样本检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及样本检查装置，能够抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。本发明专利技术的样本检查装置（100）具有产生太赫兹波的太赫兹波产生部（30）、和载置作为被检查物的样本（2）的输送面（12），且具备构成为能够沿输送面（12）的面内方向输送样本（2）的输送部（10）、变更从太赫兹波产生部（30）射出并对被载置于输送面（12）的样本（2）照射的太赫兹波的照射方向的照射方向变更部（50）、以及检测照射至被载置于输送面（12）的样本（2）并透过或者反射的太赫兹波的太赫兹波检测部（40），照射方向变更部（50）通过变更太赫兹波产生部（30）的位置来变更照射方向。

【技术实现步骤摘要】
样本检查装置
[0001 ] 本专利技术涉及样本检查装置。
技术介绍
近年来，作为具有10GHz以上30THz以下的频率的电磁波的太赫兹波引人注目。太赫兹波能够用于成像、光谱测量等各种测量、非破坏检查等。例如专利文献I中记载了一种对药剂(样本)照射太赫兹波，并基于透过药剂或者被药剂反射后的太赫兹波，来检查药剂是否含有异物的样本检查装置。专利文献1:国际公开第2008 / 1785号然而，专利文献I的样本检查装置仅使太赫兹波从一个方向照射药剂。因此，在专利文献I的样本检查装置中，存在太赫兹波的散射因药剂的形状、配置状态而增强，导致检测精度降低的情况。具体而言，在药剂印有字的情况下，太赫兹波的散射增强，存在检测精度降低的情况。
技术实现思路
本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制因太赫兹波的散射而引起的检测精度降低的样本检查装置。本专利技术所涉及的样本检查装置具备:太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿上述输送面的面内方向输送上述样本；照射方向变更部，其变更从上述太赫兹波产生部射出并对被载置于上述输送面的上述样本照射的太赫兹波的照射方向；以及太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于上述输送面的上述样本并透过或者反射的太赫兹波，上述照射方向变更部通过变更上述太赫兹波产生部的位置，来变更上述照射方向。根据这样的样本检查装置，能够避开太赫兹波的散射变大的照射方向来对样本照射太赫兹波。因此，这样的样本检查装置能够抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。在本专利技术所涉及的样本检查装置中，可以具备检测位置控制部，该检测位置控制部控制上述太赫兹波检测部的位置，以便能够根据上述照射方向来检测太赫兹波。根据这样的样本检查装置，能够具有较高的检测精度。本专利技术所涉及的样本检查装置具备:太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿上述输送面的面内方向输送上述样本；照射方向变更部，其变更从上述太赫兹波产生部射出并对被载置于上述输送面的上述样本照射的太赫兹波的照射方向；以及太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于上述输送部的上述样本并透过或者反射的太赫兹波，上述照射方向变更部包括能够使从上述太赫兹波产生部射出的太赫兹波反射的反射部，通过变更上述反射部的位置来变更上述照射方向。根据这样的样本检查装置，通过使反射部移动，能够容易地抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。在本专利技术所涉及的样本检查装置中，上述输送部构成为能够将上述样本排列成从上述照射方向观察时上述样本不重叠。根据这样的样本检查装置，能够对多个样本的各个照射具有同等强度的太赫兹波。在本专利技术所涉及的样本检查装置中，上述太赫兹波产生部包括:光脉冲产生部，其产生光脉冲；以及光电导天线，其照射由上述光脉冲产生部产生的光脉冲。根据这样的样本检查装置，能够抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。在本专利技术所涉及的样本检查装置中，也可以具备:照射方向决定部，其基于在上述太赫兹波检测部中检测出的太赫兹波来决定上述照射方向；以及照射方向控制部，其基于上述照射方向决定部的决定来控制上述照射方向变更部。根据这样的样本检查装置，能够抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。【附图说明】图1是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置的图。图2是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置的一部分的图。图3是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置的输送部的图。图4是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置的输送部的图。图5是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置的太赫兹波产生部的光源的图。图6是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置的太赫兹波检测部的图。图7是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置的一部分的图。