对应的行中。可选地，所述从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置，包括：当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第n列第m行是否为需要放置基片的位置；当载板上第n列第m行为需要放置基片的位置时，判断载板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要放置基片的位置；当载板上第m行第n+1列到第m行第N列中不存在需要放置基片的位置时，控制龙门架将龙门架第m行的基片放置在载板上的第n列第m行；当载板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的位置时，控制龙门架不将龙门架第m行的基片放置在载板上的第n列第m行；其中，m＝1，2，3，...，M；n＝1，2，3，...，N。另一方面，本专利技术还公开了一种基片传输方法，其特征在于，包括：当基片从载板传输到下料台时，获取载板上已放置基片的位置，所述载板为M行×N列的载板，M、N为正整数；根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置到下料台；所述龙门架为M行×1列的龙门架；判断载板上是否还存在未取下的基片，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片的步骤。可选地，所述根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，包括：当载板上第m行存在已放置基片的位置时，判断载板上第n列第m行是否为已放置基片的位置；当载板上第n列第m行为已放置基片的位置时，判断龙门架的第m行是否存在基片；当龙门架的第m行不存在基片时，控制龙门架取下载板上第n列第m行的基片，并将所述载板上第n列第m行的基片放置到龙门架的第m行；当龙门架的第m行存在基片时，控制龙门架不取下载板上第n列第m行的基片；其中，m＝1，2，3，...，M；n＝N，N-1，N-2，...，1。另一方面，本专利技术还公开了一种基片传输系统，其特征在于，包括：上料位置获取模块，用于当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，所述载板为M行×N列的载板，M、N为正整数；基片获取模块，用于根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为M行×1列的龙门架；基片放置模块，用于从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置；位置判断模块，用于判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置；当所述位置判断模块的判断结果为存在时，所述基片获取模块再次根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片。可选地，所述基片获取模块包括：逐行判断子模块，用于从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否存在需要放置基片的位置；获取子模块，用于当所述逐行判断子模块的判断结果为存在时，控制龙门架从上料台获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架上与所述载板的当前行相对应的行中。可选地，所述基片放置模块包括：第一上料判断子模块，用于当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第n列第m行是否为需要放置基片的位置；第二上料判断子模块，用于当所述第一上料判断子模块判断出载板上第n列第m行为需要放置基片的位置时，判断载板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要放置基片的位置；放置子模块，用于当所述第二上料判断子模块判断出载板上第m行第n+1列到第m行第N列中不存在需要放置基片的位置时，控制龙门架将龙门架第m行的基片放置在载板上的第n列第m行；当所述第二上料判断子模块判断出载板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的位置时，控制龙门架不将龙门架第m行的基片放置在载板上的第n列第m行；其中，m＝1，2，3，...，M；n＝1，2，3，...，N。另一方面，本专利技术还公开了一种基片传输系统，其特征在于，包括：下料位置获取模块，用于当基片从载板传输到下料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基片传输方法，其特征在于，包括：当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，所述载板为M行×N列的载板，M、N为正整数；根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为M行×1列的龙门架；从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置；判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤。

【技术特征摘要】
1.一种基片传输方法，其特征在于，包括：当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，所述载板为M行×N列的载板，M、N为正整数；根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为M行×1列的龙门架；从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置；判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤；其中，所述根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤包括：从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否存在需要放置基片的位置；若存在，则控制龙门架从上料台获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架上与所述载板的当前行相对应的行中。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置，包括：当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第n列第m行是否为需要放置基片的位置；当载板上第n列第m行为需要放置基片的位置时，判断载板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要放置基片的位置；当载板上第m行第n+1列到第m行第N列中不存在需要放置基片的位置时，控制龙门架将龙门架第m行的基片放置在载板上的第n列第m行；当载板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的位置时，控制龙门架不将龙门架第m行的基片放置在载板上的第n列第m行；其中，m＝1，2，3，...，M；n＝1，2，3，...，N。3.一种基片传输方法，其特征在于，包括：当基片从载板传输到下料台时，获取载板上已放置基片的位置，所述载板为M行×N列的载板，M、N为正整数；根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置到下料台；所述龙门架为M行×1列的龙门架；判断载板上是否还存在未取下的基片，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片的步骤。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，包括：当载板上第m行存在已放置基片的位置时，判断载板上第n列第m行是否为已放置基片的位置；当载板上第n列第m行为已放置基片的位置时，判断龙门架的第m行是否存在基片；当龙门架的第m行不存在基片时，控制龙门架取下载板上第n列第m行的基片，并将所述载板上第n列第m行的基片放置到龙门架的第m行；当龙门架的第m行存在基片时，控制龙门架不取下载板上第n列第m行的基片；其中，m＝1，2，3，...，M；n＝N，N-1，N-2，...，1。5.一种基片传输系统，其特征在于，包括：上料位置获取模块，用于当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，所述载板为M行×N列的载板，M、N为正整数；基片获...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵海洋，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11