【技术实现步骤摘要】
电控流量阀
本技术涉及一种电控流量阀，属于流量阀
。
技术介绍
半导体器件的化学腐蚀和清洗工艺中，通常采用硫酸和过氧化氢的混合液，即形成含硫的Piranha溶液先进行清洗。为提高清洗效果，分别对两种清洗液进行加热，再将加热后的两种清洗液在混合集成阀内按一定比例混合后对半导体器件的基板进行清洗。故而需对药剂的流量进行控制，通常药剂的流量是由设置在管路上的流量阀进行控制。但流量阀其开合度通常是由人工控制，一方面造成药剂流量控制不是精准，而且也费时。再则在化学腐蚀和清洗工艺中，不同的清洗工艺所使用药剂的流量要求也不同，加之药剂受管路中压力的变化均会影响到其流量准确性，因此需要能精确控制药剂流量的流量阀。目前现有的电控流量阀能达到精确控制流量的效果，但也存在着结构非常复杂，造成使用和维护成本闻。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单，能精确控制流量阀开合度，使用维护成本低的电控流量阀。本技术为达到上述目的的技术方案是:一种电控流量阀，流量阀的进液接口和出液接口分别与进液管和出液管连接，其特征在于:所述的出液管上安装有流量计，所述的流量阀安装在电机座上，用于控制流量阀的开合度的电机也安装在电机座上，电机的驱动轴通过连接套与流量阀的阀杆连接，检测电机驱动轴旋转角度的旋转编码器安装在电机上，流量计的信号输出端及旋转编码器的信号输出端分别与控制器的输入/输出端连接，控制器的控制端与电机连接。本技术将流量阀安装在电机座上，同时电机安装在电机座上，通过连接套将电机的驱动轴与流量阀的阀杆连接，能直接通过电机带动阀杆的转动，即控制流量阀的开合度而控制流量...
【技术保护点】
一种电控流量阀，流量阀（5）的进液接口和出液接口分别与进液管（6）和出液管（7）连接，其特征在于：所述的出液管（7）上安装有流量计（8），所述的流量阀（5）安装在电机座（4）上，用于控制流量阀（5）的开合度的电机（2）安装在电机座（4）上，电机（2）的驱动轴（2‑1）通过连接套（3）与流量阀（5）的阀杆（5‑1）连接，检测电机（2）的驱动轴（2‑1）旋转角度的旋转编码器（1）安装在电机（2）上，流量计（8）的信号输出端及旋转编码器（1）的信号输出端分别与控制器（9）的输入/输出端连接，控制器（9）的控制端与电机（2）连接。
【技术特征摘要】
1.一种电控流量阀，流量阀(5 )的进液接口和出液接口分别与进液管(6 )和出液管(7 )连接，其特征在于:所述的出液管(7 )上安装有流量计(8 )，所述的流量阀(5 )安装在电机座(4)上，用于控制流量阀(5)的开合度的电机(2)安装在电机座(4)上，电机(2)的驱动轴(2-1)通过连接套(3)与流量阀(5)的阀杆(5-1)连接，检测电机(2)的驱动轴(2-1)旋转角度的旋转编码器(I)安装在电机(2)上，流量计(8)的信号输出端及旋转编码器(I)的信号...
【专利技术属性】
技术研发人员：邬治国，金辉，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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