【技术实现步骤摘要】
一种磁性流体密封装置的前后微调结构
本技术涉及一种工程元件或部件的密封装置,具体来说是涉及一种磁性流体密封装置的前后微调结构。
技术介绍
现有技术中,由磁场将磁性流体固定于旋转轴的周围、形成非机械接触的密封装置,被广泛应用于半导体太阳能电池以及LED等生产设备中;现有的磁流体密封装置密封技术只能做到在磁性传动轴上进行旋转密封,无法在磁性传动轴前后往复运动的时候进行密封,对于目前部分真空生产设备需要在磁性流体密封装置安装后,其磁性传动轴需要在前后的进行移动微调,以适应设备颞部的累积误差造成的安装位置偏移。
技术实现思路
本技术的目的是为了提供一种结构合理,可调节磁性流体密封装置安装误差的磁性流体密封装置的前后微调结构。为了达到本技术的目的,技术方案如下:一种磁性流体密封装置的前后微调结构,包括同轴壳体、磁密封部件、磁性传动轴和轴承,所述磁密封部件设在磁性传动轴的两侧,所述磁密封部件两侧的轴承用于固定磁性传动轴和同轴壳体,其特征在于:还包括保持轴,所述保持轴设在磁密封部件与磁性传动轴之间,所述保持轴紧贴磁性传动轴密封侧,所述在保持轴两端的磁性传动轴上设有限位轴卡。作为优选的技术方案:所述保持轴的两轴端距离限位轴卡2mm?5mm。作为优选的技术方案:还包括固定轴卡,所述固定轴卡紧靠轴承两端,用以固定磁密封部件与保持轴位置的相对静止。作为优选的技术方案:还包括密封圈,所述密封圈设在保持轴与磁性传动轴之间,用以保持磁性传动轴和保持轴之间的真空密封。本技术的有益效果为:此结构使得磁性流体密封能够更偏于设备部件之间的配合安装,减轻其相关配套零件的加工精度。【附图说明】图 ...
【技术保护点】
一种磁性流体密封装置的前后微调结构,包括同轴壳体(1)、磁密封部件(2)、磁性传动轴(3)和轴承(4),所述磁密封部件(2)设在磁性传动轴(3)的两侧,所述磁密封部件(2)两侧的轴承(4)用于固定磁性传动轴(3)和同轴壳体(1),其特征在于:还包括保持轴(5),所述保持轴(5)设在磁密封部件(2)与磁性传动轴(3)之间,所述保持轴(5)紧贴磁性传动轴(3)密封侧,所述在保持轴(5)两端的磁性传动轴(3)上设有限位轴卡(6)。
【技术特征摘要】
1.一种磁性流体密封装置的前后微调结构,包括同轴壳体(I)、磁密封部件(2)、磁性传动轴(3 )和轴承(4),所述磁密封部件(2 )设在磁性传动轴(3 )的两侧,所述磁密封部件(2)两侧的轴承(4)用于固定磁性传动轴(3)和同轴壳体(1),其特征在于:还包括保持轴(5),所述保持轴(5)设在磁密封部件(2)与磁性传动轴(3)之间,所述保持轴(5)紧贴磁性传动轴(3 )密封侧,所述在保持轴(5 )两端的磁性传动轴(3 )上设有限位轴卡(6 )。2.根据权利要求1所述的一种磁性流体密...
【专利技术属性】
技术研发人员:小林宏之,
申请(专利权)人:埃慕迪磁电科技上海有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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