下载熔石英光学元件激光修复装置及修复方法的技术资料

文档序号:10312874

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本发明公开了一种熔石英光学元件激光修复装置及修复方法,属于光学材料加工技术领域。修复装置包括依光路走向设置的激光器、能量调节单元、光束调节单元、光束会聚透镜和元件位移平台;能量调节单元与光束调节单元之间设有一级反射镜;光束调节单元与光束会聚...
该专利属于成都精密光学工程研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过成都精密光学工程研究中心授权不得商用。

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