光学检查设备和光学检查系统技术方案

本发明专利技术涉及光学检查设备和光学检查系统。一种通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统的光学检查设备包括：缝隙板，提供有用于允许一部分扫描光通过的多个缝隙以使得包括扫描有效部；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在利用扫描光在缝隙板上执行扫描的方向上间隔地布置缝隙。

【技术实现步骤摘要】
光学检查设备和光学检查系统
本专利技术涉及用于检查光学扫描设备的光学系统的光学检查设备和光学检查系统。
技术介绍
传统地，已经开发了在用于数字复印机或激光打印机等的光学扫描设备中检查是否存在侵入光学系统中的灰尘、光学元件上的沾污（在下文中，被简单称为灰尘）的各种方法。已经知道通过将从光学扫描设备发射的激光会聚到在像面上提供的可移动的缝隙板上来执行检查的一种方法。一个缝隙被布置为使得缝隙的开口的纵向方向与光学扫描方向垂直（参见日本专利申请公开No.2003-240675）。这个检查方法基于通过缝隙的束斑的光量的变化测量该束斑的状态，并且基于该状态执行对于光学扫描设备的光学系统上是否存在灰尘的检查。这个检查方法将包括一个缝隙和一个检测传感器的光检测单元在扫描方向上移动到需要检查的像面上的位置，接收该位置处的激光，因此执行检查。然后将光检测单元顺序地移动到整个像面上的许多检查位置，接收每个检查位置处的激光以便执行检查，由此允许进行整个像面上的检查。然而，在日本专利申请公开No.2003-240675中描述的检查光学扫描设备的方法中，要求光检测单元被顺序地移动到整个扫描范围上的许多检查位置。因此，该检查要求较长时间。本专利技术的一个目的是，提供可以减少用于检查光学扫描设备的光学系统的检查时间的光学检查设备和光学检查系统。
技术实现思路
本专利技术是一种光学检查设备，通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统，所述光学检查设备包括：缝隙板，具有多个缝隙；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在执行利用扫描光的在缝隙板上的扫描的方向上在包括从光学扫描设备发射的扫描光的扫描范围中的扫描有效部的范围中间隔地布置缝隙。本专利技术的一种光学检查系统包括：光学扫描设备，包括光源、以及使从光源发射的光偏转和反射作为朝向缝隙板的扫描光的旋转多面反射镜；以及所述光学检查设备。从以下参考附图的示例性实施例的描述中本专利技术更多的特征将变得清晰。附图说明图1A和图1B是示出根据本专利技术第一实施例的光学检查设备的示意性配置的图。图1A是平面图。图1B是示出扫描有效部的图。图2是示出根据本专利技术第一实施例的光学检查设备的光检测器的透视图。图3A和图3B示出根据本专利技术第一实施例的光学检查设备的光检测器。图3A是平面图。图3B是截面图。图4A、图4B和图4C是示出在缝隙的节距P大于光斑直径D的情况下的在不同缝隙宽度W的情况下的光斑光量、透过光量以及差别的曲线图。图4A示出W/D=0.1的情况。图4B示出W/D=0.5的情况。图4C示出W/D=0.9的情况。图5是示出在根据本专利技术第一实施例的光学检查设备的光检测器中在缝隙的节距P大于光斑直径D的情况下缝隙宽度比W/D和灵敏度之间的关系的曲线图。图6A、图6B和图6C是示出在缝隙的节距P等于光斑直径D的情况下的在不同缝隙宽度W的情况下的光斑光量、透过光量以及差别的曲线图。图6A示出W/D=0.1的情况。图6B示出W/D=0.5的情况。图6C示出W/D=0.9的情况。图7A和图7B是示出在缝隙宽度比W/D和灵敏度之间的关系的曲线图。图7A示出节距P等于光斑直径D的情况。图7B示出节距P等于光斑直径D的1/2的情况。图8A、图8B、图8C和图8D示出根据第一实施例的光学检查设备的光检测器的变化示例。图8A示出光导弯曲的情况。图8B示出光导具有基本上梯形形状的情况。图8C示出光导是束式光纤（bundlefibers）的情况。图8D示出束式光纤插入缝隙板和扩散器（diffuser）之间的情况。图9是示出本专利技术第二实施例的光学检查系统的示意性配置的图。具体实施方式现在将根据附图详细描述本专利技术的优选实施例。[第一实施例]如图1A中所示出的，在该实施例中，光学检查设备1检查光学扫描设备2的光学系统。作为检查对象的光学扫描设备2包括激光源（光源）50。