一种氧含量检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种氧含量检测装置。该氧含量检测装置包括氧气分析仪和一个或多个控制系统，所述氧气分析仪通过所述控制系统与检测区域连接。本实用新型专利技术的氧含量检测装置既可以检测到微环境传片洁净区域内的氧含量，也可以检测到第一硅片出入口区域和第二硅片出入口区域内部的氧含量，满足半导体工艺制程的要求，结构简单，也可降低设备成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种氧含量检测装置
本技术涉及半导体工艺设备
，尤其涉及一种氧含量检测装置。
技术介绍
在半导体工艺设备中，要求在硅片暴露区域需要较低的含氧量，以保证生产出的硅片质量，因此实现硅片暴露区域内氧含量精确检测至关重要。硅片的暴露区域有两部分，一是升降舟的微环境传片洁净区域，另一个是微环境传片洁净区域与硅片传送盒之间的硅片出入口区域。传统的半导体设备采用一个氧气分析仪，只检测升降舟的微环境区域，不检测硅片出入口区域的氧含量数值。当使用传统方法时，如果硅片出入口区域的氧含量很高，达不到技术要求，被传送的硅片将在此处受到严重的质量影响，且当硅片出入口区域的盒盖打开之后，还会让微环境的氧含量受到较大的波动，严重影响硅片传送制程；如果采用两个氧气分析仪分别检测以上区域的话，又会大大增加了设备的成本。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是提供了一种氧含量检测装置，既可以满足微环境传片洁净区域的氧含量检测要求，又可以满足微环境传片洁净区域与硅片传送盒之间的硅片出入口区域的氧含量检测要求，并且既可以实现单一检测管路单独控制，也可以实现同路检测。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种氧含量检测装置，包括氧气分析仪和一个或多个控制系统，所述氧气分析仪通过所述控制系统与检测区域连接。其中，所述控制系统还连接有控制器，所述控制器与所述氧气分析仪连接。其中，所述氧气分析仪、控制系统和检测区域之间通过管路依次密封连接。其中，所述控制系统包括用于控制所述管路的通断的开关模块和用于操作开关模块的执行模块，所述氧气分析仪通过所述开关模块与所述检测区域连接，所述开关模块与所述执行模块连接，所述执行模块与所述控制器连接。其中，所述开关模块为阀门。其中，所述执行模块为气动执行机构。其中，所述管路的材质为316L不锈钢。其中，所述开关模块的材质为316L不锈钢。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有以下有益效果:本技术的氧含量检测装置包括氧气分析仪和一个或多个控制系统，氧气分析仪用于分析检测区域的氧含量，氧气分析仪通过一个或多个控制系统与检测区域连接，从而保证检测区域中的每一点均通过一条路线连接到氧气分析仪上，从而通过每一路线上的控制系统控制该路线的通断，来实现检测区域内的不同位置的氧含量的检测。本技术的氧含量检测装置既可以检测到微环境传片洁净区域内的氧含量，也可以检测到第一硅片出入口区域和第二硅片出入口区域内部的氧含量，满足半导体工艺制程的要求，结构简单，也可降低设备成本。【附图说明】图1为本技术实施例的氧含量检测装置的工作原理图。其中，1:控制器；2:氧气分析仪；3:第一执行机构；4:第二执行机构；5:第一阀门；6:第二阀门；7:第三阀门；8:第一检测口 ；9:第二检测口 ；10:第三检测口 ；11:管路；12 --第一娃片传送盒；13:第三执行机构；14 --第一娃片出入口区域；15:第二娃片出入口区域；16:微环境传片洁净区域；17:第二娃片传送盒。【具体实施方式】下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；除非另有说明，“缺口状”的含义为除截面平齐外的形状。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。如图1所示，本实施例的氧含量检测装置包括氧气分析仪2和一个或多个控制系统，氧气分析仪2用于分析检测区域的氧含量，氧气分析仪2通过一个或多个控制系统与检测区域连接，从而保证检测区域内的每一点均通过一条路线连接到氧气分析仪2上，从而通过每一路线上的控制系统控制该路线的通断，来实现检测区域内的不同位置的氧含量的检测。