流道单元及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流道单元及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置，其在不阻碍基板彼此的固定的条件下利用被覆膜对液体流道进行覆盖。具有供液体流通的液体流道的流道单元具备：第一流道基板，其形成液体流道的流道壁；第二流道基板，其形成液体流道的流道壁；被覆膜，其以连续的方式具备被覆部和固定部，其中，所述被覆部对第一流道基板的流道壁进行覆盖，所述固定部对第一流道基板和第二流道基板进行固定。

【技术实现步骤摘要】
流道单元及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置
本专利技术涉及一种具备供液体流通的液体流道的流道单元、具有该流道单元的液体喷射头、液体喷射装置、以及流道单元的制造方法。
技术介绍
一直以来，已知一种具有供液体流通的液体流道的液体喷射头。液体喷射头经由液体流道而将填充有液体的一侧的开口和喷射液体的一侧的开口相连。这种液体喷射头通过重叠多个基板而形成。而且，液体流道也通过将形成于各个基板上的槽或孔组合在一起而形成（例如，参照专利文献1）。此外，公开了一种如下的结构，即，为了保护液体流道的壁面不受液体影响，而用被覆膜覆盖该液体流道的结构（例如，参照专利文献2、3）。当对构成液体喷射头的基板彼此进行固定时，被成膜于基板上的被覆膜有时会阻碍基板彼此的固定。在这种情况下，需要在基板上对被覆膜进行了成膜之后，对接合其他基板的部位进行清洗等以去除被覆膜。此外，虽然也考虑在对基板彼此进行固定之后在液体流道上对被覆膜进行成膜，但也考虑到了如下的情况，即，在液体流道被基板密封的情况下、或液体流道的结构复杂化的情况下，难以适当地对被覆膜进行成膜。专利文献1：日本特开2007-309328号公报专利文献2：日本实开平5-60844号公报专利文献3：日本特开平10-250078号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而被完成的，其目的在于，提供一种容易进行基板彼此的固定的利用被覆膜来覆盖液体流道的流道单元、液体喷射头、液体喷射装置、流道单元的制造方法。为了解决上述课题，在本专利技术中，具有供液体流通的液体流道的流道单元的特征在于，具备：第一流道基板，其形成所述液体流道的流道壁；第二流道基板，其重叠固定于所述第一流道基板上，并形成所述液体流道的流道壁；被覆膜，其以连续的方式具有被覆部和固定部，其中，所述被覆部对所述第一流道基板的流道壁进行覆盖，所述固定部对所述第一流道基板和所述第二流道基板进行固定。在以上述方式构成的专利技术中，被覆膜以跨接对液体流道进行覆盖的部位、和对基板彼此进行固定的部位的方式而被设置。因此，被覆膜能够在不阻碍第一流道基板和第二流道基板的固定的条件下，对液体流道进行覆盖。被覆膜中也包括在放大观察时以不损害被覆膜的功能的程度隔开了间隙的被覆膜。此外，也可以采用如下方式，即，所述被覆膜的材质为热可塑性树脂。在以上述方式构成的专利技术中，通过对被覆膜的固定部施加热量，从而能够对基板彼此进行固定，从而能够容易地实施基板彼此的固定。在此，作为热可塑性树脂，能够应用公知的聚丙烯类树脂、聚乙烯类树脂、聚苯乙烯类树脂、对二甲苯类树脂。而且，也可以采用如下方式，即，所述被覆膜的材质在所述被覆部和所述固定部的至少一部分中是相同的。在以上述方式构成的专利技术中，包括如下的情况，即，对液体流道进行覆盖的被覆部、和对基板彼此进行固定的固定部的一部分为相同的材质，而该以外的部位由不同的材质构成。因此，能够根据膜被形成的形状以及使用条件，而对所使用的材质的粘性、强度、抗化学药品性等进行最佳组合。而且，也可以采用如下方式，即，所述被覆膜通过将所述被覆部和所述固定部设为相同的材质，而对所述第一流道基板进行覆盖。此外，也可以采用如下结构，即，所述固定部的膜厚与所述被覆部的膜厚相比较厚。在以上述方式构成的专利技术中，能够通过在第一流道基板和第二流道基板上对各自的被覆膜进行了成膜之后，对该被覆膜彼此进行连接，从而形成固定部。而且，也可以采用如下的结构，即，所述第一流道基板和所述第二流道基板中的任意一方由陶瓷构成。在由陶瓷构成形成液体流道的基板时，如果膜厚较薄，则存在溶液等液体的成分从液体流道中漏出的情况。因此，在以上述方式构成的专利技术中，能够抑制在基板上产生的溶液的泄漏。而且，也能够将本专利技术应用于如下的液体喷射头中，所述液体喷射头具有：本专利技术的流道单元；喷嘴板，其具有与所述液体流道连通的喷嘴孔。此外，也能够将本专利技术应用于具有这种液体喷射头的液体喷射装置中。此外，也能够理解为这种液体喷射头或液体喷射装置的制造方法。附图说明图1为对液体喷射头的结构进行说明的剖视图。图2为对液体喷射头的结构进行说明的立体展开图。图3为表示流道单元的结构的剖视图。图4为表示喷墨打印机的一个示例的概要图。图5为对液体喷射头的制造方法进行说明的工序图。图6为对液体喷射头的制造方法进行说明的工序图。图7为表示第二实施方式所涉及的液体喷射头的剖视图。图8为对液体喷射头的制造方法进行说明的工序图。图9为对液体喷射头的制造方法进行说明的工序图。具体实施方式以下，按照如下的顺序对本专利技术的实施方式进行说明。1.第一实施方式2.第二实施方式3.其他实施方式1.第一实施方式以下，参照附图，对将本专利技术所涉及的液体喷射头具体化了的第一实施方式进行说明。图1为对液体喷射头的结构进行说明的剖视图。此外，图2为对液体喷射头的结构进行说明的立体展开图。而且，图3为表示流道单元的结构的剖视图。在此，图1与图2中的A-A’线处的剖视图相对应。液体喷射头1作为印刷装置等液体喷射装置的一部分而被使用。液体喷射头1具备流道单元50、密封板60、贮液器板70、喷嘴板80。此外，液体喷射头1通过使上述的流道单元50、密封板60、贮液器板70、喷嘴板80以层压状的方式进行重叠并组合，从而在内部形成液体流道90。流道单元50具备振动板10、流道形成基板20、被覆膜30、压电元件40。在第一实施方式中，振动板10为第一流道基板，流道形成基板20为第二流道基板。另外，虽然在本实施方式中，采用在流道单元50中包括压电元件40的装置而进行了说明，但也可以采用在流道单元50中不包括压电元件40的装置。如图2所示，在流道形成基板20上，通过壁部26而以在第二方向D2上并排设置的方式划分出多个压力室22。此外，各压力室22以在流道形成基板20的上表面21侧开口的方式被形成，而且，在流道形成基板20的下表面23侧，通过壁部26而分别划分出与各压力室22连通的连通孔侧开口24以及贮液器侧开口25。另外，虽然在本实施方式中，采用了将压力室22、连通孔侧开口24、以及贮液器侧开口25设置于同一个流道形成基板20上的结构，但也可以采用如下的结构，即，将基板分为形成压力室22的基板和形成连通孔侧开口24以及贮液器侧开口25的基板，并使它们分离的结构。在此，流道形成基板20通过对陶瓷的薄板体进行层压而被构成。此外，作为其材料，可以使用部分稳定化氧化锆（Zr）或稳定化氧化锆。而且，在流道形成基板20的上表面21侧，固定有振动板10。因此，流道形成基板20的各个压力室22的开口通过振动板10而被密封。振动板10例如由陶瓷的薄板体构成。作为其材料，可以使用部分稳定化氧化锆、稳定化氧化锆、或二氧化硅（SiO2）。此外，振动板10的第三方向D3上的厚度例如可以设为2.0微米（μｍ）至5.4微米。如图1所示，被覆膜30以连续的方式具有对液体流道90的壁面进行覆盖的部分（被覆部31）、和对振动板10和流道形成基板20进行固定的部分（固定部32）。因此，被覆膜30保护液体流道90不受油墨的影响，并对振动板10和流道形成基板20进行固定。被覆部31以如下方式成膜，即，对流道形成基板20的连通孔侧开口24的内壁、贮液器侧开口25的内壁、以及压力室22的内壁进行覆盖的方式。此外，固本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流道单元，其特征在于，具有供液体流通的液体流道，并具备：第一流道基板，其形成所述液体流道的流道壁；第二流道基板，其重叠固定于所述第一流道基板上，并形成所述液体流道的流道壁；被覆膜，其以连续的方式具有被覆部和固定部，其中，所述被覆部对所述第一流道基板的流道壁进行覆盖，所述固定部对所述第一流道基板和所述第二流道基板进行固定。

【技术特征摘要】
2013.02.22 JP 2013-0331851.一种流道单元，其特征在于，具有供液体流通的液体流道，并具备：第一流道基板，其形成所述液体流道的流道壁；第二流道基板，其重叠固定于所述第一流道基板上，并形成所述液体流道的流道壁；被覆膜，其以连续的方式具有被覆部和固定部，其中，所述被覆部对所述第一流道基板的流道壁进行覆盖，所述固定部对所述第一流道基板和所述第二流道基板进行固定,所述被覆膜的材质为热可塑性树脂。2.如权利要求1所述的流道单元，其特征在于，所述被覆膜的材质在所述被覆部和所述固定部的至少一部分中是相同的。3.如权利要求2所述的流道单元，其特征在于，所述被覆膜通过将所述被覆部和所述固定部设为相同的材质，而对所述第一流道基板进行覆盖。4.如权利要求1所述的流道单元，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：小松友子，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP