玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置制造方法及图纸

玻璃基板的制造方法包含：成形步骤，使用设置在成形炉室的成形体，利用下拉法将熔融玻璃成形为平板玻璃；及冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将所述平板玻璃进行徐令。所述退火炉室被分隔为至少2个以上的空间。所述成形炉室与所述退火炉室之间的间隔壁及所述退火路室内的所述空间彼此之间的间隔壁中的至少一处间隔壁使用具有特定隔热性的隔热板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置
本专利技术涉及一种利用下拉法的玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。
技术介绍
以往，一直使用利用下拉法制造玻璃基板的方法。在以此种下拉法，制造玻璃基板时，为减少玻璃基板的板厚偏差、翘曲、或应变，而存在预先设计平板玻璃的下流方向的平板玻璃冷却速度或平板玻璃的与下流方向正交的宽度方向的平板玻璃温度分布的情况。在该情形时，平板玻璃的温度为实现该温度分布的温度，而进行包围平板玻璃的环境温度的温度管理。例如，作为下拉法的一例，已知下述专利文献1中记载的玻璃基板的制造方法。该制造方法揭示了在退火步骤中，降低平板玻璃的宽度方向的温度分布的方面。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利第3586142号公报然而，所述制造方法在产生意外的热传递的情形时，存在如下担忧：在平板玻璃的冷却阶段，无法充分地降低平板玻璃的下流方向的冷却速度或平板玻璃的宽度方向的温度分布。近年来，用于液晶显示装置或有机EL(electroluminescence，电致发光)显示器等平板显示器的玻璃基板对于玻璃基板的板厚偏差、翘曲、应变、热收缩等品质要求愈发严格。在利用下拉法制造玻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，其包含：成形步骤，使用设置在成形炉室中的成形体，利用下拉法，自熔融玻璃成形平板玻璃；及冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的通过方向的冷却速度及所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将包含所述平板玻璃的两侧端部与比所述端部接近平板玻璃的宽度方向的中心的中央部的所述平板玻璃进行退火；所述冷却步骤包含：第1冷却速度控制步骤，以第1平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述平板玻璃的所述中央部的温度成为退火点为止；第2冷却速度控制步骤，以第2平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述退火点成为应变点‑50℃为止；及第3冷却...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.09.28 JP 2012-2184701.一种玻璃基板的制造方法，其包含：成形步骤，使用设置在成形炉室中的成形体，利用下拉法，自熔融玻璃成形平板玻璃；及冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的通过方向的冷却速度及所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将包含所述平板玻璃的两侧端部与比所述端部接近所述平板玻璃的宽度方向的中心的中央部的所述平板玻璃进行退火；所述冷却步骤包含：第1冷却速度控制步骤，以第1平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述平板玻璃的所述中央部的温度成为退火点为止；第2冷却速度控制步骤，以第2平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述退火点成为应变点－50℃为止；及第3冷却速度控制步骤，以第3平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述应变点－50℃成为所述应变点－200℃为止；所述退火炉室被分隔为至少2个以上的空间，且所述成形炉室与所述退火炉室之间的间隔壁使用第一隔热板，将设置在所述退火炉室中的所述空间进行分隔的间隔壁使用第二隔热板，将比所述平板玻璃的温度成为所述应变点－200℃为止的区域更接近平板玻璃的通过方向下游侧的冷却所述平板玻璃的下部空间与以所述冷却步骤控制所述平板玻璃的宽度方向的所述温度分布的上部空间之间进行划分的间隔壁使用第三隔热板，与所述第二隔热板相比，所述第三隔热板的热阻较大，所述第一隔热板、所述第二隔热板、及所述第三隔热板具有可以如下方式进行控制的隔热性，即(1)所述第1平均冷却速度为5.0℃/秒以上且50.0℃/秒以下，(2)所述第1平均冷却速度快于所述第2平均冷却速度及所述第3平均冷却速度，(3)经所述冷却步骤冷却的所述平板玻璃具有100ppm以下的热收缩率，且应变的延迟值具有1.0nm以下的值。2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中以所述第3平均冷却速度快于所述第2平均冷却速度的方式受到控制，所述第3冷却速度控制步骤包含以所述平板玻璃的宽度方向的温度自所述平板玻璃的宽度方向的端部朝向中央部变低的方式进行控制的步骤。3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述第一隔热板、所述第二隔热板、及所述第三隔热板中至少一隔热板的热阻为0.07m2·K/W以上。4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述成形步骤及所述冷却步骤包括在包含所述成形炉室及所述退火炉室的炉室中，一面利用辊将所述平板玻璃朝向下方拉伸，一面进行所述平板玻璃冷却的步骤，实施所述平板玻璃冷却的步骤是在自所述成形体的下部起，在所述中央部的温度处于至所述应变点减去50℃所得的温度为止的温度区域时，进行所述平板玻璃的宽度方向的温度控制，实施所述平板...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田伸广，苅谷浩幸，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP