能量色散型荧光X射线分析装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种能量色散型荧光X射线分析装置，即使温度有变化，其也可准确鉴定从测定对象元素获得的特征X射线的波峰。一种能量色散型荧光X射线分析装置，其具备：X射线源（1），其放射包含从靶材产生的能量E1的特征X射线的激发X射线（A）；修正体（8），其通过激发X射线（A）产生能量E2的特征X射线作为修正X射线（C）；检测器（4），其在检测出所述激发X射线（A）及所述修正X射线（C）的同时，检测出从所述试样产生的荧光X射线（B）；波高分析器（5）；运算部（6）。运算部（6）根据基于能量E1的特征X射线的波峰顶点的波高值H1和基于能量E2的特征X射线的波峰顶点的波高值H2，修正能量值和波高值的关系。【专利说明】能量色散型荧光X射线分析装置
本专利技术涉及一种能量色散型荧光X射线分析装置。更具体来说，涉及一种即使检测器等的温度有变化，也可准确鉴定从测定对象元素获得的特征X射线的波峰的能量色散型荧光X射线分析装置。
技术介绍
荧光X射线分析装置，系利用通过对试样照射激发X射线而产生的荧光X射线，对试样中的测定对象元素进行鉴定或定量的装置。只要荧光X射线...
【技术保护点】
一种能量色散型荧光X射线分析装置，其基于通过对试样照射激发X射线所产生的荧光X射线，分析所述试样中的测定对象元素，其特征在于，其具备：X射线源，其放射包含从靶材产生的能量E1的特征X射线的激发X射线，修正体，其以遮挡从所述X射线源至所述试样的激发X射线的部分光束的方式设置，并通过激发X射线产生能量E2的特征X射线作为修正X射线，检测器，其在检测出所述激发X射线及所述修正X射线的同时，检测出从所述试样产生的荧光X射线，波高分析器，其将所述检测器的输出转换为以对应能量值的波高值为横轴、以计数值为纵轴的波谱，运算部，其根据从该波高分析器获得的波谱，求得所述试样中的测定对象元素的信...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：荒川智，熊泽克巳，
申请(专利权)人：东亚DKK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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