【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种可控大长径比纳米探针的制备装置，通过设置腐蚀稳压电路、腐蚀电压切断电路、探针浸没判断电路，与单片机配合实现对腐蚀过程中的腐蚀电压、探针浸没深度、探针提升速度等重要参数的精确控制，能够制备大长径比、可控长径比、耐磨损、可回收、成本低的纳米探针。本专利技术还提供一种可控大长径比纳米探针的制备方法，采用探针浸入指定深度后不再停留腐蚀，而是一直不断提起探针，从而形成针尖长、针尖曲率半径平滑变化、长径比大的新型纳米探针，具有不易磨损、可回收再利用、使用成本低等显著优点，并通过对腐蚀电压、探针浸没深度、提起速度等参数的自动控制，提高纳米探针的精度和质量，并且制备方法操作简单可靠。【专利说明】
本专利技术涉及一种纳米探针的制备装置与制备方法，特别涉及一种可控大长径比纳 米探针的制备装置与制备方法，属于纳米
。
技术介绍
目前，纳米科技发展迅速，并对当前科技研究、社会生产、日常生活产生巨大影响。 纳米探针被广泛应用于纳米科技领域，例如扫描隧道显微镜、半导体测量仪、纳米操作臂 等。现有技术常用的纳米探针制备方法包...
【技术保护点】
一种可控大长径比纳米探针的制备装置，其特征在于：所述装置包括机械位移装置(1)、控制机(2)和控制电路，所述机械位移装置(1)固定纳米探针并带动纳米探针上下移动，所述控制机包括上位机(21)和单片机(22)，所述单片机(22)与机械位移装置(1)相连并控制机械位移装置(1)移动，所述控制电路包括与单片机(22)相连接的腐蚀电压稳压电路(3)、腐蚀电压切断电路(4)和探针浸没判断电路(5)；所述腐蚀电压切断电路(4)包括依次串联的采样电阻(41)、电压跟随器(42)、比例运算电路(43)和电压比较器(44)，所述采样电阻(41)与腐蚀电路相连，用于采集腐蚀电路电流值并将其转换...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵昊，刘晓军，王香凝，章明，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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