一种半导体晶圆目检灯制造技术

一种半导体晶圆目检灯，属专用照明装置领域。其在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件；其中至少一个LED发光器件设置在灯壳纵向中心轴线位置上，其余LED发光器件围绕中心点LED发光器件设置；在每个LED发光器件的位置上对应设置一个反光杯；在半导体晶圆目检工作平面上，各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合，形成高亮度光斑；所述的灯壳、各个LED发光器件和对应的反光杯，构成一体式的聚光灯具。其采用LED光源作为照射光源，具有快速启动特性，响应速度快，使用寿命长，电能消耗低，节能环保，可提高目检工作的整体工作效率和质量，且其生产组装方便，散热效果好。可广泛用于晶圆目检用灯的设计制造领域。

【技术实现步骤摘要】
—种半导体晶圆目检灯
本技术属于专用照明装置领域，尤其涉及一种用于半导体晶圆目检的专用照明装置。
技术介绍
目检是半导体晶圆测试中的一项重要工作，其通过肉眼观察待测晶圆是否存在缺陷。目检主要包括下列检查内容:检测待测晶圆上是否有瑕疵(主要是指微尘粒子、刮痕、残留物等)，对已印有电路图案的图案晶圆成品而言，则主要进行外引脚之平整性、共面度、脚距、印字是否清晰及胶体是否有损伤等方面的外观检验。目前，在目检过程中多使用高强度汞灯作为光源来照射晶圆表面。采用高强度汞灯作为照射光源，其缺点是寿命短(小于500小时)，灯具的价格高，在目检工作中需要频繁更换灯具光源，且该种光源的启动时间比较长，需预热半小时左右才能达到目检所需的稳定光强度；其一方面增加了目检工序的电能消耗和生产成本，另一方面无形之中又减少了有效工作时间，降低了目检工作的整体工作效率。如何能够使得目检用照明灯具有快速启动特性，延长灯具的使用寿命，减少其电能消耗，提高目检工作的整体工作效率，是实际生产过程中急待解决的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种半导体晶圆目检灯，其采用LED光源取代传统的高强度汞灯作为照射光源，具有快速启动特性，响应速度快，使用寿命长，电能消耗低，节能环保，可提高目检工作的整体工作效率和质量，且其生产组装方便，散热效果好。本技术的技术方案是:提供一种半导体晶圆目检灯，包括用于支撑灯壳的撑杆和设置在撑杆末端的灯壳，其特征是:所述的灯壳为一圆柱或圆台状结构；在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件；其中，至少一个LED发光器件设置在灯壳的纵向中心轴线位置上，构成中心点LED发光器件；其余的LED发光器件围绕所述的中心点LED发光器件设置，构成多个围绕式LED发光器件；在所述的每个LED发光器件的位置上，对应设置一个反光杯；在所需照明的半导体晶圆目检工作平面上，所述各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与所述中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合；所述的撑杆、灯壳、中心点LED发光器件、多个围绕式LED发光器件和多个反光杯,构成一体式的聚光灯具。具体的，其所述的各个LED发光器件位于所述对应的各个反光杯上开口端的中心位置。进一步的，其所述的反光杯为一截锥状构件，其反光杯的上开口端与所述灯壳的下端连接；所述反光杯的下开口端朝向半导体晶圆目检工作平面设置。其所述多个围绕式LED发光器件反光杯的纵向中心轴线，与所述灯壳的下底面成一夹角设置，分别构成一个向灯壳中心轴线倾斜的投光通道。位于所述围绕式LED发光器件上的各个反光杯的纵向中心轴线,朝向所述灯壳的纵向中心轴线倾斜；所述各个围绕式LED发光器件上的各个反光杯的纵向中心轴线，与所述灯壳的纵向中心轴线成一夹角设置。更进一步的，上述的夹角范围为O?20度。其所述各个围绕式LED发光器件反光杯的纵向中心轴线，在所述半导体晶圆目检工作平面上，与所述灯壳的纵向中心轴线相交。更进一步的，所述反光杯的上开口端与灯壳之间，对应设置有螺纹式连接结构或旋转卡口式连接结构。更进一步的，在所述灯壳的上端面，设置散热模块或散热模块组。与现有技术比较，本技术的优点是:1.采用LED光源取代传统的高强度汞灯作为照射光源，具有快速启动特性，响应速度快，使用寿命长，电能消耗低，节能环保；2.米用一体式灯壳结构,其灯壳既能固定反光杯,又能作为散热部件；3.可提高目检工作的整体工作效率和质量，且其生产组装方便，散热效果好。【附图说明】图1是本技术的结构示意图；图2是本技术下端面的结构示意图；图3是灯壳内部结构示意图；图4是反光杯的结构示意图；图5是灯壳与LED发光器件之间的结构示意图；图6是各个反光杯输出的光斑重合关系不意图。图中I为撑杆，2为灯壳,3为中心点LED发光器件反光杯,4为围绕式LED发光器件反光杯，5为LED发光器件，6-1、6-2为导线走线孔，7为螺纹式连接结构，8为光斑。【具体实施方式】下面结合附图对本技术做进一步说明。图1和图2中，本技术的技术方案提供了一种半导体晶圆目检灯，包括用于支撑灯壳的撑杆和设置在撑杆末端的灯壳，其特征是所述的灯壳I为一圆柱或圆台状结构；在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件；其中，至少一个LED发光器件设置在灯壳的纵向中心轴线位置上，构成中心点LED发光器件；其余的LED发光器件围绕所述的中心点LED发光器件设置，构成多个围绕式LED发光器件；在所述的每个LED发光器件的位置上，对应设置一个反光杯；在所需照明的半导体晶圆目检工作平面上，所述各个围绕式LED发光器件反光杯4输出的光斑,与所述中心点LED发光器件反光杯3输出的光斑重合；所述的撑杆、灯壳、中心点LED发光器件、多个围绕式LED发光器件和多个反光杯,构成一体式的聚光灯具。