【技术实现步骤摘要】
外延片生产用氮气干燥箱
本技术涉及一种外延片生产用氮气干燥箱。
技术介绍
氮气是惰性气体，不易与其他物质发生反应。在日常生产生活中，氮气常作为气源，且不与需要气源的电器和气动元器件产生氧化和腐蚀，既可杜绝细菌和噬菌体在元器件中滋生和污染，也可延长电器元器件和气动元器件使用寿命。氮气广泛存在与大气中，干燥洁净且不含水，不含油，因此常作为干燥气体使用。目前常用的外延片生产用氮气干燥箱通常将送入的气体通过过滤网过滤分散后送入干燥箱箱体内部，进而对需要干燥的物体进行干燥。此外，现有技术中的干燥箱多将使用过的氮气排放至环境中，易导致缺氧，且干燥效率差。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术一种外延片生产用氮气干燥箱在于解决在氮气干燥过程中干燥效率差且工作环境易缺氧发生危险的问题。为实现上述目的，本技术提供一种外延片生产用氮气干燥箱，包括带有盖的箱体，所述箱体为中空结构，所述箱体侧壁上设有一个与气源相连接的进气口，所述箱体侧壁上还设有一个与排气装置相连接的排气口。进一步地，所述箱体内部设有向所述箱体内部送气的送气装置，所述送气装置一端与进气口相连通，所述送气装置上间隔设有多个喷气口。优选地，所述送气装置为管状结构。优选地是，所述喷气口(21)为三个以上。进一步地，所述箱体内部还设有向箱体内部喷射离子的离子发生器。如上所述，本技术涉及的一种外延片生产用氮气干燥箱，利用气体回收装置将箱体内多余的气体回收，避免氮气直接排放于空气中，造成工作环境缺氧发生危险，并且在排出多余气体的同时带动了空气流动，提高了干燥效率。【附图说明】图1显示为本技术外延片生产用氮气干燥箱...
【技术保护点】
一种外延片生产用氮气干燥箱，其特征在于，包括带有盖的箱体(1)，所述箱体(1)为中空结构，所述箱体(1)侧壁上设有一个与气源相连接的进气口(11)，所述箱体(1)侧壁上还设有一个与排气装置相连接的排气口(12)；所述箱体(1)内部设有向所述箱体内部送气的送气装置(2)，所述送气装置(2)一端与进气口(11)相连通，所述送气装置(2)上间隔设有多个喷气口(21)；所述喷气口(21)为三个以上。
【技术特征摘要】
1.一种外延片生产用氮气干燥箱，其特征在于，包括带有盖的箱体(I)，所述箱体(I)为中空结构，所述箱体(I)侧壁上设有一个与气源相连接的进气口(11)，所述箱体(I)侧壁上还设有一个与排气装置相连接的排气口(12);所述箱体(I)内部设有向所述箱体内部送气的送气装置(2)，所述送气装置(2) —端与进气口...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹崇生，金秋联，顾广安，
申请(专利权)人：上海晶盟硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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