硅片存储装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片存储装置，包括：圆柱形盒体、盒盖，其特征在于，盒体中设有至少一组塑料棉层盒以及与塑料棉层盒一一配合的塑料棉层盖，塑料棉层盒嵌套于盒体中，塑料棉层盖用于将硅片保护于相应的塑料棉层盒中。其可以方便地取/放硅片，同时不会造成其他硅片或残片的滑落，操作简便、结构简单，且制作成本低、利于在行业内推广应用。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种硅片存储装置，包括：圆柱形盒体、盒盖，其特征在于，盒体中设有至少一组塑料棉层盒以及与塑料棉层盒一一配合的塑料棉层盖，塑料棉层盒嵌套于盒体中，塑料棉层盖用于将硅片保护于相应的塑料棉层盒中。其可以方便地取/放硅片，同时不会造成其他硅片或残片的滑落，操作简便、结构简单，且制作成本低、利于在行业内推广应用。【专利说明】硅片存储装置
本技术涉及一种硅片存储装置。
技术介绍
硅片的失效分析在半导体制造工艺中有着非常重要的作用，能帮助工程师发现许多工艺上存在的问题。失效分析的进行一般都是以破坏硅片为前提，但是这种破坏通常都是局部的，即只对硅片的特定位置进行破坏，剩余的大部分以半圆或扇形或其他形状的残片形式存在。有时候，这些残片还存在保留的价值，会把同一片硅片的残片还原成接近晶圆的形式，这时就需要专门的装置来临时存储和放置这类硅片。竖立式硅片盒并不适合此类硅片的放置:一方面，残片无法以单片占据一个槽位的形式存在；另一方面，面积较小的残片会倒在硅片盒底部，互相混杂在一起。相比而言，平叠式的硅片盒是此类硅片放置的首选。现有技术中，目前最常用的平叠式硅片盒都是用与硅片盒尺寸相匹配的圆形塑料棉层101来分隔硅片，如图1A-1B所示，硅片盒包括圆柱形盒体10与圆形盒盖20，其中可放置多层塑料棉层101,在存储娃片时,娃片与塑料棉层101 配合、层层叠放，娃片被相邻的两层塑料棉层101包夹在中间，在取出某特定硅片时，要把该硅片和相配合的塑料棉层一并取出，操作上极为不便，对残片的放入和取出都存在难度和风险，且很容易造成某些面积较小的残片滑落等问题。因此，业内需要一种简单可靠的硅片存储装置，可以方便地取/放硅片，同时不会造成其他硅片或残片的滑落。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种简单可靠的硅片存储装置。为实现上述目的，本技术一技术方案如下:一种硅片存储装置，包括:圆柱形盒体、盒盖，其特征在于，盒体中设有至少一组塑料棉层盒以及与塑料棉层盒一一配合的塑料棉层盖，塑料棉层盒嵌套于盒体中，塑料棉层盖用于将硅片保护于相应的塑料棉层盒中。优选地，设于盒体中的塑料棉层盒与塑料棉层盖为多组，分层叠放于盒体中，下层的塑料棉层盖支撑上层的塑料棉层盒。优选地，下层的塑料棉层盖上表面与上层的塑料棉层盒下表面具有一平整、粗糙的接触面。优选地，各塑料棉层盖尺寸相同、各塑料棉层盒尺寸相同，塑料棉层盖的半径略小于塑料棉层盒的内径。优选地，塑料棉层盒的外径略小于盒体的内径。本技术提供的硅片存储装置，可以方便地取/放硅片，同时不会造成其他硅片或残片的滑落，其操作简便、结构简单，且制作成本低、利于在行业内推广应用。【专利附图】【附图说明】图1A-1B示出现有技术中一平叠式硅片盒结构示意图；图2示出本技术一实施例提供的硅片存储装置结构示意图；图3示出本技术一实施例提供的硅片存储装置截面示意图。【具体实施方式】下面结合附图，对本技术的【具体实施方式】作进一步的详细说明。