化学液存储瓶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学液存储瓶，所述化学液存储瓶包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，所述顶壁上设置有供传输管线穿过的与所述容纳腔相通的瓶口。其能同时满足易于制造，较低成本，收集泄漏液体等需求。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
化学液存储瓶【
】本技术涉及液体存放容器领域，特别涉及化学液存储瓶。【
技术介绍
】通常可用做化学药品自动化传输的化学药液存储瓶，是由一个瓶身和一个含多个通道的瓶盖组成，如高效液相色谱(HPLC)中流动液的存储瓶。将用于传输化学液体的管子的一头通过瓶盖上的通道进入瓶中，定位在接近瓶子的底部地区，再将管子的另一头接到一个液泵入口上，通过液泵产生的吸力将化学液传输到要传输的地方。为了保证液泵传送化学液速度的稳定，通常会通过瓶盖的另一个通道，给存储瓶输入氮气，在液面产生低压，以保证液泵进口有足够的液体供应。在半导体制造业，常需要采用各种化学药液对基体进行清洗、刻蚀和做特殊表面的准备。由于高端半导体产品的制造工艺对基体表面洁净度的要求超高，为了避免在化学液配制、传输过程中有可能发生的污染及安全问题，从化学药液的配制、传送，到使用完后的收集过程都需要采用全自动控制机制。这就需要特制的化学药液存储瓶以满足化学药液全自动化传输。可应用于半导体制造的化学液存储瓶必须满足耐腐蚀、不影响化学液纯度及超净度的要求。在半导体制造业常采用含有氢氟酸的化学配方，对化学液中的金属污染浓度要求在十亿分之一(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学液存储瓶，其特征在于：其包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，所述顶壁上设置有供传输管线穿过的与所述容纳腔相通的瓶口。

【技术特征摘要】
1.一种化学液存储瓶，其特征在于:其包括: 瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液； 与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔， 所述顶壁上设置有供传输管线穿过的与所述容纳腔相通的瓶口。2.如权利要求1所述的化学液存储瓶，其特征在于:所述外缘部上形成有与所述凹槽相通的排泄孔。3.如权利要求1所述的化学液存储瓶，其特征在于:所述瓶口包括自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸， 所述化学液存储瓶还包括其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内， 借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所...

【专利技术属性】
技术研发人员：温子瑛，
申请(专利权)人：无锡华瑛微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32