【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种。本申请基于2013年2月25日在日本申请的日本特愿2013-034836号主张优先权，并在本专利技术中援引其内容。
技术介绍
作为旋转雾化涂装方法，已知向成形空气的周围供给调温空气，而消除空气与成形空气的温度差，从而防止紊流的产生的方法(例如，参照专利文献I)。【在先技术文献】【专利文献】专利文献1:日本特开平9-225350号公报但是，在上述现有技术中，未考虑成形空气的调温，例如在基板的处理温度高的情况下可能存在不能得到良好的涂布膜的现象。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于这种课题而完成的，其目的在于提供能够对处理温度高的基板进行良好的涂布的。为了实现上述目的，本专利技术的一方式所涉及的涂布装置的特征在于，具备:涂布喷嘴，其向基板涂布涂布液；气体供给部，其供给对所述涂布液向所述基板的喷出方向进行控制的调温气体。根据本方式所涉及的涂布装置，由于通过调温气体对涂布液进行调温，因此即使在例如保持基板被调温了的状态的情况下，也能够通过减小基板与涂布液的温度差而将优质的涂布膜形成在基板上。在上述涂布装置中，可以设置为如下的结构，即，所述气体...
【技术保护点】
一种涂布装置，其中，具备：涂布喷嘴，其向基板涂布涂布液；气体供给部，其供给对所述涂布液向所述基板的喷出方向进行控制的调温气体。
【技术特征摘要】
2013.02.25 JP 2013-0348361.一种涂布装置，其中，具备: 涂布喷嘴，其向基板涂布涂布液； 气体供给部，其供给对所述涂布液向所述基板的喷出方向进行控制的调温气体。2.如权利要求1所述的涂布装置，其中， 所述气体供给部供给作为所述调温气体的不活泼气体。3.如权利要求2所述的涂布装置，其中， 所述不活泼气体为氮气。4.如权利要求2所述的涂布装置，其中， 所述涂布喷嘴涂布作为所述涂布液的包含金属以及溶剂的液状体。5.如权利要求1所述的涂布装置，其中， 所述涂布喷嘴由旋转雾化喷嘴构成， 所述调温气体为成形空气。6...
【专利技术属性】
技术研发人员：岛井太，佐藤晶彦，丸山健治，细田浩，千叶正树，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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