基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置及其控制方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置及其控制方法
本专利技术涉及微机电
，特别涉及一种基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置及其控制方法。
技术介绍
对从纳米到毫米级别的微小颗粒，如微球、DNA、蛋白质、细胞等的三维定位和旋转是现在物理、化学和生物研究领域中非常基础的一项操作。三维定位微小颗粒的方法很多，但是三维旋转微小颗粒的装置和方法还很少见。在所见的文献技术中，对微小颗粒绕单一轴的旋转报道较多，对微小颗粒绕三轴(也即三维)的旋转很少。相关技术中，对微小颗粒的旋转，常用的技术例如介电泳(DEP)、光诱导介电泳(ODEP)、光镊(Opticaltweezers)、磁场、以及机械式旋转等。然而，在相关技术中，三维旋转方法的使用具有很大的限制，例如有限的旋转速度和角度范围，有限的能旋转的颗粒种类等，没有很好地解决对微小颗粒在空间上进行三维旋转的技术难题，导致对微小颗粒的观察和操作出现误差，使实验结果不精确。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种能实现三维旋转，更加有利于对微小颗粒的观察和操...
【技术保护点】
一种基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置，其特征在于，包括：绝缘基底；多个周向电极，所述多个周向电极间隔开地设置在所述绝缘基底的上表面上，所述多个周向电极之间形成有类空腔结构；以及底部电极，所述底部电极设置在所述绝缘基底的上表面上且位于所述类空腔结构内，所述底部电极在垂直于所述绝缘基底的上表面的方向上的高度低于所述多个周向电极的高度。
【技术特征摘要】
1.一种基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置，其特征在于，包括：绝缘基底；多个周向电极，所述多个周向电极间隔开地设置在所述绝缘基底的上表面上，所述多个周向电极之间形成有类空腔结构；以及底部电极，所述底部电极设置在所述绝缘基底的上表面上且位于所述类空腔结构内，所述底部电极在垂直于所述绝缘基底的上表面的方向上的高度低于所述多个周向电极的高度，其中，所述底部电极为多个。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底部电极在垂直于所述绝缘基底的上表面的方向上的高度低于所述多个周向电极的高度至少1μm。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个周向电极沿与所述绝缘基底的上表面垂直的方向设置。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述多个周向电极为四个，且两两相对设置。5.一种如权利要求1-...
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