平面抛光盘表面形状误差的检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置，设置有支撑座，在所述支撑座上端设置有横梁，在所述横梁上设置有导轨和电机，所述电机包括定子和动子，移动块通过滑块设置在所述动子和导轨上，并能沿着所述导轨左右移动，在所述移动块上设置有可调支架，所述可调支架与激光位移传感器连接，所述激光位移传感器由探测头、数据连接线和PC机组成，在所述探测头下设置有可调平台。本发明专利技术由于采用高稳定性导轨和高精度位移传感器，并且通过检测平面标准镜获得导轨的误差，因此可实现抛光盘表面形状的高精度测量。

【技术实现步骤摘要】
平面抛光盘表面形状误差的检测装置
本专利技术涉及一种检测装置，特别是涉及一种针对全口径平面抛光中对平面抛光盘表面形状进行检测的装置。
技术介绍
在平面光学元件全口径抛光过程中，元件表面任一点的材料去除速度与该点所受的压力、相对线速度和Preten系数有关。Preston系数包含了除速度和压力以外的其他一切因素的作用，其在一般抛光条件下可以认为是恒量。因此，改善工件表面压力和速度分布的均匀性，就能改善元件表面材料去除量分布的均匀性，进而提高元件的面形精度。元件的相对线速度由抛光过程涉及的各运动参量决定，如抛光盘转速、工件转速、工件偏心距等。随着数控系统的发展和主动轮控制等技术的出现，各抛光运动参量都能得到较好的控制，从而大大提高了元件表面相对线速度分布的均匀性，使得元件表面压力分布的非均匀性已经逐渐成为面形精度提高的瓶颈。长期以来，全口径平面抛光中元件面形误差的修正主要依赖于工人长期的生产实践，加工过程遵循着机床参数设置、元件加工、面形检测、根据面形误差重新设定机床参数的循环，直至面形精度满足要求。平面光学元件的全口径抛光过程中，元件表面整体与抛光盘接触，抛光盘的表面形状直接决定了工件本文档来自技高网...

【技术保护点】
平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：设置有支撑座（2），在所述支撑座（2）上端设置有横梁（3），在所述横梁（3）上设置有导轨（4）和电机，所述电机包括定子（5）和动子（8），移动块（7）通过滑块（6）设置在所述动子（8）和导轨（4）上，并能沿着所述导轨（4）左右移动，在所述移动块（7）上设置有可调支架（10），所述可调支架（10）与激光位移传感器连接，所述激光位移传感器包括探测头（11）和数据连接线（12），所述激光位移传感器与PC机连接，在所述探测头（11）下设置有可调平台（14）。

【技术特征摘要】
1.平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：设置有支撑座(2)，在所述支撑座(2)上端设置有横梁(3)，在所述横梁(3)上设置有导轨(4)和电机，所述电机包括定子(5)和动子(8)，移动块(7)通过滑块(6)设置在所述动子(8)和导轨(4)上，并能沿着所述导轨(4)左右移动，在所述移动块(7)上设置有可调支架(10)，所述可调支架(10)与激光位移传感器连接，所述激光位移传感器包括探测头(11)和数据连接线(12)，所述激光位移传感器与PC机连接，在所述探测头(11)下设置有可调平台(14)，所述探测头(11)的位置和高度通过可调支架(10)调节。2.如权利要求1所述的平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：所述电机通过电机驱动器驱动，所述电机驱动器通过微控制器控制。3.如权利要求1所述的平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖德锋，赵世杰，谢瑞清，陈贤华，王健，许乔，钟波，袁志刚，邓文辉，唐才学，徐曦，周炼，
申请(专利权)人：成都精密光学工程研究中心，
类型：发明
国别省市：四川;51