【技术实现步骤摘要】
六方轴结构
本技术涉及一种机械结构，尤其涉及一种六方轴结构。
技术介绍
现有的磁控溅射旋转靶内部的旋转支撑结构(六方轴结构)采用自润滑轴承，该自润滑轴承容易磨损，导致磁钢支座相对于靶筒产生偏心转动，刮蹭靶筒，在一定程度上影响了磁场的均匀性，因而存在使整个旋转溅射系统不稳定的问题。
技术实现思路
本技术为解决现有自润滑轴承容易磨损，导致磁钢支座相对于靶筒产生偏心转动，刮蹭靶筒，在一定程度上影响了磁场的均匀性，因而存在使整个旋转溅射系统不稳定的问题，从而提供六方轴结构的技术方案。 技术所述六方轴结构，包括:第一轴承、第二轴承、桶形的主轴芯和转动轴， 所述转动轴可转动的套设于所述主轴芯内； 所述转动轴的头部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第一轴承； 所述转动轴的尾部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第二轴承。 优选的，所述第一轴承为冲压外圈滚针轴承。 优选的，所述第二轴承为深沟球轴承。 优选的，还包括:油封，所述油封设置于第二轴承的一侧，位于转动轴的尾部。 优选的，还包括:垫圈，所述垫圈设置于所述油封与所述第二轴承之间。 优选的，所述转动轴的尾部设置有一凹槽。 优选的，所述主轴芯包括:轴芯部和连接端部， 所述轴芯部与所述连接端部为一体式结构，所述轴芯部为管形结构，所述管形结构的端面外圈形状为正六边形； 所述连接端部的端面的宽度大于所述正六边形的外接圆的直径，所述转动轴的一端伸出所述连接端部。 本技术的有益效果: 本技术所述六方轴结构是磁控溅射旋转靶驱动端头内部带动靶筒旋转的一个部件，主要有作用:通过电机带动靶筒旋转；...
【技术保护点】
六方轴结构，其特征在于，包括：第一轴承、第二轴承、桶形的主轴芯和转动轴， 所述转动轴可转动的套设于所述主轴芯内； 所述转动轴的头部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第一轴承； 所述转动轴的尾部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第二轴承。
【技术特征摘要】
1.六方轴结构，其特征在于，包括:第一轴承、第二轴承、桶形的主轴芯和转动轴， 所述转动轴可转动的套设于所述主轴芯内； 所述转动轴的头部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第一轴承； 所述转动轴的尾部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第二轴承。2.如权利要求1所述六方轴结构，其特征在于，所述第一轴承为冲压外圈滚针轴承。3.如权利要求1所述六方轴结构，其特征在于，所述第二轴承为深沟球轴承。4.如权利要求1所述六方轴结构，其特征在于，还包括:油封，所述油封设置于第二轴承的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈喜丰，
申请(专利权)人：上海北玻镀膜技术工业有限公司，洛阳北方玻璃技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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