由图可知，多个围绕式LED发光器件反光杯4以中心点LED发光器件反光杯3为中心,均布在一个以此中心为圆心的圆周上。上述两图中给出的是采用9个小角度光源投射到一个平面上形成一个高亮度光斑的示意，其根据所需光斑的亮度与大小，设定各个光源的角度，形成一体式的聚光灯具。图3中，多个围绕式LED发光器件反光杯的纵向中心轴线,与灯壳的下底面成一夹角设置，分别构成一个向灯壳中心轴线倾斜α角度的投光通道。换句话说，位于围绕式LED发光器件上的各个反光杯的纵向中心轴线，朝向所述灯壳的纵向中心轴线倾斜。即:各个围绕式LED发光器件上的各个反光杯的纵向中心轴线，与所述灯壳的纵向中心轴线成一夹角设置。作为具体加工工艺，实际制造时，灯壳内部设有倾斜平面，该角度即为反光杯的安装角度，亦即各个反光杯的纵向中心轴线与灯壳的纵向中心轴线之间的夹角。上述的夹角范围为O?20度，可根据现场灯具与所需照明的半导体晶圆目检工作平面之间的距离和照明需要进行调节或变换；换句话说，可根据所需光斑的亮度与大小，设定各个围绕式LED发光器件上的各个反光杯的角度。由图可知，灯壳背面(即前述的灯壳上端面)采用平整的平面结构，可根据实际需要安装散热器或散热模块组，以提供良好的散热解决方案。同理，灯壳采用金属材质结构，有助于增强整体的散热作用，也便于制造加工。图4中，反光杯为一截锥状构件，其反光杯的上开口端与灯壳的下端连接；反光杯的下开口端朝向半导体晶圆目检工作平面设置。本领域的技术人员由图可知，本技术方案中的反光杯，实际上就是一种小角度反光杯，由于其为现有技术，故其具体反光机理和投光结构在此不再详述。由图可知，在反光杯的上开口端外表面，设置有螺纹式连接结构或旋转卡口式连接结构(图中以螺纹式连接结构7表示)；对应的，在灯壳的下端面，亦设置有相对应的螺纹式连接结构或旋转卡口式连接结构，通过两者之间的螺纹旋转配合或卡扣旋转配合，用于固定反光杯的位置与角度，将反光杯的上开口端牢固地固定在灯壳的下端面上。图5中，LED发光器件5位于所对应的反光杯上开口端的中心位置,基于制造结构上的原因，在LED发光器件的周边，设置有导线走线孔6-1、6-2，LED发光器件的电源线从该孔穿出，这样可以采用驱动电源外置的结构形式，有利于提高电源的电能利用率和采用合理的集中散热方案。图6中，本技术方案将多束小角度灯管(包括中心点LED发光器件和环绕在其周围的围绕式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体晶圆目检灯，包括用于支撑灯壳的撑杆和设置在撑杆末端的灯壳，其特征是：所述的灯壳为一圆柱或圆台状结构；在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件；其中，至少一个LED发光器件设置在灯壳的纵向中心轴线位置上，构成中心点LED发光器件；其余的LED发光器件围绕所述的中心点LED发光器件设置，构成多个围绕式LED发光器件；在所述的每个LED发光器件的位置上，对应设置一个反光杯；在所需照明的半导体晶圆目检工作平面上，所述各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与所述中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合；所述的撑杆、灯壳、中心点LED发光器件、多个围绕式LED发光器件和多个反光杯，构成一体式的聚光灯具。

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆目检灯，包括用于支撑灯壳的撑杆和设置在撑杆末端的灯壳，其特征是: 所述的灯壳为一圆柱或圆台状结构； 在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件； 其中，至少一个LED发光器件设置在灯壳的纵向中心轴线位置上，构成中心点LED发光器件；其余的LED发光器件围绕所述的中心点LED发光器件设置，构成多个围绕式LED发光器件； 在所述的每个LED发光器件的位置上，对应设置一个反光杯； 在所需照明的半导体晶圆目检工作平面上，所述各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与所述中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合； 所述的撑杆、灯壳、中心点LED发光器件、多个围绕式LED发光器件和多个反光杯,构成一体式的聚光灯具。2.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述的各个LED发光器件位于所述对应的各个反光杯上开口端的中心位置。3.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述的反光杯为一截锥状构件，其反光杯的上开口端与所述灯壳的下端连接；所述反光杯的下开口端朝向半...

【专利技术属性】
技术研发人员：王峰，庄美琳，李抒智，陈佳，杨卫桥，
申请(专利权)人：上海半导体照明工程技术研究中心，
类型：新型
国别省市：上海;31