成膜方法和装置、液滴吐出装置、滤色片的制造方法及其应用制造方法及图纸

本发明专利技术提供了在用喷墨头那样的液滴吐出头吐出液状材料进行成膜的情况下，可以减少由液状材料的吐出量的不均一造成的不均匀的装置和方法。此外，还提供了在利用液状材料的吐出的成膜技术中，即使对于各种的对象物也可以在抑制成本的增大的同时提高处理效率的装置和方法。在制造滤色片的情况下，使滤色片单体材料成为液滴后地液滴吐出头２２的喷嘴２７对各个滤色片单体形成区域７吐出。在该情况下，对于某一色的滤色片单体材料来说，使液滴吐出头２２对母基板１２的长边方向Ｌ进行扫描，对于其它的色的滤色片单体材料来说，则使液滴吐出头２２在母基板１２的短边方向Ｍ上进行扫描。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、滤色片的制造方法、具备滤色片的显示装置、显示装置的制造方法、显示装置和电子设备，特别是涉及吐出液状材料进行成膜的技术。
技术介绍
一般地说，人们已知将液晶显示装置或电致发光装置(以下，简称为EL装置)等的电光装置作为显示装置使用的各种显示装置、或具备这些显示装置的移动电话机或移动信息终端等的电子设备。在这样的显示装置中，近些年来，由于彩色显示逐渐普及，故常常使用在用玻璃或塑料等构成的基板的表面上，用条带排列、三角形排列或马赛克排列等的规定的排列图案使R(红)、G(绿)、B(蓝)的点状的滤色片单体排列起来构成的滤色片。另外，在被构成为可进行彩色显示的EL装置中，在用玻璃或塑料等构成的基板的表面上，用条带排列、三角形排列或马赛克排列等的规定的排列图案使R(红)、G(绿)、B(蓝)的点状的EL发光层排列起来，形成用一对电极将这些EL发光层挟持起来的显示点。然后，通过按每一个显示点控制加到这些电极上的电压，使各个显示点以规定的颜色和灰度等级发光。在制造上述那样的各种的显示装置的情况下，常用的方法是通过用使用光刻技术使上述滤色片的各色的滤色片单体或EL装置的各色发光层图案化，但是，该使用光刻技术的图案化工序，由于必须进行材料的涂敷、曝光、显影等复杂且耗时的处理，同时还大量消费各色材料和光刻胶等，故存在着成本增高的问题。为解决该问题，人们提出了通过喷墨法使滤色片单体材料或EL发光材料等以添加了溶剂等的液状材料的液滴的形式吐出，弹射到基板表面上，排列形成配置成点状的滤色片单体或发光层的方法。在此，对通过这种喷墨法，如图61(a)所示，在设定在由玻璃或塑料等构成的大面积的基板，所谓的母板301的表面上的多个单位区域302的内部，形成图61(b)所示的那样的排列成点状的滤色片单体303的情况进行说明。在该情况下，例如，如图61(c)所示，使具有将多个喷嘴304排列起来构成的喷嘴列305的液滴吐出头的喷墨头306，如图61(b)的箭头A1和箭头A2所示，对于一个单位区域302，边多次(在图61中为2次)直线状地扫描，边在各个扫描期间中通过从多个喷嘴304中选择性地吐出油墨，即滤色片材料，在所希望的位置上形成滤色片单体303。该滤色片单体303，如上所述，可以通过使R·G·B等的各色，以所谓的条带排列、三角形排列或马赛克排列等的适当的排列图案排列形成。为此，通常，要通过对每一种颜色准备RGB各色的喷墨头306，依次使用各色的喷墨头306，在一个母板301上形成规定的颜色排列的滤色片。然而，对于喷墨头306来说，一般来说，构成喷嘴列305的多个喷嘴304的油墨吐出量存在着不均一性。例如，如图62(a)所示，具有这样的吐出特性Q，即处于对应喷嘴列305的两端部的位置上的喷嘴304的吐出量多，处于中央位置的喷嘴304的吐出量次之，处于它们中间的位置的喷嘴的吐出量最少。因此，如像图61(b)所示的那样，通过喷墨头306形成滤色片单体303时，如图62(b)所示，在对应喷墨头303的端部位置P1或中央位置P2或在P1和P2两方，就会形成浓度浓的条纹，即条纹状的颜色不均匀。为此，存在着滤色片的平面性的光透过特性变得不均一的问题。为此，人们已知有这样的方法通过用多个液滴的吐出来形成各个滤色片单体303，一边使上述液滴供给头306的位置在进给方向(图61(b)的左右方向)上每次都稍微错开一点，一边依次进行扫描，以减小起因于液滴的吐出量的不均一的成膜不均匀(以下，简称为“误差分散法”，例如参照以下的专利文献1)。但是，在如上所述使用误差分散法的情况下，存在着即使是同一制造对象也比以往的技术相比扫描次数显著增加、制造时间变长，生产效率降低的问题。于是，为了解决该问题，人们提出了可以通过将构成为可以调整姿势的多个头装载到共通的承载器上，扩大一次的扫描所进行处理的范围，可高效率地进行制造的装置(例如，参照以下的专利文献2)。专利文献1 特开2002-221616号公报专利文献2 特开2002-273868号公报
