化学液存储瓶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学液存储瓶，所述化学液存储瓶包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通。其能同时满足易于制造，较低成本，可根据需要选择通道数量和通道大小，能够承受较大的内部压力等需求。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
化学液存储瓶【
】本技术涉及液体存放容器领域，特别涉及化学液存储瓶。【
技术介绍
】通常可用做化学药品自动化传输的化学药液存储瓶，是由一个瓶身和一个含多个通道的瓶盖组成，如高效液相色谱(HPLC)中流动液的存储瓶。将用于传输化学液体的管子的一头通过瓶盖上的通道进入瓶中，定位在接近瓶子的底部地区，再将管子的另一头接到一个液泵入口上，通过液泵产生的吸力将化学液传输到要传输的地方。为了保证液泵传送化学液速度的稳定，通常会通过瓶盖的另一个通道，给存储瓶输入氮气，在液面产生低压，以保证液泵进口有足够的液体供应。在半导体制造业，常需要采用各种化学药液对基体进行清洗、刻蚀和做特殊表面的准备。由于高端半导体产品的制造工艺对基体表面洁净度的要求超高，为了避免在化学液配制、传输过程中有可能发生的污染及安全问题，从化学药液的配制、传送，到使用完后的收集过程都需要采用全自动控制机制。这就需要特制的化学药液存储瓶以满足化学药液全自动化传输。可应用于半导体制造的化学液存储瓶必须满足耐腐蚀、不影响化学液纯度及超净度的要求。在半导体制造业常采用含有氢氟酸的化学配方，对化学液中的金属污染浓度要求在十亿分之一(PPb)水平之下，因此，化学液瓶通常采用超纯、耐腐蚀的塑料材料制成，如:聚乙烯(PP)、聚四氟乙烯(PTFE、PFA、PVDF)等。市场上可选用的塑料瓶主要分为两种:一种是由瓶身和含有多通道的瓶盖两部分组成的结构；一种是瓶身和瓶盖一体的结构。为了减少化学液中的颗粒污染，在化学液的传输过程需要尽可能地避免使用液泵，而是通过往化学液存储瓶输入氮气，在化学液存储瓶中产生压力，将瓶中的化学液压出瓶中。常见的瓶身和瓶盖可分离的塑料瓶能承受的压力很有限，通常在IOpsi气体压力状态时，在瓶盖和瓶身的连接处就会发生气体泄漏，这不仅限制瓶中压力的增高，同时由于泄漏的气体会同时带出化学蒸汽，产生安全隐患。而瓶身瓶盖一体的瓶子，能很好的解决气体泄漏的问题，但通常因为需要特制模具，制造成本很高。有必要提出一种改进的技术方案来克服上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种容易制造，成本较低，同时能够承较大的内部压力的化学液存储瓶。为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，本技术公开了一种化学液存储瓶，其包括:瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通；其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内。借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容纳腔成为一个封闭的空腔。进一步的，所述瓶端口部还包括有自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液。进一步的，所述外缘部上形成有与所述凹槽相通的排泄孔。进一步的，所述凸起部包括有位于所述顶壁的中部的凸台以及环绕所述凸台的凸肋，所述凸台上形成有一个接合孔，在所述凸肋上形成有至少一个接合孔。进一步的，所述瓶本体部包括瓶腔体部和瓶体底部，所述瓶腔体部为中空的柱体，所述瓶腔体部的柱体一端与所述瓶端口部通过焊接接合在一起，所述瓶腔体部的柱体另一端与所述瓶体底部通过焊接结合在一起。进一步的，所述瓶体底部包括底壁、自所述底壁的边缘延伸而成的底部侧壁和自所述底壁的边缘延伸而成的支撑部，所述支撑部的延伸方向与所述底部侧壁的延伸方向相反，所述底部侧壁与所述瓶腔体部通过焊接接合在一起。进一步 的，所述瓶体底部的结构与所述瓶端口部的结构的区别仅在于所述瓶体底部上并未设置所述瓶端口部中的接合孔和管线孔，所述瓶体底部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的。进一步的，所述瓶腔体部是由至少两个柱形瓶腔体元件焊接而成。进一步的，所述瓶本体部的结构与所述瓶端口部的结构的区别仅在于所述瓶体底部上并未设置所述瓶端口部中的接合孔和管线孔，所述瓶本体部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的。