一种半导体晶圆目检灯制造技术

一种半导体晶圆目检灯，属专用照明装置领域。其在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件；其中至少一个LED发光器件设置在灯壳纵向中心轴线位置上，其余LED发光器件围绕中心点LED发光器件设置；在每个LED发光器件的位置上对应设置一个反光杯；在半导体晶圆目检工作平面上，各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合，形成高亮度光斑；所述的灯壳、各个LED发光器件和对应的反光杯，构成一体式的聚光灯具。其采用LED光源作为照射光源，具有快速启动特性，响应速度快，使用寿命长，电能消耗低，节能环保，可提高目检工作的整体工作效率和质量，且其生产组装方便，散热效果好。可广泛用于晶圆目检用灯的设计制造领域。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种半导体晶圆目检灯
本技术属于专用照明装置领域，尤其涉及一种用于半导体晶圆目检的专用照明装置。
技术介绍
目检是半导体晶圆测试中的一项重要工作，其通过肉眼观察待测晶圆是否存在缺陷。目检主要包括下列检查内容:检测待测晶圆上是否有瑕疵(主要是指微尘粒子、刮痕、残留物等)，对已印有电路图案的图案晶圆成品而言，则主要进行外引脚之平整性、共面度、脚距、印字是否清晰及胶体是否有损伤等方面的外观检验。目前，在目检过程中多使用高强度汞灯作为光源来照射晶圆表面。采用高强度汞灯作为照射光源，其缺点是寿命短(小于500小时)，灯具的价格高，在目检工作中需要频繁更换灯具光源，且该种光源的启动时间比较长，需预热半小时左右才能达到目检所需的稳定光强度；其一方面增加了目检工序的电能消耗和生产成本，另一方面无形之中又减少了有效工作时间，降低了目检工作的整体工作效率。如何能够使得目检用照明灯具有快速启动特性，延长灯具的使用寿命，减少其电能消耗，提高目检工作的整体工作效率，是实际生产过程中急待解决的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种半导体晶圆目检灯，其采用LED光源取代传统的高强度汞灯作为照射光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体晶圆目检灯，包括用于支撑灯壳的撑杆和设置在撑杆末端的灯壳，其特征是：所述的灯壳为一圆柱或圆台状结构；在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件；其中，至少一个LED发光器件设置在灯壳的纵向中心轴线位置上，构成中心点LED发光器件；其余的LED发光器件围绕所述的中心点LED发光器件设置，构成多个围绕式LED发光器件；在所述的每个LED发光器件的位置上，对应设置一个反光杯；在所需照明的半导体晶圆目检工作平面上，所述各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与所述中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合；所述的撑杆、灯壳、中心点LED发光器件、多个围绕式LED发光器件和多个反光杯，构成一体式...

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆目检灯，包括用于支撑灯壳的撑杆和设置在撑杆末端的灯壳，其特征是: 所述的灯壳为一圆柱或圆台状结构； 在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件； 其中，至少一个LED发光器件设置在灯壳的纵向中心轴线位置上，构成中心点LED发光器件；其余的LED发光器件围绕所述的中心点LED发光器件设置，构成多个围绕式LED发光器件； 在所述的每个LED发光器件的位置上，对应设置一个反光杯； 在所需照明的半导体晶圆目检工作平面上，所述各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与所述中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合； 所述的撑杆、灯壳、中心点LED发光器件、多个围绕式LED发光器件和多个反光杯,构成一体式的聚光灯具。2.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述的各个LED发光器件位于所述对应的各个反光杯上开口端的中心位置。3.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述的反光杯为一截锥状构件，其反光杯的上开口端与所述灯壳的下端连接；所述反光杯的下开口端朝向半...

【专利技术属性】
技术研发人员：王峰，庄美琳，李抒智，陈佳，杨卫桥，
申请(专利权)人：上海半导体照明工程技术研究中心，
类型：新型
国别省市：上海;31