控制系统还连接有控制器1，控制器I与氧气分析仪2连接，通过控制器I既可以操作控制系统，来确定该路线的开放或闭合，也可以控制氧气分析仪2对检测区域内的气体进行氧含量的分析检测，以实现检测区域内的不同位置的氧含量的检测，使得检测过程自动化程度高，操作简单方便。考虑本实施例的氧含量检测装置的实用性，优选地，控制器I选用PLC控制器，其具有操作简单方便，性价比高，抗干扰能力强，维修方便等特点。具体到本实施例中，氧气分析仪2、控制系统和检测区域之间通过管路11依次密封连接，保证连接处没有气体泄漏；控制系统、控制器I和氧气分析仪之间分别通过线路连接，控制器I既可以通过操作控制系统来控制管路11的打开和闭合，也可以控制氧气分析仪2对检测区域内的气体进行氧含量的检测分析。控制系统包括用于控制所述管路11的通断的开关模块和用于操作开关模块的执行模块，氧气分析仪2通过开关模块与检测区域连接，开关模块与执行模块连接，执行模块与控制器(I)连接，通过控制器I控制执行模块，从而控制开关模块来确定该路线的开放或闭合，以实现不同区域氧含量的检测。考虑本实施例的氧含量检测装置的实用性和可实现性，优选地，开关模块为阀门，执行模块为气动执行机构，均具有成本低，操作简单，适应性强的特点。需要说明的是，开关模块除选用阀门外，也可选用其他控制方式，只要满足可以控制管路11的打开和闭合的要求即可；执行模块除选用气动执行机构外，也可以选用其他执行机构，只要满足可以操作开关模块的要求即可。管路11和开关模块的材质为316L不锈钢，保证在气体检测过程中，管路11和开关模块内不会有挥发性颗粒进入检测区域内而影响工艺质量，同时也可以保证氧气含量检测的准确性。需要说明的是，管路11和开关模块的材质除选用316L不锈钢外，还可以选用其它材质，只要满足保证在气体检测过程中，管路11和开关模块内不会有挥发性颗粒进入检测区域内而影响工艺质量的要求即可。具体到本实施例中，检测区域包括三个部分，分别为第一硅片出入口区域14、第二硅片出入口区域15和微环境传片洁净区域16，氧气分析仪2通过三个控制系统分别与三个区域连接，形成三条路线，将第一硅片出入口区域14、第二硅片出入口区域15和微环境传片洁净区域16的气体输送到氧气分析仪2中进行检测分析；每一条路线上的控制系统控制该路线的通断，从而实现对该处气体的氧分子含量的检测分析的控制。检测区域内分别设有第一检测口 8、第二检测口 9和第三检测口 10，第一检测口 8位于第一娃片传送盒12所对应的第一娃片出入口区域14内，用于检测第一娃片出入口区域14内的氧含量；第二检测口 9位于第二硅片传送盒17所对应的第二硅片出入口区域15内，用于检测第二硅片出入口区域15内的氧含量；第三检测口 10位于微环境传片洁净区域16内，用于检测微环境传片洁净区域16内的氧含量。开关模块包括第一阀门5、第二阀门6和第三阀门7，执行模块包括第一执行机构3、第二执行机构4和第三执行机构13，第一执行机构3与第一阀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氧含量检测装置，包括氧气分析仪(2)，其特征在于，还包括一个或多个控制系统，所述氧气分析仪(2)通过所述控制系统与检测区域连接，所述控制系统包括用于控制所述管路(11)的通断的开关模块和用于操作开关模块的执行模块，所述氧气分析仪(2)通过所述开关模块与所述检测区域连接，所述开关模块与所述执行模块连接，所述执行模块与所述控制器(1)连接。

【技术特征摘要】
1.一种氧含量检测装置，包括氧气分析仪(2)，其特征在于，还包括一个或多个控制系统，所述氧气分析仪(2)通过所述控制系统与检测区域连接，所述控制系统包括用于控制所述管路(11)的通断的开关模块和用于操作开关模块的执行模块，所述氧气分析仪(2)通过所述开关模块与所述检测区域连接，所述开关模块与所述执行模块连接，所述执行模块与所述控制器(I)连接。2.根据权利要求1所述的氧含量检测装置，其特征在于，所述控制系统还连接有控制器(I)，所述控制器(I)与所述氧气分析仪(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王丽荣，董金卫，孙少东，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11