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本发明涉及光学检查设备和光学检查系统。一种通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统的光学检查设备包括：缝隙板，提供有用于允许一部分扫描光通过的多个缝隙以使得包括扫描有效部；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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