技术实现思路
如上所述，虽然人们提出了通过各种的方法减少成膜不均匀或抑制制造效率的下降的尝试方案，但是，实际上，要充分地减少在液滴吐出头的扫描方向上延伸的条纹状的成膜不均匀是困难的，特别是存在着越是要通过提高扫描速度来提高生产性，采用在上述公报中所讲述的方法来减少条纹状的不均一就会变得越困难的问题。另一方面，在母板301上形成多个单位区域302的情况下，为了使其与显示装置的画面尺寸或画面形状相对应，有时要在单位区域302内设定不同的颜色排列图案(条带排列、三角形排列、马赛克排列等)，或者在母板301内增加单位区域302的个数，对每一机种沿着母板301中的某一方向的同一颜色的显示点的排列个数或排列间隔都不同。因此，如果像这样地使之对各种的母板301一律地进行扫描，则存在着处理效率恶化的问题。在该情况下，虽然也可以考虑通过对每一机种准备不同的构造的喷墨头来提高处理效率的方法，但是，由于要准备多个喷墨头则会使得成本增加。于是，本专利技术就是解决上述那些问题的专利技术，其目的在于提供在用液滴吐出装置进行的液滴的吐出的成膜方法或成膜装置中，可以比以往更能减少成膜不均匀的技术。另外，其目的还在于提供在用喷墨头那样的液滴吐出头等吐出液状材料成膜的情况下，可以减少因液状材料的吐出量的不均一而造成的不均匀的装置和方法。进一步，其目的还在于提供在通过液状材料的吐出进行的成膜技术中，即使是对于各种各样的对象物也可以在抑制成本的增大的同时提高处理效率的装置和方法。为了解决上述课题，本专利技术的成膜方法，是通过液滴吐出装置对对象物的表面吐出液状材料的液滴进行成膜的成膜方法，其特征在于具有边使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着上述表面的第1方向扫描，边依次吐出多滴上述液滴的第1扫描步骤，和边使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着与上述第1方向不同的上述表面的第2方向扫描，边依次吐出多滴上述液滴的第2扫描步骤。根据本专利技术，由于通过将第1扫描步骤和第2扫描步骤中对对象物的扫描方向设定为彼此不同的第1方向和第2方向，可以使边在不同的2个方向上扫描，边依次吐出多个液滴地进行成膜，故可以减少起因于扫描方向的成膜不均匀。特别是，即使由于各个扫描产生了在扫描方向上延伸的条纹状的成膜不均匀，通过在不同的方向上延伸的条纹状的成膜不均匀使得成膜不均一变得不那么明显，产生彼此抵消，作为整体可以得到均一性更高的成膜状态。在本专利技术中，优选通过在上述第1扫描步骤和上述第2扫描步骤中，使上述对象物进行旋转成为彼此不同的姿势，将上述第1方向和上述第2方向设定为彼此交叉的方向。由于通过使对象物旋转改变其姿势，而无需改变液滴吐出装置的扫描方向，故可以用简单的构成进行成膜，而无须使用大型的机构。其次，本专利技术的成膜装置，是具有对对象物的表面吐出液状材料的液滴的液滴吐出装置，和使上述对象物与上述液滴吐出装置沿着上述表面进行相对移动的移动装置的成膜装置，其特征在于其构成为可以使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着上述表面的彼此不同的至少2个方向相对地移动，并且，在上述2个方向的任一方向的移动中，均可依次吐出多滴上述液滴。根据本专利技术，就可以根据要在对象物上形成的成膜图案等本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜方法，该方法为通过液滴吐出装置对对象物的表面吐出液状材料的液滴进行成膜的成膜方法，其特征在于：具有边使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着上述表面的第１方向扫描，边依次吐出多滴上述液滴的第１扫描步骤，和边使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着与上述第１方向不同的上述表面的第２方向扫描，边依次吐出多滴上述液滴的第２扫描步骤。

