具有多样宽度的指的指叉式电容器制造技术

揭示的是具有多样宽度的指的指叉式电容器。电容器的一具体态样(100)包括第一复数个导电指(110)和以连锁方式与第一复数个导电指(110)而定位的第二复数个导电指(110)，以致形成指叉式结构。第一复数个导电指(110)和第二复数个导电指(110)合起来形成一指组，其中该指组(110)的第一指的宽度相对于该指组的第二指是非均匀的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有多样宽度的指的指叉式电容器
本专利技术的具体态样一般关于集成电路，尤其关于用于集成电路科技的指叉式电容器。
技术介绍
例如电容器的被动电子构件常常用于集成电路(integratedcircuit，IC)用途。一种特殊类型的电容器是指叉式电容器。传统的指叉式电容器包括复数个指叉层，其中每对指叉层是由氧化层(或氧化区域)所分开。每个指叉层包括二根杆条(bar)或交互连接（interconnect），其定位成彼此实质平行。从每根杆条延伸的是复数个「指」(digit，亦即长的导体)。指沿着杆条而隔开，致使指合起来形成连锁式或指叉式结构。传统的指叉式电容器有一些缺点。举例来说，指的长度愈长，则指倾向于导致愈多电流漏失。如此，则指的长度典型乃加以选择以使此种漏失减到最少。举例来说，具有较短长度的指的多重指叉层典型乃跨越电容器的区域。虽然这有效的使漏失减到最少，但是电容器的电容密度也因而降低。因此，每个指叉层将需要二个电极以便提供必要的电容密度。这些电极位在指叉式结构外面，并且耗去杆条和氧化层区域的空间。因此，电容器面积并不是以效能最大化的方式来利用。
技术实现思路
揭示的是具有多样宽度的指的指叉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容器，其包括：第一复数个导电指；以及第二复数个导电指，其与该第一复数个导电指以连锁方式而定位，以致形成指叉式结构，其中该第一复数个导电指和该第二复数个导电指合起来形成一指组，并且其中该指组的第一指的宽度相对于该指组的第二指是非均匀的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.09.09 US 13/229,2071.一种电容器，其包括：第一复数个导电指；具有第一电极的第一杆条，以提供电流至该第一复数个导电指，其中该第一复数个导电指的每一指耦合于该第一杆条；第二复数个导电指，其与该第一复数个导电指以连锁方式而定位，以致形成指叉式结构；具有第二电极的第二杆条，以提供电流至该第二复数个导电指，其中该第二复数个导电指的每一指耦合于该第二杆条，其中该第一复数个导电指中定位最接近该第一电极的第一指在该第一复数个导电指中具有最宽宽度；并且其中该第二复数个导电指中定位最接近该第二电极的第一指在该第二复数个导电指中具有最宽宽度。2.如权利要求1的电容器，其中该第一复数个导电指的第一指的宽度比该第一复数个导电指中定位最远离该第一电极的第二指的宽度宽三到五倍。3.如权利要求1的电容器，其中：针对该第一复数个导电指，每一指的宽度从该第一指的最宽宽度逐渐变细到定位最远离该第一电极的第二指的最窄宽度。4.如权利要求1至3中任一项的电容器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：昭颖·D·吴，帕瑞格·尤帕德海亚，姜学文，
申请(专利权)人：吉林克斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US