一种液体氧化膜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种液体氧化膜的制备方法，该方法通过溶胶凝胶法能够实现该种液体氧化膜批量生产。具体步骤是：称取锌化合物和其它化合物，加入所对应的分散介质经过搅拌和老化形成稳定的分散体系。其中，锌化合物与其它化合物的摩尔比为1:（0.1-2），所述的其它化合物选自铟化合物、镓化合物、锡化合物、铊化合物中的至少一种。本发明专利技术方法避免使用真空设备，使其制备成本大大提高。若能降低其制备成本，将降低该类氧化物薄膜的价格。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，该方法通过溶胶凝胶法能够实现该种液体氧化膜批量生产。具体步骤是：称取锌化合物和其它化合物，加入所对应的分散介质经过搅拌和老化形成稳定的分散体系。其中，锌化合物与其它化合物的摩尔比为1:（0.1-2），所述的其它化合物选自铟化合物、镓化合物、锡化合物、铊化合物中的至少一种。本专利技术方法避免使用真空设备，使其制备成本大大提高。若能降低其制备成本，将降低该类氧化物薄膜的价格。【专利说明】
本专利技术涉及一种氧化物薄膜，尤其是使用溶胶凝胶法能够实现批量生产的液体氧化膜的制备方法。
技术介绍
氧化锌是直接跃迁型半导体，其带隙为3.3-3.6eV,室温下激子束缚能为60meV，被广泛采用为光学元件。而氧化物薄膜也已经有效地运用在显示器和半导体器件制造领域。从电学上来讲，氧化锌属于η型晶体，在制备过程中容易产生氧空位，降低其导电性。如果要使氧化锌的η型导电性更好的话，目前的方法是将III族元素或第VII族元素掺杂到其中，增加其电子浓度，而得到较好的η型半导体。具有代表性的掺杂剂有镓，铝，铟等的化合物。这些化合物作为透明电极的原料，已经广泛的运用在电子设备中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体氧化膜的制备方法，其特征在于，该方法具体步骤如下：称取锌化合物和其它化合物，加入所对应的分散介质经过搅拌和老化形成稳定的分散体系，其中，锌化合物与其它化合物的摩尔比为1:（0.1‑ 2）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵夫涛，王伟，高博，姜银珠，汪明，
申请(专利权)人：芜湖浙鑫新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34