本实用新型专利技术公开了一种高效OLED玻璃基板烘烤冷却装置，包括烘烤炉、冷却炉、机械手、程序控制器、电机一、电机二和控制电脑，控制电脑与程序控制器相连，程序控制器分别与电机一、电机二、烘烤炉、冷却炉和机械臂相连，电机一还与烘烤炉相连，电机二还与冷却炉相连；烘烤炉和冷却炉相邻，并且冷却炉安置在烘烤炉的出口处。本实用新型专利技术的有益效果：能及时冷却玻璃基板；烘烤炉与冷却炉一体，加快生产节拍，生产效率更高；降低设备占用空间。
【技术实现步骤摘要】
一种高效OLED玻璃基板烘烤冷却装置
本技术涉及有机发光二极管(OLED)显示
，具体而言涉及一种OLED生产中玻璃基板烘烤冷却的装置。
技术介绍
OLED器件对水汽很敏感，且在某些制程中会将光刻胶作为器件的一部分，故需对玻璃基板进行烘烤，以便起到除去水分及坚膜的作用。为了满足工艺要求及生产节拍，一般烘烤工艺条件为:温度，200-250°C，时间，30-40min，这样经过烘烤的玻璃基板温度会很高，需要对玻璃基板进行冷却。目前常见的烘烤设备有以下几个缺点:烘烤装置与冷却装置分离，设备占用空间大；分离导致玻璃基板在经过高温烘烤后，不及时冷却，会造成一定变形，有时会出现真空吸不住玻璃基板的情况，严重时会导致玻璃基板在机械手上偏位而碎片；由于烘烤装置与冷却装置分离，烘烤工艺完成后，需将玻璃基板取出烘烤炉后再搬运至冷却炉中冷却，极大地延长了生产节拍。
技术实现思路
本技术是解决上述问题，提供一种在烘烤炉的出口处集成冷却炉的高效OLED玻璃基板烘烤冷却装置。 本技术的高效OLED玻璃基板烘烤冷却装置，包括烘烤炉、冷却炉、机械手、程序控制器、电机一、电机二和控制电脑，控制电脑与程序控制器相连，程序控制器分别与电机一、电机二、烘烤炉、冷却炉和机械臂相连，电机一还与烘烤炉相连，电机二还与冷却炉相连；烘烤炉和冷却炉相邻，并且冷却炉安置在烘烤炉的出口处。 所述烘烤炉每个烘烤单元包括烘烤基板装载台、烘烤升降针、烘烤滚轮和烘烤传感器；烘烤升降针设置在烘烤基板装载台顶面上，烘烤滚轮设置在烘烤升降针外的烘烤基板装载台顶面上，烘烤传感器设置在烘烤基板装载台的顶面的中心处。 所述烘烤炉还包括烘烤炉门、烘烤架、烘烤升降机和烘烤炉电机；所有烘烤单元均在烘烤架中，烘烤炉电机与烘烤升降机相连，烘烤架设置在烘烤升降机上，烤炉门设置在烘烤架上。 所述烘烤架设置有三十个烘烤单元。 所述冷却炉每个冷却单元包括冷却基板装载台、冷却升降针、冷却滚轮和冷却传感器；冷却升降针设置在冷却基板装载台顶面上，冷却滚轮设置在冷却升降针外的冷却基板装载台顶面上，冷却传感器设置在冷却基板装载台的顶面的中心处。 所述冷却炉还包括冷却架、冷却升降机和冷却炉电机；所有冷却单元均在冷却架中，冷却炉电机与冷却升降机相连，冷却架设置在冷却升降机上。 所述的冷却架设置有十个冷却单元。 本技术的有益效果:能及时冷却玻璃基板；烘烤炉与冷却炉一体，加快生产节拍，生产效率更高；降低设备占用空间。 【附图说明】 图1为高效OLED玻璃基板烘烤冷却装置的原理图； 图2为烘烤单元的剖面图； 图3为冷却单元的剖面图； 图4为烘烤炉的立面图； 图5为冷却炉的立面图。 【具体实施方式】 下面结合附图和具体的实施例对本技术作进一步的阐述。 