与现有技术相比，本技术中提出的化学液存储瓶，能同时满足易于制造，较低成本，可根据需要选择通道数量和通道大小，能够承受较大的内部压力等需求。【【附图说明】】下面结合附图和实例对本技术进一步说明。图1为本技术中的化学瓶存储瓶的制造方法在一个实施例中的流程示意图；图2A和图2B分别为本技术中的化学液存储瓶的瓶端口部胚件在一个实施例中的剖视示意图以及俯视示意图；图3A和图3B分别为本技术中的化学液存储瓶的瓶端口部在一个实施例中的剖视示意图以及俯视示意图；图4分别为本技术中的化学液存储瓶的瓶腔体部在一个实施例中的结构示意图；图5分别为本技术中的化学液存储瓶的瓶体底部在一个实施例中的结构示意图；图6分别为本技术中的化学液存储瓶在一个实施例中的整体结构示意图；图7分别为本技术中的化学液存储瓶在另一个实施例中的整体结构示意图；图8分别为本技术中的化学液存储瓶在再一个实施例中的整体结构示意图；图9分别为本技术中的化学液存储瓶在另外一个实施例中的整体结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图与实例对本技术做进一步说明。此次所说明的附图是用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意实例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。图1为本技术中的化学液存储瓶的制造方法在一个实施例中的流程示意图。如图1所示，所述制造方法100包括如下步骤。步骤110，结合图2A和图2B所示，提供瓶端口部胚件290，所述瓶端口部胚件290包括有顶壁210、自所述顶壁210的边缘延伸而成的端口侧壁220、自所述顶壁210的外表面向外延伸而成的凸起部230。所述瓶端口部胚件290是由注塑加工工艺形成。在一个实施例中，如图2A所示，所述瓶端口部胚件290还包括有自所述顶壁210的边缘延伸而成的外缘部240，所述外缘部240的延伸方向与所述端口侧壁220的延伸方向相反，所述外缘部240和所述顶壁210共同围成有凹槽270，所述凹槽270可以容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液。在一个实施例中，如图2A和图2B所示，所述凸起部230包括有位于所述顶壁210的中部的凸台231以及环绕所述凸台231的凸肋232。步骤120，结合图3A和图3B，在所述瓶端口部胚件290上加工形成自所述凸起部230的表面向内延伸的接合孔251以及自所述接合孔251继续向内延伸并贯穿所述顶壁210的管线孔252，以最终形成瓶端口部200，其中所述接合孔251的尺寸大于所述管线孔252的尺寸。如图3A所示,在一个实施例中，所述外缘部240上形成有与所述凹槽270相通的排泄孔260，通过管道连接所述排泄孔可以将泄漏于所述凹槽270内的化学液排本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学液存储瓶，其特征在于：其包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通；其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内，借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容纳腔成为一个封闭的空腔。

【技术特征摘要】
1.一种化学液存储瓶，其特征在于:其包括: 瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸； 与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通； 其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内， 借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容纳腔成为一个封闭的空腔。2.如权利要求1所述的化学液存储瓶，其特征在于:所述瓶端口部还包括有自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液。3.如权利要求2所述的化学液存储瓶，其特征在于:所述外缘部上形成有与所述凹槽相通的排泄孔。4.如权利要求1所述的化学液存储瓶，其特征在于:所述凸起部包括有位于所述顶壁的中部的凸台以及环绕...

【专利技术属性】
技术研发人员：温子瑛，
申请(专利权)人：无锡华瑛微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32