【技术特征摘要】
JP 2002-2-12 034706/2002;JP 2002-12-25 375562/20021.一种成膜方法，该方法为通过液滴吐出装置对对象物的表面吐出液状材料的液滴进行成膜的成膜方法，其特征在于具有边使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着上述表面的第1方向扫描，边依次吐出多滴上述液滴的第1扫描步骤，和边使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着与上述第1方向不同的上述表面的第2方向扫描，边依次吐出多滴上述液滴的第2扫描步骤。2.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于在上述第1扫描步骤和上述第2扫描步骤中，通过使上述对象物旋转成为彼此不同的姿势，将上述第1方向和上述第2方向设定为彼此交叉的方向。3.一种成膜装置，该装置是具有对对象物的表面吐出液状材料的液滴的液滴吐出装置，和使上述对象物与上述液滴吐出装置沿着上述表面进行相对移动的移动装置的成膜装置，其特征在于其构成为可以使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着上述表面的彼此不同的至少2个方向相对地移动，并且，在上述2个方向的任一方向的移动中，均可依次吐出多滴上述液滴。4.权利要求3所述的成膜装置，其特征在于具有通过使上述对象物进行旋转，可以使上述对象物设定为至少2种姿势的姿势位置决定装置。5.一种液滴吐出装置，该装置为用来对对象物吐出液状材料的液滴吐出装置，其特征在于具有吐出上述液状材料的液滴吐出头，在使该液滴吐出头和对象物相对的状态下、使其沿着上述对象物的表面的方向相对移动的移动装置，和定位上述对象物的平面姿势的姿势位置决定装置，上述姿势位置决定装置被构成为可以以不同的2个以上的平面姿势定位上述对象物。6.根据权利要求5所述的液滴吐出装置，其特征在于上述姿势位置决定装置的构成为具有观察上述对象物的不同的部位的多个观察装置，在上述不同的2个以上的平面姿势中使用彼此不同的上述观察装置。7.一种液滴吐出装置，该装置是用来对对象物吐出液状材料的液滴吐出装置，其特征在于具有吐出上述液状材料的液滴吐出头，在使该液滴吐出头和对象物相对的状态下、使其沿着上述对象物的表面的方向相对移动的移动装置，定位上述对象物的平面姿势的姿势位置决定装置，其构成为可以将上述液滴吐出头对上述对象物边吐出上述液状材料的液滴边移动的扫描方向，和通过上述姿势位置决定装置定位的上述对象物的平面姿势，设定为不同的2个以上的位置关系。8.根据权利要求7所述的液滴吐出装置，其特征在于上述姿势位置决定装置的构成为具有观察上述对象物的不同的部位的多个观察装置，在上述不同的2个以上的位置关系中使用彼此不同的上述观察装置。9.一种液滴吐出装置，该装置是用来对对象物吐出液状材料进行成膜的液滴吐出装置，其特征在于具有吐出上述液状材料的液滴吐出头，在使该液滴吐出头和对象物相对的状态下，使其沿着上述对象物的表面的方向相对移动的移动装置，定位上述对象物的平面姿势的姿势位置决定装置，其构成为可以在处理过程中，将上述液滴吐出头对上述对象物边吐出上述液状材料的液滴、边移动的扫描方向，变更为对于通过上述姿势位置决定装置定位的上述对象物不同的方向。10.根据权利要求9所述的液滴吐出装置，其特征在于上述姿势位置决定装置的构成为具有观察上述对象物的不同的部位的多个观察装置，在上述扫描方向变更的前后使用彼此不同的上述观察装置。11.根据权利要求10所述的液滴吐出装置，其特征在于上述观察装置的构成为可以观察上述对象物的多个位置。12.一种滤色片的...

【专利技术属性】
技术研发人员：片上悟，川濑智已，伊藤达也，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]