【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：过磷酸钙11-16份，硫酸钾9-16份，硝酸钙3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶联剂,15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性剂6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，调节剂6-8份，碳酸钙3-6份，苯甲酸甲酯15-23份，三乙醇胺1-3份，三乙胺10-19份，酒石酸5-10份，纳米银0.5份。本专利技术的有益效果是：制备简单，抛光效果明显，性能稳定。【专利说明】一种化学抛光组合物
本专利技术涉及一种化学抛光组合物。
技术介绍
对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法，但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种化学抛光组合物。 为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是:一种化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:过磷酸钙11-16份，硫酸钾9-16份，硝酸钙3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶联剂，15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性剂6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，调节剂6-8份，碳酸钙3-6份，苯甲酸甲酯15-23份,二乙醇胺1-3份，，二乙胺10-19份,酒石酸5-10份,纳米银0.5份。 本专...
【技术保护点】
一种化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：过磷酸钙11‑16份，硫酸钾9‑16份，硝酸钙3‑5份，乙二醇丁醚19‑26份，偶联剂,15‑23份，二甲基苯胺11‑15份，表面活性剂6‑15份，甲基三乙氧基硅烷2‑3份，调节剂6‑8份，碳酸钙3‑6份，苯甲酸甲酯15‑23份，三乙醇胺1‑3份，，三乙胺10‑19份，酒石酸5‑10份，纳米银0.5份。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：范向奎，
申请(专利权)人：青岛宝泰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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