图8是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置的照射方向变更部的可动部的图。图9是用于说明第I实施方式所涉及的样本检查装置的动作的流程图。图10是用于说明第I实施方式所涉及的样本检查装置的动作的图。图11是用于说明第I实施方式所涉及的样本检查装置的动作的图。图12是用于说明第I实施方式所涉及的样本检查装置的动作的图。图13是用于说明第I实施方式所涉及的样本检查装置的动作的图。图14是表示作为被检查物的样本以及标准样品在太赫兹带下的光谱的图。图15是表示作为被检查物的样本在太赫兹带下的光谱的图。图16是表示作为被检查物的样本的物质A、B、C的分布的图像的图。图17是示意地表示第2实施方式所涉及的样本检查装置的一部分的图。图18是示意地表示第2实施方式所涉及的样本检查装置的一部分的图。【具体实施方式】以下，使用附图对本专利技术的优选实施方式进行详细的说明。其中，以下所说明的实施方式并不对权利要求书所记载的本专利技术的内容进行不当限定。另外，以下所说明的构成的全部并非均为本专利技术的构成要件。1.第I实施方式1.1.构成首先，参照附图对第I实施方式所涉及的样本检查装置进行说明。图1是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置100的图。图2是示意地表示第I实施方式所涉及的样本检查装置100的一部分的图。其中，为了方便，在图1中透视图示了照射方向变更部50。另外，在图2以及后述的图3、4、7、8中，作为相互正交的三个轴，图示了 X轴、Y轴、以及Z轴。以下，对用于检查药剂2来作为被检查物的样本的样本检查装置100进行说明。药剂2例如形成有用于表示药剂的名称的印字。如图1以及图2所示，样本检查装置100具备输送部10、太赫兹波产生部30、太赫兹波检测部40、以及照射方向变更部50。并且，样本检查装置100可具备供给部20、操作部110、处理部120、显示部130、以及存储部140。输送部10构成为能够输送药剂2。输送部10的形态只要能够输送药剂2即可，没有特别限定，可以是传送带。输送部10具有载置药剂2的输送面12。在图示的例子中，输送面12是平坦的面，具有沿Z轴的垂线(未图示)。输送部10沿输送面12的面内方向输送药剂2。在图示的例子中，输送部10向Y轴方向输送药剂2。此外，虽然未图示，但在输送面12也可以形成有凹部，可以在该凹部配置药剂2。由此，例如在输送药剂2的过程中输送部10受到了冲击的情况下，能够抑制药剂2偏离规定的位置。在输送部10的输送面12载置有多个药剂2。这里，图3是不意地表不输送部10的图，是从Z轴方向观察的图。在图3所示的例子中，多个药剂2在X轴方向以及Y轴方向被配置为矩阵状。例如，通过将多个药剂2供给至形成有凹部的输送面12，并使输送部10振动而使药剂2配置到凹部内，能够将药剂2配置到输送面12上的规定的位置。此外，也可以如图4所示，多个药剂2被配置成在X轴方向不重叠。由此，在从太赫兹波产生部30向X轴方向照射了太赫兹波的情况下，能够对多个药剂2的各个照射具有相同强度的太赫兹波。这样，优选输送部10构成为能够将药剂2排列成从太赫兹波的照射方向观察时药剂2不重叠。输送部10能够透过太赫兹波。输送部10的材质例如是聚乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亚胺等热塑性树脂、聚氨基甲酸乙酯等热固性树脂。此外，输送部10可也以由纸或布构成。若将构成输送部10的材料的折射率设为η本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样本检查装置，其特征在于，具备：太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿所述输送面的面内方向输送所述样本；照射方向变更部，其变更从所述太赫兹波产生部射出并对被载置于所述输送面的所述样本照射的太赫兹波的照射方向；以及太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于所述输送面的所述样本并透过或者反射的太赫兹波，所述照射方向变更部通过变更所述太赫兹波产生部的位置来变更所述照射方向。

【技术特征摘要】
2013.03.08 JP 2013-0462641.一种样本检查装置，其特征在于，具备: 太赫兹波产生部，其产生太赫兹波； 输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿所述输送面的面内方向输送所述样本； 照射方向变更部，其变更从所述太赫兹波产生部射出并对被载置于所述输送面的所述样本照射的太赫兹波的照射方向；以及 太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于所述输送面的所述样本并透过或者反射的太赫兹波， 所述照射方向变更部通过变更所述太赫兹波产生部的位置来变更所述照射方向。2.根据权利要求1所述的样本检查装置，其特征在于， 具备检测位置控制部，该检测位置控制部控制所述太赫兹波检测部的位置，以便能够根据所述照射方向来检测太赫兹波。3.—种样本检查装置，其特征在于，具备: 太赫兹波产生部，其产生太赫兹波； 输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿所述输送面的面内方向输送所述样本； ...

【专利技术属性】
技术研发人员：富冈纮斗，竹中敏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP