一种可调光学谐振装置及其调制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可调光学谐振装置及其调制方法，包括衬底以及附着于衬底上的第一波导、第二波导、光学谐振器和第三波导；第一波导和第二波导依次设置在光学谐振器的一侧，第三波导设置在光学谐振器的另一侧；第一波导和第二波导与衬底的接触面镂空；第二波导的截面面积大于第一波导的截面面积。通过输入功率大于光功率阈值的控制光，使得第一波导发生形变，改变光学谐振器与第一波导之间的耦合系数，调节谐振装置的消光比和Q值。本发明专利技术利用波导相互作用的光力效应改变光学谐振器与波导的耦合系数来调节光学谐振装置的消光比和Q值；利用光力效应随控制光功率增加而增加的关系，改变控制光功率大小直接改变镂空的细波导的形变，实现简单，操作灵活。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，包括衬底以及附着于衬底上的第一波导、第二波导、光学谐振器和第三波导；第一波导和第二波导依次设置在光学谐振器的一侧，第三波导设置在光学谐振器的另一侧；第一波导和第二波导与衬底的接触面镂空；第二波导的截面面积大于第一波导的截面面积。通过输入功率大于光功率阈值的控制光，使得第一波导发生形变，改变光学谐振器与第一波导之间的耦合系数，调节谐振装置的消光比和Q值。本专利技术利用波导相互作用的光力效应改变光学谐振器与波导的耦合系数来调节光学谐振装置的消光比和Q值；利用光力效应随控制光功率增加而增加的关系，改变控制光功率大小直接改变镂空的细波导的形变，实现简单，操作灵活。【专利说明】
本专利技术属于集成光子学领域，更具体地，涉及一种可调光学谐振装置及其调制方 法。
技术介绍
随着微电子技术的不断发展，器件尺寸不断变小，已逐步接近微电子器件的物理 极限，光互连被认为是最有希望解决电互连瓶颈的方式。微纳光电子集成是将光互连商用 化的必不可少的途径。因此，近年来，光通信器件不断向小型化、集成化方向发展。 光学谐振装置是光电集成回路的重要构成部分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可调光学谐振装置，其特征在于，包括衬底(1)以及附着于所述衬底(1)上的第一波导(2)、第二波导(3)、光学谐振器(4)和第三波导(5)；所述第一波导(2)和所述第二波导(3)依次设置在所述光学谐振器(4)的一侧，所述第三波导(5)设置在所述光学谐振器(4)的另一侧；所述第一波导(2)与所述衬底(1)的接触面镂空；所述第二波导(3)与所述衬底(1)的接触面镂空；所述第二波导(3)的截面面积大于所述第一波导(2)的截面面积。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王健，龙运，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42