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基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置及其控制方法制造方法及图纸
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下载基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置及其控制方法的技术资料
文档序号:10322627
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本发明公开了一种基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置及其控制方法,其中,操作装置包括:绝缘基底;多个周向电极,多个周向电极间隔开地设置在绝缘基底的上表面上,多个周向电极之间形成有类空腔结构;底部电极,底部电极设置在绝缘基底的上表面上且位于...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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