高回收率气体分析仪采样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种高回收率气体分析仪采样装置，其包含：一分析装置，该分析装置具有一进样口与一出样口，该进样口连接有一进样管路；一第一泵，该第一泵与该分析装置的该出样口之间通过一抽气管路相连接或内建于该分析装置中，又该第一泵连接有一排气管路；一进样分流回路，该进样分流回路一端与该进样管路一侧相连通，又该排气管路与该进样分流回路一侧相连通；一第二泵，该第二泵设置在该进样分流回路上；借由该进样分流回路与该第二泵，通过空气样本适度分流以及第二泵的协同抽气作用，提高空气样本的流速，避免空气样本因流速过低而附着残留在管路内，导致空气样本的回收率降低，造成测量准确度变差的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
高回收率气体分析仪采样装置
本技术是有关于一种气体分析仪采样装置，特别是关于一种可提高回收率的气体分析仪采样装置。
技术介绍
一般半导体或面板产业的无尘室(clean room)，通常必须针对空气中含有的酸喊气或有机类等AMC (Airborne Molecular Contamination,气体分子污染物)或VOC (Volatile Organic Compound,挥发性有机化合物)的浓度加以测量并监控，以避免这些有害气体影响到产品的优良率或精密昂贵的机器设备，目前对于无尘室环境中AMC或VOC的测量监控，请参阅图1所示，通常是利用采气袋或不锈钢桶等工具人工取样，或是利用取样管路自动取样，以获得一空气样本Al，再将该空气样本Al通过一进样管路10送入一分析装置2内进行测量分析，其中，该分析装置2可为气相层析质谱分析仪(GC-MS,Gas Chromatography-Mass Spectrometer)、气相层析火焰离子化检测器(GC-FID,Gas Chromatography-Flame 1nization Detector)、选择离子流动管质谱仪(SIFT-MS，Selected 1n Flow Tube Mass Spectrometry)、飞行式质谱仪(TOF-MS, Time-of-FlightMass Spectrometry、离子层析仪(IC, 1n Chromatography)等气体化学分析装置,该分析装置2通常还会通过一抽气管路11连接一泵13，该泵13可内建于分析装置2内或独立于分析装置2之外，用以抽取需分析的空气样本Al使之流经分析装置2，以进行气体的分析，此外，该空气样本Al在进入分析装置2之前，有时会先经过一前处理装置例如热脱附装置(Thermal Desorption,TD)等进行样本的前处理，在此，该前处理装置与分析装置2的基本结构、动作原理与功用皆为本领域的技术人员所熟知，于此不再赘述。现有的气体测量分析架构，虽可达到对该空气样本Al进行采样及分析的目的，但所有的空气样本Al皆只能自单一的进样管路10及抽气管路11进出该分析装置2，如此一来，将使该空气样本Al的流速降低，导致该空气样本Al中待分析的污染物容易残留附着在各个管路内，造成空气样本Al的浓度及回收率(percent recovery, %R)降低,进而影响测量的准确性与产品的可靠度，若是为了避免或减轻前述缺陷则必须缩短取样管路的长度，但如此将使该分析装置2的设置地点受限，影响操作或使用的便利性，此外，空气样本Al的低流速也容易对该进样管路10造成污染及下一次测量的干扰，因此，如何针对上述缺陷加以改良，即为本案 申请人:所欲解决的技术困难点所在。
技术实现思路
有鉴于现有的气体测量分析架构，因空气样本在进样时流速较低，造成回收率降低并影响测量分析的精确度，因此本技术的目的在于提供一种可提高回收率的气体分析仪采样装置。为达成以上的目的，本技术提供一种高回收率气体分析仪采样装置，其包含:一分析装置，该分析装置具有一进样口与一出样口，该进样口连接有一进样管路;一第一泵，该第一泵与该分析装置的该出样口之间通过一抽气管路相连接，又该第一泵连接有一排气管路；一进样分流回路，该进样分流回路一端与该进样管路一侧相连通，又该排气管路与进样分流回路一侧相连通；一第二泵，该第二泵设置在该进样分流回路上。借由本技术设有的该进样分流回路与第二泵，可通过空气样本适度分流以及第二泵的协同抽气作用，提高空气样本的流速，可避免空气样本因流速过低而附着残留在管路内，导致待测物的回收率降低，造成测量精确度变差的缺陷，进而使本技术可达到提升测量精确度及产品可靠度的功效。【附图说明】图1是现有的架构示意图；图2是本技术一实施例的架构示意图；图2A是本技术其第二实施例的架构示意图；图3是本技术的动作示意图；图4是本技术其第三实施例的架构示意图。