从激光源50发射的激光（所发射的光）通过调节光束直径的透镜51，并且被会聚在旋转多面反射镜52的反射表面52a上。被布置为能围绕旋转轴旋转的旋转多面反射镜52包括多个反射表面52a，并且被配置为使反射表面52a围绕旋转轴旋转，由此在改变反射角的同时使激光偏转和反射，并且因此使得光进入fθ透镜53。已经通过fθ透镜53的激光被会聚（成像）在像面上以便形成束斑S，并且在光斑在这个平面上移动的同时利用光在像面上执行扫描。束斑S移动的方向被称为扫描方向。遵循利用从光学扫描设备发射的光执行扫描的范围，存在光学扫描设备的有效部和非有效部。图1B示出这个情形。有效部是其中包括光学扫描设备2的激光束打印机扫描其中要在打印对象片材上形成图像的区域的宽度的范围。其余是非有效部。图1B示出在本专利技术的光学检查设备1中包括的缝隙板11和由扫描光形成的束斑S的扫描范围之间的对应关系。非有效部是除有效部以外的区域。然而，存在使得光进入产生用于写图像的开始信号的传感器的情况。在该情况下，对应的范围可以是有效部。随后，包括有效部和非有效部的范围可以被称为扫描范围。这个范围中的有效部可以被称为扫描有效部。光学检查设备1包括：光检测器10，接收从光学扫描设备2发射的扫描光并且将光转换成电信号；AD转换器20，对电信号进行AD转换；以及检查装置30，其基于AD转换后的信号来检查光学扫描设备2的光学系统的状态。光学检查设备1包括用于检测利用扫描光进行扫描的定时的触发光检测器40。从光学扫描设备2发射的激光被会聚在提供在光检测器10中的稍后提到的缝隙板11的表面上，该表面用作像面；利用这个光扫描缝隙板11，使得该光的一部分通过在缝隙板11上形成的缝隙11s。提供在光检测器10中的光学传感器15测量已经透过缝隙11s的扫描光的光量，并且将该量输出到AD转换器20。同时，触发光检测器40被布置在光检测器10的在扫描方向上的上游，每当旋转多面反射镜52旋转时对于每次扫描发射一个电信号（触发脉冲），并且信号被传送到AD转换器20。AD转换器20根据从触发光检测器40发射的触发脉冲作为用于测量定时的参考，对于利用从光学扫描设备2发射的激光的每次扫描，对通过光检测器10获取的电信号进行AD转换，并且将信号以时序的方式顺序地输出到检查装置30。检查装置30包括例如计算机，并且基于作为通过光检测器10获取的测量结果的电信号来计算已经透过缝隙11s的光量。构成检查装置30的计算机包括例如CPU、存储用于基于来自光检测器10的电信号计算已经透过缝隙11s的光量的程序的ROM、临时地存储各种数据的RAM以及输入和输出接口电路。检查装置30对经由AD转换器20从多个光学传感器15获取的信号进行相加，并且计算在这个时间点已经透过缝隙11s的光量的最大值。如稍后所述，检查装置30通过使用透过光量的最大值的变化来确定光学扫描设备2的光学系统中是否存在灰尘。在下文中详细描述作为本实施例的特征的光检测器10。如图2、图3A和图3B中所示出的，光检测器10被固定到光学检查设备1，并且包括具有扫描光通过的多个缝隙11s的缝隙板11。缝隙板11由其纵向方向与扫描方向一致的矩形的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学检查设备，通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统，所述光学检查设备包括：缝隙板，具有多个缝隙；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在执行利用扫描光的在缝隙板上的扫描的方向上在包括从光学扫描设备发射的扫描光的扫描范围中的扫描有效部的范围中间隔地布置缝隙。

【技术特征摘要】
2013.03.08 JP 2013-0462501.一种光学检查设备，通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统，所述光学检查设备包括：缝隙板，具有多个缝隙；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在执行利用扫描光的在缝隙板上的扫描的方向上在包括从光学扫描设备发射的扫描光的扫描范围中的扫描有效部的范围中间隔地布置缝隙，其中布置缝隙的节距是P，缝隙上的扫描方向上的开口宽度是W，缝隙板上的扫描光的光斑直径是D，并且满足如下关系：在P＞D的情况下0....

【专利技术属性】
技术研发人员：西胁正行，春山弘司，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP