熔石英光学元件激光修复装置及修复方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种熔石英光学元件激光修复装置及修复方法，属于光学材料加工技术领域。修复装置包括依光路走向设置的激光器、能量调节单元、光束调节单元、光束会聚透镜和元件位移平台；能量调节单元与光束调节单元之间设有一级反射镜；光束调节单元与光束会聚透镜之间设有二级反射镜；光束会聚透镜与元件位移平台之间设有三级反射镜；激光器、能量调节单元、光束调节单元由系统控制单元控制；系统控制单元与元件位移平台之间设有监控单元；元件位移平台上设有托架。本发明专利技术可快速、简易、精确的修复损伤坑，从而可以大幅度提高元件的利用率，降低元件的使用成本。修复区界面结合好，工艺简单、沉积速率快。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学元件的修复，尤其是熔石英光学元件的修复，属于光学材料加工
。
技术介绍
熔石英材料由于其良好的光学透过特性以及低膨胀、耐高温的力学和热学特性，广泛应用于大型激光装置中窗口、透镜、滤波器、防溅屏等光学元件的制造。熔石英光学元件在大能量、短波长紫外强激光辐照条件下，表面极易出现损伤点，损伤点尺寸从数微米至数百微米，在后续激光辐照条件下，损伤点尺寸会急剧扩大，产生凹坑，形成表面大面积损伤区域，造成灾难性破坏，直接导致元件失效和报废。如果能够修复激光造成的表面损伤或者抑制损伤增长，将有效提高熔石英光学元件的使用寿命，降低运行成本和维护费用，具有重要经济意义。目前针对损伤修复方法的研究报道，大部分采用二氧化碳激光辐照的方式，通过熔化熔石英材料损伤处形成修复 坑，达到抑制损伤增长的目的。也有采用飞秒激光扫描逐层剥离实现损伤修复的方法。以上两种方法都取得了一定的修复效果。但是，这些修复方法都采用激光直接辐照的方式，修复过程伴随着辐照区熔石英材料的熔化、汽化蒸发、电离等复杂的能量耦合过程与种类复杂的反应产物，修复的结果只是将损伤区域平滑，减缓损伤坑的增长速度，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种熔石英光学元件激光修复装置，包括依光路走向设置的激光器（1）、能量调节单元（2）、光束调节单元（3）、光束会聚透镜（5）和元件位移平台（6）；能量调节单元（2）与光束调节单元（3）之间设有一级反射镜（4）；光束调节单元（3）与光束会聚透镜（5）之间设有二级反射镜（12）；光束会聚透镜（5）与元件位移平台（6）之间设有三级反射镜（13）；其特征在于，激光器（1）、能量调节单元（2）、光束调节单元（3）由系统控制单元（9）控制；系统控制单元（9）与元件位移平台（6）之间设有监控单元（8）；元件位移平台（6）上设有托架（7）；托架（7）由底座（7‑1）和与其螺旋连接的升降台（7‑2）构成。

【技术特征摘要】
1.一种熔石英光学元件激光修复装置，包括依光路走向设置的激光器(I)、能量调节单元(2)、光束调节单元(3)、光束会聚透镜(5)和元件位移平台(6);能量调节单元(2)与光束调节单元(3)之间设有一级反射镜(4);光束调节单元(3)与光束会聚透镜(5)之间设有二级反射镜(12);光束会聚透镜(5)与元件位移平台(6)之间设有三级反射镜(13);其特征在于，激光器(I)、能量调节单元(2)、光束调节单元(3)由系统控制单元(9)控制；系统控制单元(9 )与元件位移平台(6 )之间设有监控单元(8 );元件位移平台(6 )上设有托架(7 );托架(7 )由底座(7-1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：马平，鄢定尧，吕亮，
申请(专利权)人：成都精密光学工程研究中心，
类型：发明
国别省市：四川;51