附图标记说明:10_进样管路；11_抽气管路；12_排气管路；13_泵；2-分析装置；Al-空气样本；3-分析装置；31-进样口 ；32_出样口 ；33_进样管路；331-加热装置；34-抽气管路；35_排气管路；4_第一泵；41_第一流量计；5_进样分流回路；51_第二流量计；6-第二泵；7-可扩充取样装置；71-阀组件；711-样本出口 ；712_非样本出口 ；713_样本入口 ；72_非样本排气管路；73_取样管；A2-空气样本。【具体实施方式】请参阅图2所示，本技术提供一种高回收率气体分析仪采样装置，其包含:一分析装置3，具体地，该分析装置3可为一气相层析质谱分析仪(GC-MS)等气体化学分析装置，该气体化学分析装置的具体构造或动作原理是属现有技术且非本案技术特征，于此不再赘述，该分析装置3具有一进样口 31与一出样口 32，该进样口 31连接有一进样管路33，请再配合参阅图3所示，用以供空气样本A2通过并进入该分析装置3，在此，该空气样本A2可通过进样管路33 (或由其所延伸出来的取样管路)直接在现场(例如待监控或分析的无尘室内某一区域)以自动化方式取得，或该空气样本A2也可由人工方式采样而得，此部分的详细操作方式同样为本领域的技术人员所熟知，在此不予详述，此外，较佳地，该进样管路33周围可进一步设有一加热装置331，该加热装置331可为加热管；一第一泵4，该第一泵4与分析装置3其出样口 32之间通过一抽气管路34相连接，用以提供空气样本A2进出该分析装置3的外在动力来源，又该第一泵4连接有一排气管路35，用以将空气样本A2排出，又该排气管路35上可进一步设有一第一流量计41(f lowmeter),也即在本实施例中，该第一泵4是外接于该分析装置3外部；此外，请再参阅图4所示为本技术的第三实施例，其中该第一泵4也可内建于该分析装置3内，此时，该抽气管路34是与分析装置3其进样口 31相连接，该排气管路35则与出样口 32相连接；一进样分流回路5，该进样分流回路5 —端与该进样管路33 —侧相连通，又该排气管路35与进样分流回路5 —侧相连通；一第二泵6，该第二泵6设置在该进样分流回路5上，此外，该第二泵6后方的进样分流回路5上可进一步设有一第二流量计51，也即该第二泵6是位于该第二流量计51与进样管路33之间；请再参阅图2与图3所示，借由本技术设有的该进样分流回路5与第二泵6，使当空气样本A2进入该进样管路33后，当其经过该进样分流回路5时，该空气样本A2会因第一泵4与第二泵6的动力作用而一分为二，故有一部分的空气样本A2会流往该分析装置3中进行测量分析，另一部分的空气样本A2则会直接流到该进样分流回路5内，也即相较于现有的气体测量分析架构，本技术的空气样本A2不会全部都由该进样管路33进入分析装置3，在此，通过将空气样本A2适度分流以及该第二泵6的协同抽气作用，如此即可显著提高空气样本A2的流速，使可避免空气样本A2因流速过低而附着残留在管路内，导致分析装置3所测得的空气样本A2的浓度及回收率降低，造成测量精确度变差的缺陷，进而使本技术可达到提升测量精确度及产品可靠度的功效；此外，再借由该排气管路35上设有一第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高回收率气体分析仪采样装置，其特征在于，包含：一分析装置，该分析装置具有一进样口与一出样口，该进样口连接有一进样管路；一第一泵，该第一泵与该分析装置的该出样口之间通过一抽气管路相连接，用以提供空气样本进出该分析装置的外在动力来源，又该第一泵连接有一排气管路，用以将空气样本排出；一进样分流回路，该进样分流回路一端与该进样管路一侧相连通，又该排气管路与该进样分流回路一侧相连通；一第二泵，该第二泵设置在该进样分流回路上。

【技术特征摘要】
1.一种高回收率气体分析仪采样装置，其特征在于，包含: 一分析装置，该分析装置具有一进样口与一出样口，该进样口连接有一进样管路； 一第一泵，该第一泵与该分析装置的该出样口之间通过一抽气管路相连接，用以提供空气样本进出该分析装置的外在动力来源，又该第一泵连接有一排气管路，用以将空气样本排出； 一进样分流回路，该进样分流回路一端与该进样管路一侧相连通，又该排气管路与该进样分流回路一侧相连通； 一第二泵，该第二泵设置在该进样分流回路上。2.如权利要求1所述的高回收率气体分析仪采样装置，其特征在于，该排气管路上设有一第一流量计。3.如权利要求1所述的高回收率气体分析仪采样装置，其特征在于，该第二泵后方的该进样分流回路上设有一第二流量计。4.如权利要求1所述的高回收率气体分析仪采样装置，其特征在于，该进样管路周围设有一加热装置。5.如权利要求1至4中任一项所述的高回收率气体分析仪采样装置，其特征在于，还进一步包含有一可扩充取样装置。6.如权利要求5所述的高回收率气体分析仪采样装置，其特征在于，该可扩充取样装置内包含有一阀组件、至少一个非样本排气管路与至少两个取样管，该阀组件分别与各该取样管、该进...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯安，徐熠圳，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71