如图1、图2、图3、图4和图5所示，本技术的高效OLED玻璃基板烘烤冷却装置，包括烘烤炉、冷却炉、机械手、程序控制器、电机一、电机二和控制电脑，控制电脑与程序控制器相连，程序控制器分别与电机一、电机二、烘烤炉、冷却炉和机械臂相连，电机一还与烘烤炉相连，电机二还与冷却炉相连；烘烤炉和冷却炉相邻，并且冷却炉安置在烘烤炉的出口处。所述烘烤炉每个烘烤单元包括烘烤基板装载台1、烘烤升降针2、烘烤滚轮3和烘烤传感器4 ;烘烤升降针2设置在烘烤基板装载台I顶面上，烘烤滚轮3设置在烘烤升降针2外的烘烤基板装载台I顶面上，烘烤传感器4设置在烘烤基板装载台I的顶面的中心处。所述烘烤炉还包括烘烤炉门9、烘烤架10、烘烤升降机11和烘烤炉电机12 ;所有烘烤单元均在烘烤架10中，烘烤炉电机12与烘烤升降机11相连，烘烤架10设置在烘烤升降机11上，烤炉门9设置在烘烤架10上。所述烘烤架10设置有三十个烘烤单元。所述冷却炉每个冷却单元包括冷却基板装载台5、冷却升降针6、冷却滚轮7和冷却传感器8 ;冷却升降针6设置在冷却基板装载台5顶面上，冷却滚轮7设置在冷却升降针6外的冷却基板装载台5顶面上，冷却传感器8设置在冷却基板装载台5的顶面的中心处。所述冷却炉还包括冷却架13、冷却升降机14和冷却炉电机15 ;所有冷却单元均在冷却架13中，冷却炉电机15与冷却升降机14相连，冷却架13设置在冷却升降机14上。所述的冷却架13设置有十个冷却单元。 工作时，烘烤炉升温加热，当热电偶检测到炉内温度达到设定温度后，系统给机械臂指令，上支臂从卡匣中取玻璃基板，烘烤炉门打开，没有玻璃基板的冷却单元底部与烘烤单元底部通过升降机保持在与炉门底部平行位置(从上到下原则，优先升降位置靠上单元)，此烘烤滚轮3与冷却滚轮7开始朝烘烤炉方向转动。机械臂上支臂带玻璃基板进入没有玻璃基板冷却单元中，通过时间控制(机械臂取玻璃基板5秒后)升降针升起，将玻璃基板顶离机械臂，通过时间控制(升降针升起2秒后)机械臂上支臂回原位，通过时间控制(升降针升起5秒后)升降针回原位，此时玻璃基板已在烘烤滚轮3上，将玻璃基板带入烘烤单元，玻璃基板到达距离烘烤传感器4 二毫米处，烘烤滚轮3停止转动，炉门关闭，开始烘烤。某烘烤单元玻璃基板到达烘烤工艺时间时，此烘烤单元升降至炉门平行位置处，没有玻璃基板的冷却单元亦升降至炉门平行位置处(从上到下顺序)。烘烤炉门打开，烘烤滚轮3与冷却滚轮7朝冷却炉方向转动，玻璃基板进入冷却单元，玻璃基板到达距离冷却传感器8 二毫米处，滚轮停止转动，炉门关闭，气体扩散器喷淋压缩空气，开始冷却工艺。冷却工艺时间完成后，气体扩散器停止喷淋压缩空气，冷却升降针6升起，将玻璃基板顶起，通过时间控制(升降针顶起2秒后)机械臂下支臂进入冷却单元，通过时间控制(升降针顶起5秒后)，冷却升降针6回原位，此时玻璃基板在下支臂上，通过时间控制(升降针顶起10秒后)，下支臂回原位，将玻璃基板放入接收卡匣。通过控制电脑对每片玻璃基板进行管理，包括玻璃在哪个冷却单元及烘烤单元，玻璃基板的烘烤时间及冷却时间，烘烤时间从烘烤单元感应式传感器检测到玻璃基板算起，冷却时间从气体扩散器喷淋压缩空气算起。通过程序控制器及控制电脑发出及接收信号。重复上述动作可连续不断烘烤玻璃基板。 