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本实用新型提供一种外延片生产用氮气干燥箱，包括带有盖的箱体，所述箱体为中空结构，所述箱体侧壁上设有一个与气源相连接的进气口，所述箱体侧壁上还设有一个与排气装置相连接的排气口。该外延片生产用氮气干燥箱及时将干燥箱内多余的的气体回收，避免氮气直...
该专利属于上海晶盟硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海晶盟硅材料有限公司授权不得商用。

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