如图2所示，本技术一实施例提供的硅片存储装置包括:圆柱形盒体10、盒盖20，盒体10中设有多组塑料棉层盒110以及与塑料棉层盒一一配合的塑料棉层盖120，塑料棉层盒110嵌套于盒体10中，塑料棉层盖120用于将硅片保护于相应的塑料棉层盒110中。其中，一一配合的塑料棉层盒110与塑料棉层盖120分层叠放于盒体10中，下层的塑料棉层盖120支撑上层的塑料棉层盒110。当把硅片放置到塑料棉层盒110内后，覆盖上圆形的塑料棉层盖120，把硅片保护在塑料棉层结构(包括塑料棉层盒110与塑料棉层盖120)内。在塑料棉层盖120上再平叠第二个塑料棉层盒110，并依次放置第二片硅片与第二个塑料棉层盖120，更多的硅片按照此法依次平叠，在需要使用一枚硅片时，先取出硅片上方的一塑料棉层盖120，随后可以方便的取出所需的硅片，而无需将硅片下方的塑料棉层盒110也取出，对硅片与塑料棉层结构分开进行操作，更为便利，且不会导致其它硅片的滑落、混杂等问题。进一步地，下层的塑料棉层盖120上表面与上层的塑料棉层盒110下表面具有一平整、粗糙的接触面，以便于使得各层稳定地叠放在一起。具体地，各塑料棉层盖120尺寸相同、各塑料棉层盒110尺寸相同，以便于统一制备。如图3所示，塑料棉层盖120的半径略小于塑料棉层盒110的内径。塑料棉层盒110的外径略小于盒体10的内径。从而，塑料棉层盒110及塑料棉层盖120可方便地嵌套入盒体10中，也便于存放或取出硅片。本技术提供的硅片存储装置，在取出其中的硅片时，不需将与其配合的塑料棉层结构一并取出，且在取/放硅片的同时不会造成其他硅片或残片的滑落，操作简便、结构简单，且制作成本低、利于在行业内推广应用。以上所述的仅为本技术的优选实施例，所述实施例并非用以限制本技术的专利保护范围，因此凡是运用本技术的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本技术的保护范围内。【权利要求】1.一种硅片存储装置，包括:圆柱形盒体、盒盖，其特征在于，所述盒体中设有至少一组塑料棉层盒以及与所述塑料棉层盒一一配合的塑料棉层盖，所述塑料棉层盒嵌套于所述盒体中，所述塑料棉层盖用于将硅片保护于相应的所述塑料棉层盒中。2.如权利要求1所述的硅片存储装置，其特征在于，设于所述盒体中的塑料棉层盒与塑料棉层盖为多组，分层叠放于所述盒体中，下层的所述塑料棉层盖支撑上层的所述塑料棉层盒。3.如权利要求2所述的硅片存储装置，其特征在于，所述下层的塑料棉层盖上表面与所述上层的塑料棉层盒下表面具有一平整、粗糙的接触面。4.如权利要求2所述的硅片存储装置，其特征在于，各所述塑料棉层盖尺寸相同、各所述塑料棉层盒尺寸相同，所述塑料棉层盖的半径略小于所述塑料棉层盒的内径。5.如权利要求1至4中任一项所述的硅片存储装置，其特征在于，所述塑料棉层盒的外径略小于所述盒体的内径。【文档编号】B65D85/30GK203714436SQ201320877537【公开日】2014年7月16日 申请日期:2013年12月27日 优先权日:2013年12月27日 【专利技术者】卢意飞, 袁伟, 顾郦蓉 申请人:上海集成电路研发中心有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片存储装置，包括：圆柱形盒体、盒盖，其特征在于，所述盒体中设有至少一组塑料棉层盒以及与所述塑料棉层盒一一配合的塑料棉层盖，所述塑料棉层盒嵌套于所述盒体中，所述塑料棉层盖用于将硅片保护于相应的所述塑料棉层盒中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卢意飞，袁伟，顾郦蓉，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31