本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本技术的原理，应被理解为本技术的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本技术公开的这些技术启示做出各种不脱离本技术实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高效OLED玻璃基板烘烤冷却装置，包括烘烤炉、冷却炉、机械手、程序控制器、电机一、电机二和控制电脑，控制电脑与程序控制器相连，程序控制器分别与电机一、电机二、烘烤炉、冷却炉和机械臂相连，电机一还与烘烤炉相连，电机二还与冷却炉相连；其特征在于：烘烤炉和冷却炉相邻，并且冷却炉安置在烘烤炉的出口处；所述烘烤炉每个烘烤单元包括烘烤基板装载台(1)、烘烤升降针(2)、烘烤滚轮(3)和烘烤传感器(4)；烘烤升降针(2)设置在烘烤基板装载台(1)顶面上，烘烤滚轮(3)设置在烘烤升降针(2)外的烘烤基板装载台(1)顶面上，烘烤传感器(4)设置在烘烤基板装载台(1)的顶面的中心处；所述烘烤炉还包括烘烤炉门(9)、烘烤架(10)、烘烤升降机(11)和烘烤炉电机(12)；所有烘烤单元均在烘烤架(10)中，烘烤炉电机(12)与烘烤升降机(11)相连，烘烤架(10)设置在烘烤升降机(11)上，烘烤炉门(9)设置在烘烤架(10)上；所述烘烤架(10)设置有三十个烘烤单元；所述冷却炉每个冷却单元包括冷却基板装载台(5)、冷却升降针(6)、冷却滚轮(7)和冷却传感器(8)；冷却升降针(6)设置在冷却基板装载台(5)顶面上，冷却滚轮(7)设置在冷却升降针(6)外的冷却基板装载台(5)顶面上，冷却传感器(8)设置在冷却基板装载台(5)的顶面的中心处；所述冷却炉还包括冷却架(13)、冷却升降机(14)和冷却炉电机(15)；所有冷却单元均在冷却架(13)中，冷却炉电机(15)与冷却升降机(14)相连，冷却架(13)设置在冷却升降机(14)上；所述的冷却架(13)设置有十个冷却单元。...
【技术特征摘要】
1.一种高效OLED玻璃基板烘烤冷却装置，包括烘烤炉、冷却炉、机械手、程序控制器、电机一、电机二和控制电脑，控制电脑与程序控制器相连，程序控制器分别与电机一、电机二、烘烤炉、冷却炉和机械臂相连，电机一还与烘烤炉相连，电机二还与冷却炉相连；其特征在于:烘烤炉和冷却炉相邻，并且冷却炉安置在烘烤炉的出口处；所述烘烤炉每个烘烤单元包括烘烤基板装载台(I)、烘烤升降针(2)、烘烤滚轮(3)和烘烤传感器(4);烘烤升降针(2)设置在烘烤基板装载台(I)顶面上，烘烤滚轮(3)设置在烘烤升降针(2)外的烘烤基板装载台(I)顶面上，烘烤传感器(4)设置在烘烤基板装载台(I)的顶面的中心处；所述烘烤炉还包括烘烤炉门(9)、烘烤架(10)、烘烤升降机(11)和烘烤炉电机(12);所有烘烤单元均在烘...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏靖明，魏锋，任海，
申请(专利权)人：四川虹视显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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